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公开(公告)号：CN115593113A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202210740296.5
申请日：2022-06-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社(JP)
IPC: B41J2/165
Abstract: 本发明提供使维护步骤中的液滴释放头的清洁性能提高的液滴释放装置和液滴释放方法。液滴释放装置向工件释放功能液的液滴来进行描绘，并包括：向上述工件释放液滴的液滴释放头；处理液供给部，其向上述液滴释放头供给作为上述功能液的溶剂的第一清洗液或醇类的第二清洗液；和对上述处理液供给部进行控制的控制部，上述控制部构成为能够执行如下控制：在将填充于上述液滴释放头的上述功能液替换为上述第一清洗液和上述第二清洗液中的任一种清洗液之后，替换为另一种清洗液。
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