公开(公告)号：CN112311351B

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202010748289.0

申请日：2020-07-30

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  金成昱 ,  丁大勳 ,  孙尚郁 ,  韩相宪 ,  柳廷勳

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17

Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；下电极，设置在所述基板上；压电层，至少部分地覆盖所述下电极；以及上电极，至少部分地覆盖所述压电层。在所述体声波谐振器的表面上，所述下电极、所述压电层和所述上电极全部彼此重叠的有效区域的质心与限定所述有效区域的高宽比的矩形的中心对准。所述有效区域具有相对于穿过限定所述高宽比的所述矩形的所述中心的至少一个轴对称的多边形的形状。所述高宽比大于等于2且小于等于10。

公开(公告)号：CN109412549B

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN201810859849.2

申请日：2018-08-01

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 金泰润 ,  韩源 ,  林昶贤

IPC: H03H9/17

Abstract: 提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；下电极，形成在所述基板上，并且所述下电极的至少一部分形成在腔上；压电层，形成在所述下电极上；上电极，形成在所述压电层上；膜层，形成在所述下电极下方，并且与所述基板一起形成所述腔；以及突出部，形成在所述膜层上，并且在远离所述膜层延伸的方向上形成在所述腔中。

公开(公告)号：CN114268295A

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202110835700.2

申请日：2021-07-23

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 金泰润 ,  韩源 ,  李尙泫 ,  吉宰亨 ,  尹湘基 ,  李文喆

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/02

Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；设置在所述基板上的第一电极；腔，所述腔设置在所述基板和所述第一电极之间；压电层，覆盖所述第一电极的至少一部分；第二电极，覆盖所述压电层的至少一部分；插入层，设置在所述第一电极与所述压电层之间；以及下框架，设置在所述腔中。所述下框架的至少一部分与所述插入层叠置。

公开(公告)号：CN108540103B

公开(公告)日：2022-03-15

申请号：CN201810018188.0

申请日：2018-01-09

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  韩源 ,  金泰润 ,  金锺云 ,  李文喆 ,  林昶贤 ,  尹湘基 ,  李华善 ,  丁大勋

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/17 ,  H03H3/02

Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及制造声波谐振器的方法，所述声波谐振器包括：中央部，在所述中央部中，第一电极、压电层和第二电极顺序地堆叠在基板上；延伸部，从所述中央部向外延伸；及插入层，在所述延伸部中设置在所述压电层下方，其中，所述压电层包括压电部和弯曲部，所述压电部设置在所述中央部中，所述弯曲部设置在所述延伸部中并且根据所述插入层的形状从所述压电部倾斜地延伸。

公开(公告)号：CN113746447A

公开(公告)日：2021-12-03

申请号：CN202111060953.3

申请日：2017-08-25

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  金泰润 ,  金大虎 ,  林昶贤 ,  李泰勋 ,  尹湘基 ,  金锺云 ,  韩源 ,  李文喆

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17 ,  H03H9/54 ,  H03H9/56 ,  H03H9/60 ,  H03H3/02 ,  H01L41/047

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器和包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板，具有上表面，所述上表面上设置有基板保护层；及膜层，与所述基板一起形成腔，其中，所述基板保护层和所述膜层中的任意一者或两者的厚度偏差为或更小。

公开(公告)号：CN107786182B

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN201710740128.5

申请日：2017-08-25

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  金泰润 ,  金大虎 ,  林昶贤 ,  李泰勋 ,  尹湘基 ,  金锺云 ,  韩源 ,  李文喆

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器和包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板，具有上表面，所述上表面上设置有基板保护层；及膜层，与所述基板一起形成腔，其中，所述基板保护层和所述膜层中的任意一者或两者的厚度偏差为或更小。

公开(公告)号：CN107592090B

公开(公告)日：2020-12-29

申请号：CN201710059879.0

申请日：2017-01-24

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰勋 ,  韩源 ,  李文喆 ,  韩成

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/19

Abstract: 提供一种声波谐振器及其制造方法，所述声波谐振器包括：基板；激活振动区域，所述激活振动区域包括顺序地堆叠在所述基板上的下电极、压电层和上电极；水平谐振抑制部，通过所述压电层形成且设置在所述压电层中，所述水平谐振抑制部具有与所述压电层的压电物理性质不同的压电物理性质。

公开(公告)号：CN107094002B

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN201610915495.X

申请日：2016-10-20

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  李文喆 ,  李在昌 ,  孙尚郁 ,  李泰勋

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/13 ,  H03H9/05 ,  H03H3/02

Abstract: 提供了一种声波谐振器及其制造方法。所述声波谐振器包括：基板；谐振部，安装在基板上，并包括谐振部电极，所述谐振部电极被构造为产生声波；腔，设置在谐振部和基板之间；框架部，设置在谐振部电极中的至少一个电极上，并被构造为反射声波；连接电极，被构造为将所述至少一个电极连接到外电极，并具有比所述至少一个电极的厚度小的厚度。

公开(公告)号：CN107404304B

公开(公告)日：2020-07-03

申请号：CN201611233848.4

申请日：2016-12-28

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 金大虎 ,  丁大勋 ,  韩源 ,  孙尚郁

IPC: H03H9/17 ,  H03H3/02

Abstract: 提供了一种声波谐振器及其制造方法，所述声波谐振器包括：基板；谐振部，包括顺序地堆叠在基板上的下电极、压电层和上电极以及沿着上电极的边缘形成在上电极上的框架；沟槽部，形成在谐振部的至少一侧并使得谐振部的厚度是不均匀的。

公开(公告)号：CN111327291A

公开(公告)日：2020-06-23

申请号：CN201911271466.4

申请日：2019-12-12

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 金泰润 ,  韩源 ,  李文喆

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/15 ,  H03H9/17 ,  H03H9/13

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器及弹性波滤波器装置，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，至少部分地覆盖所述第一电极，并且包括设置在中央区域中的平坦部和设置在所述平坦部的外侧并具有至少一个台阶部的延伸部；插入层，设置在所述延伸部上；以及第二电极，设置在所述插入层的上部和所述压电层的上部上。所述延伸部包括：至少一个第一表面和至少一个第二表面，设置在所述平坦部的上表面之下；以及连接表面，将所述平坦部的上表面连接到所述至少一个第一表面或所述至少一个第二表面，或者使所述至少一个第一表面之中的第一表面彼此连接或使所述至少一个第二表面之中的第二表面彼此连接。