产生具有至少一个功能层的复合体或另外产生电子或光电组件的方法

    公开(公告)号:CN105723010A

    公开(公告)日:2016-06-29

    申请号:CN201480062573.5

    申请日:2014-11-17

    发明人: 耶麦斯·迪米

    IPC分类号: C23C14/02 C30B23/02

    摘要: 本发明涉及一种用于产生具有至少一个功能层的复合体(36)或者另外应用于产生电子或光电组件(40、42、44)的方法,所述复合体(36)配置为层结构并包括:具有至少一个平坦的衬底表面的形成为板的至少一个衬底(34),以及至少一个基本上多晶或至少一个基本上单晶层(38),其包括至少一个化合物半导体、陶瓷材料或金属硬材料。所述方法其特征在于以下步骤:将所述平坦的衬底表面的至少一部分加热到至少100℃或最大550℃的温度;通过供应来自第一材料源(20)的氢和对所述氢特别产生的等离子体来清洁所述衬底表面;通过施加来自所述第一材料源(20)或来自第二材料源(22)的碳、氮或氧和对所述碳、氮或氧特别产生的等离子体来终止所述衬底表面;以及通过将来自所述第一材料源(20)和所述第二材料源(22)的所述化合物半导体的、所述陶瓷材料的或所述金属硬材料的材料组分供应到所述至少一个平坦的衬底表面来生长所述至少一个层(38)。本发明还涉及根据实施例根据本发明的方法之一或其组合产生的所述复合体(36)用于产生电子或光电组件的应用。

    一种真空不连续溅镀方法
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104593741A

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201410841071.4

    申请日:2014-12-31

    发明人: 徐耀

    IPC分类号: C23C14/35

    CPC分类号: C23C14/024 C23C14/58

    摘要: 本发明涉及一种真空不连续溅镀方法,包括以下步骤:S1、装配前处理:将素材表面杂质以及灰尘用布擦拭干净;S2、装配:将素材装配于专用治具上,用以固定于流水线上,并按设计需求实现外观和功能性的遮镀;S3、上线前处理:将挂件置于流水线上,自动进入喷漆房;S4、真空溅镀:将挂件装配于真空容器内,容器中间装配有适当的靶材电极,实现基材溅镀;S5、喷面漆。本发明的有益效果在于,本发明提供一种成本低、高亮度、金属质感佳且节能环保的真空不连续溅镀方法。