氧化锌系导电性层合体及其制造方法以及电子器件
摘要:
本发明提供氧化锌系导电性层合体(1),其在基材(11)的至少一面上形成有底涂层(12)和透明导电膜(13),其中,透明导电膜为由氧化锌系导电材料构成的透明导电层多层形成,且透明导电膜的载流子密度为2.0×1020~9.8×1020cm-3,氧化锌系导电性层合体,对直径15mm圆棒,以透明导电膜为内侧进行弯曲,弯曲前后的薄膜电阻值变化率在50以下。
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