公开(公告)号：CN103715111B

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：CN201310271669.X

申请日：2013-07-01

Applicant: 田中电子工业株式会社

Inventor： 天野裕之 ,  三上道孝 ,  冈崎纯一 ,  滨本拓也 ,  中岛伸一郎 ,  山下勉 ,  三苫修一 ,  小野甲介 ,  刘斌 ,  执行裕之

IPC: H01L21/60 ,  H01L21/607

CPC classification number: H01L2224/05624 ,  H01L2224/05639 ,  H01L2224/05644 ,  H01L2224/05664 ,  H01L2224/43 ,  H01L2224/43848 ,  H01L2224/45 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/45565 ,  H01L2224/45639 ,  H01L2224/45644 ,  H01L2224/45664 ,  H01L2224/48463 ,  H01L2224/85205 ,  H01L2924/00011 ,  H01L2924/01204 ,  H01L2924/01016 ,  H01L2924/01008 ,  H01L2924/01045 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/013 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01083 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/00013 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01041 ,  H01L2924/01051 ,  H01L2924/01032 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01026 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01024

Abstract: 本发明提供用于连接半导体装置的铜-铑合金线。[目的]改良铜合金球焊线，使得限制在超声波接合时的铝飞溅和倾斜，并改善在二次接合时的接合性的品质。[解决问题的手段]在包含纯度为99.995质量％以上的初始铜(Cu)和量为0.1-1.5质量％的铑(Rh)的金属基体中，溶解非金属元素的量为1.0-10质量ppm的硫(S)和量为10-150质量ppm的氧(O)，随后也可以溶解量为1-10质量ppm的磷(P)。在金属中的铑起到限制硫在球表面偏析的作用，因此控制其动态强度，并且与溶解的氧协同作用，铑限制了S的活性并因此改善了在倾斜和二次接合性方面的线品质。