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公开(公告)号：CN115404552A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202211353501.9
申请日：2022-11-01
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及微细加工技术领域，尤其涉及一种极低气压反应腔下的侧壁钝化侧蚀动态平衡深刻蚀光子晶体结构制备方法。具体的，在刻蚀过程中，保持趋近于1，并在0.05~0.1Pa的压力下进行刻蚀；其中，代表反应物析出速度和沉积速度的比值，代表刻蚀孔开口处的反应物析出速度和沉积速度的比值。上述干法刻蚀方法能够克服Ⅲ‑Ⅴ族半导体材料干法刻蚀产物饱和蒸气压低、难以挥发的问题，实现了高深宽的Ⅲ‑Ⅴ族半导体有源光子晶体刻蚀效果，同时兼顾实现了圆孔及狭缝等不同结构垂直侧壁刻蚀技术。此外，所述干法刻蚀方法刻蚀表面粗糙度低，刻蚀小孔/槽均匀。
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公开(公告)号：CN114552332A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202210051327.6
申请日：2022-01-17
Applicant: 清华大学
IPC: H01S1/02
Abstract: 本发明提供一种基于天然双曲材料的切伦科夫红外辐射源及自由电子光源，包括天然双曲材料层和片上自由电子发射源，片上自由电子发射源包括片上电子源阴极和片上电子源阳极。如此通过片上自由电子发射源产生稳定电子束，激励天然双曲材料中的红外切伦科夫辐射。由于天然双曲材料成本低廉，易于获得，制备工艺简单，相较于人工双曲超材料具有显著优势。同时天然双曲材料易于生长且稳定性好缺陷少，可以规避由于材料加工工艺精度给器件性能带来的影响。而且基于天然介质材料，本征损耗更低，使得相应器件辐射功率更大、效率更高且发热更小。此外基于天然晶体材料，容易实现版图化和阵列化，为大功率阵列集成化自由电子光源提供了可能方案。
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公开(公告)号：CN114497343A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111580401.5
申请日：2021-12-22
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于光谱设备领域，提供一种微弱光光谱测量器件和光谱仪，包括衬底和设置在衬底上表面的至少两个探测单元，一个探测单元包括一个光调制微纳结构单元和一个超导纳米线单光子探测器单元。光调制微纳结构单元可以对入射光光谱实现一定的调制作用，超导纳米线单光子探测器单元用于探测调制后的光子，或者本身也作为光调制结构与已有的光调制微纳结构单元共同对光子产生光谱调制作用并探测光子，使每个探测单元均具有宽光谱探测特征，可使用计算光谱重建的方法测量光谱，使光子利用率大大提高。光调制微纳结构本身的谐振作用也具有增强超导纳米线单光子探测器探测效率的作用，缩短测量时间。
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公开(公告)号：CN113595631A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110807240.2
申请日：2021-07-16
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供一种可调量子光源生成装置，包括：空间上分离的集成OAM发射器和可预报单光子源，其中，可预报单光子源在泵浦光作用下产生信号光子；所述信号光子作为被预报的光子耦合进集成OAM发射器中、并经集成OAM发射器转换为OAM模式后散射到自由空间；所述OAM模式为通过调节所述集成OAM发射器的参数、动态地调控信号光子的OAM模式的阶次。本发明将信号光子作为被预报的光子耦合进集成OAM发射器中、并经集成OAM发射器转换为OAM模式后散射到自由空间，通过调节所述集成OAM发射器的参数、动态地调控信号光子的OAM模式的阶次，实现了单光子OAM模式的阶次可调，能兼顾发射器和光源的设计，具有操控灵活性。
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公开(公告)号：CN112420466A
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN202011183250.5
申请日：2020-10-29
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明实施例提供一种表面等离激元诱导的电子发射源，包括：泵浦源发出光与金属牛眼光栅相互作用产生表面等离激元近场，通过中心小孔到达光阴极材料层，与光阴极材料相互作用产生电子，电子收集器收集所述电子，金属牛眼光栅的周期与表面等离激元的波矢满足：金属牛眼光栅的周期与表面等离激元的波矢之积为2π的整数倍；光阴极材料层为预设特殊材料，以使得表面等离激元近场照射到光阴极材料上，产生光致电子发射现象。本发明实施例基于光致电子发射原理和表面等离激元结合的高分辨率电子源，降低电子束的能散，提高了亮度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112268862A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202011025595.8
申请日：2020-09-25
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明实施例提供的光谱重建方法及装置、设备及介质，该方法包括：利用第一光谱特征字典对待重建光谱进行初次重建，得到第一重建光谱；所述第一光谱特性字典中的元素为升余弦曲线，所述采样点为所述待重建光谱的采样点；所述第一光谱特性字典中的元素覆盖所述待重建光谱的全部频点范围；对所述第一重建光谱进行处理，得到所述第一重建光谱的谱峰信息；所述谱峰信息包括：谱峰个数以及每个谱峰的谱峰位置与宽度值；利用所述谱峰信息生成与所述待重建光谱对应的第二光谱特征字典；利用所述第二光谱特征字典对所述待重建光谱进行再次重建，得到第二重建光谱，能够解决稀疏优化和字典学习算法重建时间复杂度的问题，并提高重建的似然度和稳定性。
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公开(公告)号：CN111916998A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010671274.9
申请日：2020-07-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明实施例提供一种基于W3光子晶体缺陷波导的分布式反馈激光器及制备方法，分布式反馈激光器包括P电极、P掺杂层、量子阱有源层、N掺杂层和N电极；有源光子晶体波导层中包括有两个微孔波导阵列，分布在P电极的两侧，微孔波导阵列由多个微孔按照预设阵列结构排列形成，每个微孔均贯穿P掺杂层、量子阱有源层和N掺杂层，并在衬底上表面截止；沿线缺陷光子晶体波导方向去除二维图形结构中的3列微孔，形成W3光子晶体缺陷波导。本发明实施例利用W3光子晶体缺陷波导中前向波与反向波耦合产生的慢光效应设计超短激光谐振腔，从而可以降低芯片体积，进而可以降低器件成本并提高芯片可集成性能。
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公开(公告)号：CN110327058A
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201910700382.1
申请日：2019-07-31
Applicant: 清华大学
IPC: A61B5/145
Abstract: 本发明涉及医疗检测设备技术领域，尤其涉及一种无创血糖仪及血糖检测方法。本发明所述的无创血糖仪包括光源、光谱仪以及供待测体介入的检测空间，检测空间分别与光源和光谱仪连接，以使光源发射的光谱在经过待测体后，能生成进入光谱仪中的入射光；该光谱仪包括：光调制层用于对入射光进行光调制，以得到调制后的光谱；光电探测层位于光调制层的下面，用于接收调制后的光谱，并对调制后的光谱提供差分响应；以及信号处理电路层位于光电探测层的下面，用于将差分响应重构，以得到原光谱。该无创血糖仪能实现非接触性无创血糖检测，并且缩小光谱仪的体积，同时提高了光谱分析的精密性，从而使得无创血糖仪具有测量精度高、便携性好等优点。
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公开(公告)号：CN106569248B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201610952634.6
申请日：2016-11-02
Applicant: 清华大学
IPC: G01T1/22
Abstract: 本发明公开了切伦科夫辐射器件、制备方法及提取辐射的方法。该切伦科夫辐射器件包括：金属周期纳米狭缝结构；双曲超材料结构，所述双曲超材料结构设置在所述金属周期纳米狭缝结构的上表面；电子发射源，所述电子发射源设置在所述双曲超材料结构的上表面，所述电子发射源包括阳极、阴极以及栅极。该切伦科夫辐射器件无需高电压，利用双曲超材料中光的相速度可以比传统材料降低几个量级的特点，从而将切伦科夫辐射产生所需要的电子飞行速度极大地降低，进而降低了切伦科夫辐射器件的生产成本，提高了其安全性能。
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公开(公告)号：CN102608699B
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201210009165.6
申请日：2012-01-12
Applicant: 清华大学
IPC: G02B6/122
Abstract: 本发明涉及短程表面等离子体波导与介质波导混合耦合阵列式结构，其特征在于，所述耦合阵列式结构包括：介质衬底层，以及位于介质衬底上的至少两个耦合结构，所述耦合结构包括：介质波导层，所述介质波导层位于所述介质衬底层上；以及短程表面等离子体波导层，所述短程表面等离子体波导层位于所述介质波导层上，其中，至少一个所述耦合结构的短程表面等离子体波导层与另一个所述耦合结构的短程表面等离子体波导层具有不同厚度。采用所述结构可实现大传感区域的超薄物质折射率的高灵敏度检测芯片。
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