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公开(公告)号：CN115132765A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202110328490.8
申请日：2021-03-26
Applicant: 清华大学
IPC: H01L27/146 , C21C5/46 , G06F17/15
Abstract: 本发明提供一种炉口光谱成像芯片及炉口最亮区域确定方法，炉口光谱成像芯片包括：图像传感器，以及设置在图像传感器的感光区域表面的光调制层；光调制层包含有光调制结构，光调制结构用于对进入至光调制结构至少一点处的入射光进行频谱调制，以在感光区域的表面得到与所述至少一点处对应的入射光携带信息；图像传感器用于将与所述至少一点处经光调制层调制后对应的入射光携带信息转换为对应的电信号，本发明实施例通过炉口光谱成像芯片可以实现对炉口入射光携带信息的非接触式采集，本发明提供的炉口光谱成像芯片能够实现对冶炼温度或炼钢终点的准确识别。
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公开(公告)号：CN111811652A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010718471.1
申请日：2020-07-23
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明实施例提供一种基于亚波长高对比度光栅的光谱芯片、光谱仪及制备方法，所述光谱芯片通过在晶圆级别的图像传感器感光区域制备包含亚波长高对比度光栅结构的光调制层，使光调制层能对待测光进行调制，并将待测光的频谱信息编码到晶圆级别的图像传感器不同像素上，得到包含待测光的频谱信息图像。本发明实施例通过在晶圆级别的图像传感器上制备亚波长高对比度光栅，对光的调制能力更强，并将待测光的频谱信息编码到晶圆级别的图像传感器上，使光谱检测不再依赖精密移动的分光部件，不但使光谱检测设备体积和成本降低，也不再需要进行光学部件对准，降低后期维护成本，在晶圆级别的图像传感器上实现单片集成，缩小尺寸，大幅提高器件成品率。
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公开(公告)号：CN108722837A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810497011.3
申请日：2018-05-22
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开一种电容式超声换能器及其制造方法。其中，所述超声换能器包括：从下到上依次设置的衬底、绝缘隔离层和石墨烯层，在所述衬底上与所述石墨烯层对应的位置设置下电极，所述石墨烯层和所述下电极之间设置空腔，所述石墨烯层、所述下电极和所述空腔形成平板式电容结构。所述方法用于制造上述超声换能器。本发明提供的电容式超声换能器及其制造方法，提高了超声换能器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN118158507A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410159512.6
申请日：2019-07-31
Applicant: 清华大学
IPC: H04N23/54 , H04N23/55 , H04B10/54 , H04B10/516
Abstract: 本发明涉及成像及物体识别设备技术领域，尤其涉及一种图像采集芯片、物体成像识别设备及物体成像识别方法。该芯片的各组像素确认模块中，每个调制单元和每个感应单元分别上下对应的设置在光调制层和图像传感层上，每个调制单元内分别设有至少一个调制子单元，每个调制子单元内分别设有若干个穿于光调制层内的调制孔，同一调制子单元内的各个调制孔排布成一具有特定排布规律的二维图形结构。该芯片基于光电子学中的调制单元阵列对不同波长光的调制作用，且能同时采集多个光谱的图像信息，克服了现有物体成像识别设备价格昂贵且无法小型化的问题。
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公开(公告)号：CN110327058A
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201910700382.1
申请日：2019-07-31
Applicant: 清华大学
IPC: A61B5/145
Abstract: 本发明涉及医疗检测设备技术领域，尤其涉及一种无创血糖仪及血糖检测方法。本发明所述的无创血糖仪包括光源、光谱仪以及供待测体介入的检测空间，检测空间分别与光源和光谱仪连接，以使光源发射的光谱在经过待测体后，能生成进入光谱仪中的入射光；该光谱仪包括：光调制层用于对入射光进行光调制，以得到调制后的光谱；光电探测层位于光调制层的下面，用于接收调制后的光谱，并对调制后的光谱提供差分响应；以及信号处理电路层位于光电探测层的下面，用于将差分响应重构，以得到原光谱。该无创血糖仪能实现非接触性无创血糖检测，并且缩小光谱仪的体积，同时提高了光谱分析的精密性，从而使得无创血糖仪具有测量精度高、便携性好等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112730267A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201911032122.8
申请日：2019-10-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及光学器件技术领域，公开了一种光谱仪结构及电子设备，包括镜片，还包括：滤光片，所述滤光片设置在所述镜片的下方，用于滤除照射在镜片上的特定波段的光；以及光调制层，所述光调制层设置在所述滤光片的下方，其中，通过所述光调制层对从所述滤光片射出的不同频段的光进行调制，以得到调制后的光谱。该光谱仪结构具有光谱分析精度高、扫描时间短以及成本低的优点。
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公开(公告)号：CN111811651A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010718462.2
申请日：2020-07-23
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供一种光谱芯片、光谱仪及光谱芯片制备方法，芯片包括：在晶圆级别的图像传感器的感光区域的表面制备有光调制层，光调制层由金属和介质两种材料交替排布形成；光调制层包含由多个微纳单元组成的单元阵列；微纳单元包含有多组微纳结构阵列，每组微纳结构阵列由二维光栅结构形成，每组微纳结构阵列中的二维光栅结构为具有偏振无关特性的光栅结构；各微纳单元的多组微纳结构阵列中的二维光栅结构用于对入射光进行调制，将入射光的频谱信息编码到晶圆的不同像素点上，得到包含频谱信息的图像。本发明提供的光谱芯片对入射角度、偏振不敏感，从而使得光谱测量结果不会受到待测光入射角度和偏振特性的影响，进而能够保证光谱测量性能的稳定性。
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公开(公告)号：CN110381243A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910700328.7
申请日：2019-07-31
Applicant: 清华大学
IPC: H04N5/225 , H04B10/54 , H04B10/516
Abstract: 本发明涉及成像及物体识别设备技术领域，尤其涉及一种图像采集芯片、物体成像识别设备及物体成像识别方法。该芯片的各组像素确认模块中，每个调制单元和每个感应单元分别上下对应的设置在光调制层和图像传感层上，每个调制单元内分别设有至少一个调制子单元，每个调制子单元内分别设有若干个穿于光调制层内的调制孔，同一调制子单元内的各个调制孔排布成一具有特定排布规律的二维图形结构。该芯片基于光电子学中的调制单元阵列对不同波长光的调制作用，且能同时采集多个光谱的图像信息，克服了现有物体成像识别设备价格昂贵且无法小型化的问题。
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公开(公告)号：CN110346313A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201910699962.3
申请日：2019-07-31
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及光谱设备技术领域，尤其涉及一种光调制微纳结构、微集成光谱仪及光谱调制方法。该光调制微纳结构包括位于光电探测层上面的光调制层，光调制层能够对入射光进行调制，从而在光电探测层上形成差分响应，以便于重构得到原光谱，从而解决现有的光谱仪过于依赖精密光学部件而使得光谱仪体积庞大、很重且昂贵的缺陷。该光调制层包括底板和至少一个调制单元，底板设在光电探测层上，各个调制单元位于底板上，每个调制单元内分别设有若干个穿于底板内的调制孔，同一调制单元内的各个调制孔排布成一具有特定排布规律的二维图形结构，利用不同的二维图形结构实现对不同波长的光的调制作用，并提高光谱仪的分析准确性。
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公开(公告)号：CN111811651B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202010718462.2
申请日：2020-07-23
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供一种光谱芯片、光谱仪及光谱芯片制备方法，芯片包括：在晶圆级别的图像传感器的感光区域的表面制备有光调制层，光调制层由金属和介质两种材料交替排布形成；光调制层包含由多个微纳单元组成的单元阵列；微纳单元包含有多组微纳结构阵列，每组微纳结构阵列由二维光栅结构形成，每组微纳结构阵列中的二维光栅结构为具有偏振无关特性的光栅结构；各微纳单元的多组微纳结构阵列中的二维光栅结构用于对入射光进行调制，将入射光的频谱信息编码到晶圆的不同像素点上，得到包含频谱信息的图像。本发明提供的光谱芯片对入射角度、偏振不敏感，从而使得光谱测量结果不会受到待测光入射角度和偏振特性的影响，进而能够保证光谱测量性能的稳定性。
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