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公开(公告)号：CN106197776B
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201510855249.5
申请日：2015-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种压力传感器、压力测量设备、制动系统和测量压力的方法，压力传感器(15)带有双测量刻度，包括：柔性本体(16，34)，设计成根据压力(P)而经受偏转；压阻转换器(28，29；94)，用于检测偏转；第一聚焦区域(30)，设计成在第一操作条件过程中将压力(P)的第一值(PINT1)集中在柔性本体的第一部分(19)中，以便使柔性本体的第一部分发生偏转；以及第二聚焦区域(33)，设计成在第二操作条件过程中将所述压力(P)的第二值(PINT2)集中在柔性本体的第二部分(17)中，以便使柔性本体的第一部分二部分()发生偏转。压阻转换器将柔性本体的第一部分的偏转关联至第一压力值(PINT1)，并且将柔性本体的第二部分的偏转关联至第二压力值(PINT2)。
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公开(公告)号：CN110039899A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910040227.1
申请日：2019-01-16
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B41J2/01
Abstract: 本公开的实施例涉及用于制造流体喷射设备的方法以及流体喷射设备。一种用于制造用于喷射流体的设备的方法，包括步骤：在容置喷射设备的喷嘴的第一半导体晶片中形成第一结构层；去除第一结构层的选择性部分，以形成用于容纳流体的腔室的第一部分；在容置喷射设备的致动器的第二半导体晶片中去除第二结构层的选择性部分，以形成腔室的第二部分；将第一半导体晶片和第二半导体晶片耦合在一起，以便第一部分直接面对第二部分，从而形成腔室。第一部分限定腔室的体积的一部分，体积的该部分大于由第二部分限定的腔室的体积的相应部分。
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公开(公告)号：CN108656747A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201710907948.9
申请日：2017-09-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司 , 意法半导体公司
CPC classification number: B41J2/14 , B05B1/02 , B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1626 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2002/14346 , B41J2002/14403 , B41J2002/14419
Abstract: 本公开涉及流体喷射装置、打印头、打印机和用于制造喷射装置的方法。用于流体的喷射装置包括固体主体，固体主体包括：第一半导体主体，包括用于容纳流体的室、与室流体连接的喷嘴、以及操作性地连接到室的致动器，以在使用时在流体中生成一个或多个压力波，使得流体从喷嘴喷射；以及第二半导体主体，包括用于将流体馈送到室的、耦合到第一半导体主体的通道，使得通道与室流体连接。第二半导体主体集成了阻尼腔，在阻尼腔之上延伸有阻尼膜，阻尼腔和阻尼膜横向延伸到通道，以馈送流体。
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公开(公告)号：CN102344111A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201110212573.7
申请日：2011-07-26
Applicant: 意法半导体股份有限公司
CPC classification number: B81C1/00119 , B01D67/0062 , B01D71/02 , B01D2325/021 , B01D2325/028 , B01L3/502707 , B01L3/502753 , B01L2300/0681 , B81B2201/10 , B81C1/00071 , B81C1/00087 , B81C2201/0133 , B81C2201/0157 , F04B19/006
Abstract: 本发明的实施方式公开用于制造含有设置有过滤器的掩埋区域的微机械结构的方法。一种用于制造微机械结构(25)的方法构思了：在半导体材料的本体(1，12)内形成掩埋空腔(10)，该掩埋空腔通过第一表面层(12)而与所述本体的顶表面(12a)隔开；以及在掩埋空腔(10)与外部环境之间形成用于流体连通的进出管道(18a)。该方法构思了：在第一进出区域(17a)处的顶表面(12a)上形成刻蚀掩模(14)；在顶表面(12a)上以及在刻蚀掩模(14)上形成第二表面层(15)；在对应于第一进出区域的位置中执行刻蚀使得去除第二表面层(15)的部分以及下面的未被刻蚀掩模(14)覆盖的第一表面层(12)的部分，直到到达掩埋空腔，从而形成第一进出管道(18a)以及设置在第一进出管道与该掩埋空腔之间的过滤器元件(20)。
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公开(公告)号：CN219765916U
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202223066986.1
申请日：2022-11-18
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例一种超声换能器器件，包括具有第一主表面和第二主表面的半导体本体并且包括：第一腔室，其在距所述第一主表面一定距离处延伸到所述半导体本体中；由所述半导体本体在所述第一主表面和所述第一腔室之间形成的膜；膜上的压电元件；在所述第一腔室和所述第二主表面之间延伸到所述半导体本体中的第二腔室；中心流体通道，所述中心流体通道从所述第二主表面到所述第一腔室延伸到所述半导体本体中并且横穿所述第二腔室；以及一个或多个横向流体通道，所述一个或多个横向流体通道从所述第二主表面延伸到所述半导体本体中到达所述第二腔室。利用本公开的实施例有利地改善了待检测物体和超声换能器器件之间的最小可检测相对距离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN210082663U
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201920070358.X
申请日：2019-01-16
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B41J2/01
Abstract: 本公开的实施例涉及用于喷射流体的设备以及流体喷射设备。一种用于喷射流体的设备，包括：第一半导体本体，包括喷嘴和第一凹槽，第一凹槽限定腔室的第一部分，喷嘴被流体耦合到第一部分；以及第二半导体本体，具有膜和第二凹槽，第二凹槽限定腔室的第二部分，致动器操作性地被耦合到膜，其中第一半导体本体和第二半导体本体被耦合在一起，以便第一部分和第二部分共同形成被配置成容纳流体的腔室，以及其中第一部分限定腔室的总体积的第一体积，并且第二部分限定腔室的总体积的第二体积，第一体积大于第二体积。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209367796U
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201821772595.2
申请日：2018-10-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本实用新型的各实施例涉及MEMS设备和电子装置。一种MEMS设备，包括：主体，具有第一表面和第二表面；隔膜腔体，在主体内并且从主体的第二表面延伸；可变形部分，在主体内并且在第一表面和隔膜腔体之间；和压电致动器，在主体在第一表面上延伸并且在可变形部分之上。MEMS设备的特征在于其包括凹槽结构，该凹槽结构在主体内延伸并且为可变形部分界定止动器部分。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN220781090U
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202321301577.7
申请日：2023-05-26
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B06B1/06
Abstract: 本公开涉及微机械压力换能器、换能器阵列和微机电装置。一种微机械压力换能器，包括：固定体，其横向界定主腔体；传导结构，其悬置在主腔体上并包括至少一对可变形结构和可移动区域，可移动区域通过可变形结构机械耦合到固定体。每个可变形结构包括：支撑结构，其包括第一梁和第二梁，第一梁和第二梁各自具有分别固定到固定体和可移动区域的端部，第一梁以一定距离叠置在第二梁上；以及至少一个压电换能结构，机械地耦合到第一梁。压电换能结构是电可控的，使得它们引起相应支撑结构的相应变形和可移动区域沿平移方向的相应平移。本公开的实施例优化了声信号和可移动区域之间的能量交换，并因此最大化了压电区域的变形，增加了灵敏度。
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公开(公告)号：CN218423951U
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202122484491.X
申请日：2021-10-15
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B06B1/06
Abstract: 公开了压电微机械超声换能器设备及电子系统。压电微机械超声换能器PMUT设备包括膜元件，该膜元件适于通过在相应的共振频率下围绕平衡位置振荡来产生和接收超声波。压电元件沿第一方向位于膜元件上方，并且被配置为当电信号施加到压电元件时使膜元件振荡，并且响应于膜元件的振荡而产生电信号。阻尼器被配置为减少膜元件的自由振荡，并且阻尼器包括围绕膜元件的阻尼器腔，以及聚合物构件，该聚合物构件的至少一部分沿第一方向在阻尼器腔上方。
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公开(公告)号：CN217747936U
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202122484616.9
申请日：2021-10-15
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B06B1/06
Abstract: 本公开的实施例涉及压电式微机械超声换能器器件和电子系统。压电式微机械超声换能器器件包括薄膜元件，薄膜元件，垂直于第一方向延伸并且被配置为通过关于平衡位置振荡来生成和接收超声波；至少两个压电元件，至少两个压电元件中的每个压电元件沿着第一方向位于薄膜元件之上并被配置为当电信号被施加到压电元件时引起薄膜元件振荡，以及响应于薄膜元件的振荡而生成电信号，其中薄膜元件沿垂直于第一方向的平面具有叶瓣形状，叶瓣形状包括至少两个叶瓣；以及对于每个压电构件，薄膜元件包括对应的薄膜部分，对应的薄膜部分包括对应的叶瓣，每个压电构件位于其对应的薄膜部分之上。由此，压电式微机械超声换能器器件的所得到的带宽的有利地提高。
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