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公开(公告)号：CN109721022B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN201811280031.1
申请日：2018-10-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本申请的各实施例涉及具有悬置隔膜的压电MEMS设备及其制造过程。一种MEMS设备，包括：主体，具有第一表面和第二表面；隔膜腔体，在主体内并且从主体的第二表面延伸；可变形部分，在主体内并且在第一表面和隔膜腔体之间；和压电致动器，在主体在第一表面上延伸并且在可变形部分之上。MEMS设备的特征在于其包括凹槽结构，该凹槽结构在主体内延伸并且为可变形部分界定止动器部分。
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公开(公告)号：CN109721022A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201811280031.1
申请日：2018-10-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本申请的各实施例涉及具有悬置隔膜的压电MEMS设备及其制造过程。一种MEMS设备，包括：主体，具有第一表面和第二表面；隔膜腔体，在主体内并且从主体的第二表面延伸；可变形部分，在主体内并且在第一表面和隔膜腔体之间；和压电致动器，在主体在第一表面上延伸并且在可变形部分之上。MEMS设备的特征在于其包括凹槽结构，该凹槽结构在主体内延伸并且为可变形部分界定止动器部分。
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公开(公告)号：CN209367796U
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201821772595.2
申请日：2018-10-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本实用新型的各实施例涉及MEMS设备和电子装置。一种MEMS设备，包括：主体，具有第一表面和第二表面；隔膜腔体，在主体内并且从主体的第二表面延伸；可变形部分，在主体内并且在第一表面和隔膜腔体之间；和压电致动器，在主体在第一表面上延伸并且在可变形部分之上。MEMS设备的特征在于其包括凹槽结构，该凹槽结构在主体内延伸并且为可变形部分界定止动器部分。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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