-
公开(公告)号：CN117260651A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311366006.6
申请日：2023-10-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种真空环境下多自由度气浮精密运动台及其工作方法，属于精密运动控制技术领域。承载台设置在支撑导套正上方，承载台与支撑导套之间通过三个音圈电机连接，所述运动导轨设置在支撑导套内且二者通过直线驱动电机连接，所述运动导轨与支撑导套之间设有气浮间隙，所述运动导轨运动方向两端均固定有固定板，所述运动导轨、支撑导套及两个固定板均设置在隔振平台上，所述运动导轨及两个固定板均与隔振平台固定连接，所述支撑导套的上端气浮板前后两侧均固定有多个电磁铁。本发明具有高精度、高速度、高稳定性和轻量化的优点，具有良好的减重集成效益和运动稳定性，可广泛应用于各种高精度运动平台和设备中。
-
公开(公告)号：CN117249165A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311335570.1
申请日：2023-10-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供一种磁气混合的主动式气浮支撑结构及支撑方法，属于气浮支撑技术领域。该支撑结构气膜厚度可灵活调整，支撑可靠，稳定性好。气浮轴承设置于平台上方，导磁体‑的位置与气浮轴承的位置上下相对应，导磁体‑安装在平台上，所述气膜主动调节单元布设在气浮轴承中，通过气膜主动调节单元控制气膜的厚度。本申请通过节流器结构的加入，主动补偿供气压力以及磁力结构的加入，有效地提升气浮轴承的动态及静态特性。
-
公开(公告)号：CN113867106B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202111110725.2
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的铰链摆放成菱形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的四个支撑组件呈正方形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的铰链使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
-
公开(公告)号：CN113917794B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202111110520.4
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及精密仪器的技术领域，本发明的实施例提供了一种反射镜架及反射装置，包括：架本体，所述架本体用于与反射镜连接；三个安装件，所述安装件用于与光刻机计量基准部件连接；以及三个驱动装置，所有的所述驱动装置均与所述架本体连接，且三个所述驱动装置在横截面上的相互连线形成三角形，所述驱动装置与所述安装件一一对应连接，各所述驱动装置分别用于驱动对应的所述安装件，以使所述架本体的相应部位相对各所述安装件沿Z轴方向移动并实现所述反射镜的位姿调整。
-
公开(公告)号：CN114296322B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111648320.4
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于复合结构的准零刚度柔性导向结构，它涉及精密仪器及机械技术领域。本发明解决了现有的柔性导向机构存在无法通过纯柔性机构实现大行程，高精度的导向功能，且无法克服长行程柔性机构产生大变形回弹力带来的控制问题。本发明的直线电机驱动模块的动子与运动部件连接，两组负刚度复合结构组件对称设置在运动部件两侧，负刚度复合结构组件一端与运动部件侧面中部垂直连接，负刚度复合结构组件另一端与一组负刚度簧片固定组件连接，每个中部固定基座与两个中间连接体之间分别连接有一组外层导向结构，每个系统固定结构与两个中间连接体之间均分别通过一组折叠簧片结构连接。本发明在大行程直线运动中满足高精度要求，为光刻机提供高精度直线导向。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114217509B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111542248.7
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种基于拉线式机构的机械复眼旋转驱动装置，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有机械复眼集成度低，难以对光路精准导向的问题。它包括机架、水平致动器、垂直致动器、张紧装置、球铰和光学元件，所述光学元件通过球铰与机架上端铰接相连，所述水平致动器设置在机架的底部中心位置，所述水平致动器与拉线相连，所述水平致动器带动拉线运动，所述拉线两侧分别穿过张紧装置后，拉线的两端与光学元件长度方向的两端相连，所述垂直致动器固定在机架的中部，所述垂直致动器两侧分别与两个拉杆相连，通过垂直致动器驱动两个拉杆运动，所述两个拉杆的上端与光学元件宽度方向的两侧相连。它主要用于机械复眼旋转驱动。
-
公开(公告)号：CN114137804B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111542258.0
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种用于柔性照明器的多连杆耦合两轴驱动机构，属于属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有多自由度驱动机构无法兼顾设备尺寸限制和调整范围，无法适用于光刻机设备的问题。它包括外壳、底座、第一连杆组、第二连杆组、连杆组悬架和球型铰链，所述底座设置在外壳内，所述球型铰链包括球头和球头座，所述球头与底座相连，所述球头座与球头铰接相连，所述球头座上端与光学元件相连，所述第一连杆组与底座相连，所述第二连杆组通过连杆组悬架在球头座上与第一连杆组耦合，第一连杆组和第二连杆组共同作用，实现驱动机构的多自由度输出。它主要用于柔性照明器的驱动。
-
公开(公告)号：CN113820924B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202111110624.5
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种光刻机的微动平台，涉及微动台领域。光刻机的微动平台包括底座、驱动机构和运动座，运动座间隔设于底座上侧，驱动机构安装于底座和运动座之间；驱动机构包括至少三个周向间隔布置的驱动件，驱动件的驱动方向垂直于运动座的支撑平面，且驱动件的驱动端与运动座柔性连接；底座与运动座之间设有至少三个高度传感器和至少三个平面传感器，至少三个高度传感器和平面传感器分布于运动座的边角位置，高度传感器检测运动座的高度位移，平面传感器检测运动座的平面位移，且至少三个平面传感器的检测方向呈相交布置。本专利实现了运动座的Z向、RX向和RY向运动，提高了微动平台六自由度运动的控制精度，提高了微动平台的运动平稳性和精度。
-
公开(公告)号：CN114264448A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202111541828.4
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种复眼单元工作环境模拟及性能评估系统及其使用方法，属于精密仪器以及精密测量技术领域，本发明为了解决现有技术中缺乏针对复眼单元性能测试及其稳定测试环境构建设备的问题，本发明所述的评估系统包括真空单元、温控单元、隔振底座、测量单元和复眼单元，同时考虑了复眼单元的真空和高温的工作环境。在真空环境模拟系统中，利用真空泵和真空规管组成闭环系统，同时在温控系统中利用温度传感器的电热膜、水冷板组成闭环系统，保证复眼单元所处环境的真空度和温度在目标值在一定的误差范围内，满足测试要求，同时采用了一种基于光敏位移传感器的测量系统，相比于利用干涉仪的测量系统，简化了系统组成，进一步提高了测量精度。
-
公开(公告)号：CN114153127A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111541834.X
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于多自由度柔性铰链的微型镜面阵列驱动装置，属于精密仪器及机械技术领域。解决了兼顾运动精度、运动范围、热耗散、尺寸控制的问题。它包括多个驱动单元，多个驱动单元以阵列形式排布，每个驱动单元上端均与镜面相连，所述驱动单元包括外壳、致动器、第一柔性铰链、第二柔性铰链、传动杆和滑块，所述致动器固定在外壳的内部，所述致动器与滑块相连，所述第一柔性铰链的一端与滑块相连，另一端与传动杆相连，所述第二柔性铰链一端固定在外壳上，另一端与镜面相连，所述传动杆穿过第二柔性铰链后与镜面相连。它主要用于镜面的驱动。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
115
records
(took 0.031 seconds)
