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公开(公告)号：CN114705655A
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202210203073.5
申请日：2022-03-03
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明公开了一种有源集成氮化硅光子晶体谐振腔传感器及制备方法，本发明提出有源集成的光子晶体传感器结构，包括由一维或二维周期性光子晶体结构组成的无缺陷、缺陷或异质结构光子谐振腔。通过在蓝宝石衬底上生长出包含InGaN和GaN交替组成的多层量子阱的GaN基蓝光材料体系、二氧化硅包覆层和氮化硅层，在氮化硅层刻蚀空气孔，形成光子晶体谐振腔，从而实现折射率传感器结构。相比传统传感器，该光子晶体谐振腔传感器实现单片有源集成，实现光源和传感元件的一体化集成，尺寸更小，集成度更高；同时该光子晶体谐振腔传感器采用氮化硅作为光子晶体谐振腔材料，其具有低损耗高Q值的特性，利于实现高灵敏度、低阈值的传感检测。
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公开(公告)号：CN112540430B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202011560465.4
申请日：2020-12-25
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于波导光栅的PDMS柔性力敏传感器及制备方法，包括PDMS波导、波导光栅区，根据滤波波长‑光栅参数‑受力的关系实现力敏检测。用丙酮、酒精和去离子水清洗硅片并烘干；在硅片表面涂覆光刻胶并烘干；对硅片进行掩膜光刻和显影，将掩膜版的图形转移至光刻胶膜上；进行硅的干法刻蚀并去除光刻胶膜，得到硅模板；根据柔性需求，配比不同比例的PDMS液和固化液得到混合液，控制PDMS液和固化液配比在5:1～15:1之间；充分搅拌并在真空下完全去除混合液中的空气；将硅模板放在混合液表面，使硅模板的表面与混合液充分浸润，然后将硅模板和混合液一起加热使得混合液充分固化将硅模板揭下，得到PDMS光波导和光栅结构。
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公开(公告)号：CN111641108B
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN202010478262.4
申请日：2020-05-29
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种硅基悬空光子晶体面发射型蓝光激光器及制备方法，包括硅衬底层、AlGaN缓冲层、n‑GaN层、n‑电极、有源层、p‑GaN层、p‑电极、以及在表面GaN刻蚀形成的光子晶体或在GaN表面生长制备的光子晶体层。本发明采用背面释放衬底并对Ⅲ‑Ⅴ族进行可控减薄的悬空结构，可以实现光场模式分布的调节及控制，从而优化得到在GaN表面光子晶体的高效耦合强度和在有源层的高耦合强度，利于低阈值激光器的实现。采用在GaN表面刻蚀形成光子晶体或在GaN表面生长制备光子晶体，方法工艺更加简便；同时未对有源层带来破坏，可以应用于电泵浦激光。
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公开(公告)号：CN111641107B
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202010475784.9
申请日：2020-05-29
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于二氧化钛光子晶体的面发射型氮化镓基激光器及制备方法，包括蓝宝石衬底层、n‑GaN层、n‑AlGaN层、波导n‑GaN层、n‑电极、InGaN/GaN成对组成的多层量子阱有源层、p‑GaN层、p‑电极、TiO2光子晶体层。本发明采用了TiO2作为光子晶体层的材料，实现了对光场模式分布的有益调控，能实现在光子晶体内的高效耦合，更有利于激光器低阈值的实现。采用了在晶片表面生长制备光子晶体层，相比传统的在晶片材料内部引入光子晶体的方法更为简单方便，降低了制备加工的难度。
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公开(公告)号：CN112540430A
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202011560465.4
申请日：2020-12-25
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于波导光栅的PDMS柔性力敏传感器及制备方法，包括PDMS波导、波导光栅区，根据滤波波长‑光栅参数‑受力的关系实现力敏检测。用丙酮、酒精和去离子水清洗硅片并烘干；在硅片表面涂覆光刻胶并烘干；对硅片进行掩膜光刻和显影，将掩膜版的图形转移至光刻胶膜上；进行硅的干法刻蚀并去除光刻胶膜，得到硅模板；根据柔性需求，配比不同比例的PDMS液和固化液得到混合液，控制PDMS液和固化液配比在5:1～15:1之间；充分搅拌并在真空下完全去除混合液中的空气；将硅模板放在混合液表面，使硅模板的表面与混合液充分浸润，然后将硅模板和混合液一起加热使得混合液充分固化将硅模板揭下，得到PDMS光波导和光栅结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110123368A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910452241.2
申请日：2019-05-28
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开一种基于PCA串并融合的多路心音特征表征方法，分别提取四路心音的能量熵特征、互信息特征和相关性特征作为有效特征数据集，利用主成分分析对能量熵特征进行降维处理，获得串行特征；将相关性特征和互信息特征从实向量空间拓展到复向量空间，进行并行融合，获得并行特征；最后将串行并行特征再次融合成为多元优化组合特征。这种基于PCA串并融合的多路心音特征融合方法，具有针对性强，凸显差异性的优点。由多路心音信号获取的多元优化组合特征表征效果明显优于单路心音信号的特征表征效果，不仅有益于分类模型的构建，而且对实现先心病的快速筛查，提高分类识别率具有积极的意义。
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公开(公告)号：CN109270626A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811433756.X
申请日：2018-11-28
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于SOI晶片的可调光栅滤波器及制备方法，包括SOI晶片，SOI晶片的顶层硅被完全刻穿形成间隔的、周期性的矩形硅和光栅刻槽，所述刻槽内填充介质材料，在所述介质材料上溅射一定厚度的金属层作为电极。本发明采用的全刻蚀光栅没有刻蚀深度的问题，并且通过光栅刻槽间加入介质材料，减少光栅和刻槽之间的折射率差，从而获得较窄的反射波段，达到浅刻蚀所能达到的效果，对于完全刻蚀的矩形波导可以和光栅同步制作。
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公开(公告)号：CN108321242A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810015572.5
申请日：2018-01-08
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了基于石墨烯和耦合光栅的光探测器及其制作方法。本发明结合了石墨烯作为吸收层和耦合光栅作为加强吸收结构的优势，实现高效、高灵敏度和高响应度的光子探测。本发明制备方法采用微纳加工工艺，采用正面或背面的减法或加法工艺，结合石墨烯片上转移或石墨烯片上集成微纳制备的方法，最终实现探测器结构。本发明在探测上可以实现基于金属/石墨烯/金属型(M/G/M)和石墨烯/GaN半导体结型(G/S)原理结构的探测。
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公开(公告)号：CN106384539A
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201610909589.6
申请日：2016-10-19
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G08G1/14
CPC classification number: G08G1/145
Abstract: 本发明公开了基于雷达传感的停车位智能指示灯系统及实现方法，该系统将雷达传感的优势和智能LED相结合，提出针对停车场停车位指示的新型应用。该智能指示灯系统器件包括雷达传感器、信号调制与发射模块、回波信号采集与处理模块、LED控制与驱动电路、LED等五个部分组成。前端器件与停车位间采用一对多的布局结构，将雷达传感对停车位有无的感应、判定和空余的停车位数量，来匹配控制LED灯的明亮程度或发光颜色。本系统在实现了全天候、实时的、高灵敏度感应的同时，可以指示出空余停车位的有无和数量，实现便捷的、高效的、实用的停车引导系统。
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公开(公告)号：CN105841725A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610180054.X
申请日：2016-03-26
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01D5/38
CPC classification number: G01D5/38
Abstract: 本发明公开了基于光栅耦合的可见光单片集成传感器及其制作方法，本方案的单片集成是利用分别在光源区和探测区的耦合光栅，实现将有源区和无源区的光子衍射导入导出来完成的。该器件的传感原理是通过周围介质对悬空的平面波导内光子的传输损耗与介质折射率的关系来实现的。通过微纳加工正面刻蚀III?V族化合物材料实现耦合光栅和平面光子波导，并结合正面或背面释放硅基底和减薄III?V族化合物材料的微纳刻蚀方法来制备该单片集成传感器。本发明所公开的传感器的特点是具有灵敏传感响应的、便捷的微型单芯片传感器，并以此可以实现对不同介质的基于不同波段的检测和特殊环境下的传感探测。
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