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公开(公告)号：CN110784190B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN201910534853.6
申请日：2019-06-20
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种声波滤波器装置，所述声波滤波器装置包括谐振部、第一金属焊盘和第二金属焊盘。谐振部中的每个包括设置在基板上的下电极、设置在所述下电极的至少一部分上的压电层以及设置在所述压电层的至少一部分上的上电极。第一金属焊盘连接到所述谐振部中的相应的谐振部的所述上电极和所述下电极中的一个。第二金属焊盘设置在所述下电极、所述压电层和所述上电极重叠的有效区外部，并连接到所述谐振部中的相邻的谐振部的所述上电极和所述下电极中的另一个。设置在所述有效区外部的环形部仅设置在所述第一金属焊盘和所述第二金属焊盘中的任意一者的一部分上。
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公开(公告)号：CN110829998A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201910548840.4
申请日：2019-06-24
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；膜层，与所述基板形成腔；下电极，设置在所述膜层上；插入层，设置为覆盖所述下电极的至少一部分；压电层，设置在所述下电极上以覆盖所述插入层；以及上电极，至少部分地设置在所述压电层上，其中，所述上电极包括设置在所述插入层上的反射凹槽。
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公开(公告)号：CN110784190A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201910534853.6
申请日：2019-06-20
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种声波滤波器装置，所述声波滤波器装置包括谐振部、第一金属焊盘和第二金属焊盘。谐振部中的每个包括设置在基板上的下电极、设置在所述下电极的至少一部分上的压电层以及设置在所述压电层的至少一部分上的上电极。第一金属焊盘连接到所述谐振部中的相应的谐振部的所述上电极和所述下电极中的一个。第二金属焊盘设置在所述下电极、所述压电层和所述上电极重叠的有效区外部，并连接到所述谐振部中的相邻的谐振部的所述上电极和所述下电极中的另一个。设置在所述有效区外部的环形部仅设置在所述第一金属焊盘和所述第二金属焊盘中的任意一者的一部分上。
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公开(公告)号：CN106059524B
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201610040724.8
申请日：2016-01-21
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 公开了一种体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板；气腔，形成在基板上；谐振部，形成在气腔上，并包括依次层压的第一电极、压电层和第二电极，其中，气腔的截面具有短边、与短边相对的长边以及使短边和长边彼此连接的第一侧边和第二侧边，第一侧边和第二侧边倾斜，第一电极、压电层、第二电极或它们的任意组合的表面粗糙度在1nm与100nm之间。
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公开(公告)号：CN108336982A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810039429.X
申请日：2018-01-16
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H9/02118 , H03H3/02 , H03H9/02015 , H03H9/02157 , H03H9/132 , H03H9/17 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H2003/021 , H03H2003/023
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器，包括：基板；膜层，与所述基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的部分并使所述压电层的侧部暴露于空气，其中，所述压电层包括台阶部，所述台阶部从所述压电层的所述侧部延伸并设置在所述下电极的所述平坦表面上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118868847A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410483538.6
申请日：2024-04-22
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开涉及体声波谐振器。体声波谐振器包括：有效区域，在该有效区域中，设置在基板上的第一电极、沿着高度方向设置在第一电极上的压电层、以及沿着高度方向设置在压电层上的第二电极在高度方向上彼此重叠；外围区域，在该外围区域中，第一电极或第二电极从有效区域向外延伸，使得第一电极和第二电极在外围区域中在高度方向上彼此不重叠；以及辅助层，设置在外围区域中，其中，有效区域的第一截止频率基本上等于外围区域的第二截止频率。
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公开(公告)号：CN112311351B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202010748289.0
申请日：2020-07-30
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；下电极，设置在所述基板上；压电层，至少部分地覆盖所述下电极；以及上电极，至少部分地覆盖所述压电层。在所述体声波谐振器的表面上，所述下电极、所述压电层和所述上电极全部彼此重叠的有效区域的质心与限定所述有效区域的高宽比的矩形的中心对准。所述有效区域具有相对于穿过限定所述高宽比的所述矩形的所述中心的至少一个轴对称的多边形的形状。所述高宽比大于等于2且小于等于10。
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公开(公告)号：CN107094002B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201610915495.X
申请日：2016-10-20
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 提供了一种声波谐振器及其制造方法。所述声波谐振器包括：基板；谐振部，安装在基板上，并包括谐振部电极，所述谐振部电极被构造为产生声波；腔，设置在谐振部和基板之间；框架部，设置在谐振部电极中的至少一个电极上，并被构造为反射声波；连接电极，被构造为将所述至少一个电极连接到外电极，并具有比所述至少一个电极的厚度小的厚度。
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公开(公告)号：CN110166018A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201910085638.2
申请日：2019-01-29
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/02
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，设置在所述第一电极的至少一部分上；以及第二电极，设置在所述压电层的至少一部分上。在所述第一电极和所述第二电极中的一个与所述压电层之间形成有第一间隙。所述第一间隙包括第一内间隙和第一外间隙，所述第一内间隙设置在所述体声波谐振器的有效区中，并且在所述第一电极和所述第二电极中的所述一个与所述压电层之间具有第一间隔距离，所述第一外间隙设置在所述有效区的外部，并且在所述第一电极和所述第二电极中的所述一个与所述压电层之间具有不同于所述第一间隔距离的第二间隔距离。
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