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公开(公告)号：CN117187852B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202311144197.1
申请日：2023-09-06
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司 , 四川格林达电子材料有限公司
IPC: C25B11/053 , C25B11/091 , C25B11/02 , C25B3/09 , G03F7/32
Abstract: 本发明公开了一种低表面张力长效显影液。本发明的低表面张力长效显影液采用本发明制备的复合阳极电极在阴极电解的TMAH水溶液，配合碱性物质、醇或醚类物质、以及表面活性剂制备得到。电极的制备过程包括：采用原位合成法在钛基板表面形成了具有纳米网格形貌的二氧化钛层，然后采用浸渍、干燥、焙烧循环沉积法得到了含有锡、钽、钛等活性组分的第一复合层和第二复合层的复合阳极电极，原位合成法构造了纳米网格形形貌，有助于锡、钽、钛等活性组分的沉积、提高了活性组分的活性；特定的形貌和循环沉积方法提高了复合电极膜的强度、附着性能、导电性、耐久性等。本发明的显影液具有改善的碱值保持力、表面张力和宽温性能等综合性能。
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公开(公告)号：CN118084630A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410212471.2
申请日：2024-02-27
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司 , 北京科技大学
IPC: C07C41/03 , C07C43/205 , C09K23/42
Abstract: 本发明公开了一种低泡型非离子Gemini表面活性剂及其制备方法，包括如下步骤：将二叔戊基氢醌溶于乙腈中，加入到反应容器中；在反应容器中加入催化剂，并通过惰性气体置换反应容器中的空气；将反应容器升温，再通入环氧乙烷进行反应；反应后，将反应容器的温度将至室温，收集得到紫红色液体粗产物；将得到的紫红色液体粗产物进行旋蒸，再用二氯甲烷或乙酸乙酯进行萃取，之后再次进行旋蒸，干燥处理后得到低泡型非离子Gemini表面活性剂。本发明一种低泡型非离子Gemini表面活性剂，作为半导体及新型显示领域湿电子化学品的表面活性剂添加剂，加入后能够有效降低湿电子化学品的接触角，增强其浸润性，同时降低使用过程的起泡性。
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公开(公告)号：CN114280901A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202210076546.X
申请日：2022-01-24
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物及其制备方法，包括2～8%重量份有机胺，25～70%重量份质子性有机溶剂，25～70%重量份非质子性有机溶剂，0.3～3%重量份添加剂，0.1～0.5%重量份表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100%。制备方法包括：S1：加入非质子性有机溶剂；S2：不断搅拌，加入质子性有机溶剂；S3：不断搅拌，加入有机胺，并控制温度在40℃以内；S4：不断搅拌，加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。本发明剥离性能好，有利于增强剥离液对于抗蚀剂的溶解和清洗性能，保证剥离液对于Cu制程和Al制程的兼容性，有效降低产线工艺的复杂性。
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公开(公告)号：CN107357142B
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN201710532273.4
申请日：2017-07-03
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明涉及一种水系光致抗蚀剂剥离液及其制备方法，其组分按重量百分比计，包括:1～20％的烷氧基烷胺，5～50％的质子性溶剂，30～80％的非质子性溶剂，10～30％的水，0.01～1％的添加剂，0.005～0.1％的长碳链脂肪醇。该蚀刻液的制备方法为：按比例依次将烷氧基烷胺，质子性溶剂，非质子性溶剂加入到混配釜中，然后加入添加剂，长碳链脂肪醇和水，搅拌循环后过滤。该剥离液剥离能力强，能有效的去除光致抗蚀剂残留物，可以用于不同金属膜层的工艺，不腐蚀下层金属配线，剥离液使用寿命长，并且对人体和环境无害。
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公开(公告)号：CN109626646A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201910007276.5
申请日：2019-01-04
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
IPC: C02F9/04 , C02F101/14
CPC classification number: C02F1/5236 , C02F1/00 , C02F2101/14
Abstract: 本发明涉及一种玻璃减薄行业含氟玻璃减薄废液在线回收再利用的方法：(1)分析含氟玻璃减薄废液的各种酸组分含量；(2)在不断搅拌下，按摩尔计量比将有机酸碱金属盐添加到含氟玻璃减薄废液中进行混合；(3)待沉淀沉降后，从底部分离出沉淀物，经过清洗、脱水、干燥后得到氟硅酸碱金属盐固体物；(4)从上部分离出有机酸，经过碱金属氢氧化物皂化、干燥后得到有机酸碱金属盐；(5)对中部分离的经过处理的含氟液通过补加氢氟酸和其他有用酸组分，使其符合原玻璃减薄制程中蚀刻液各组分含量后，经过微滤，返回到原制程中继续使用。本发明不会给处理后的回收液带入阴离子，反应过程温和，安全可靠。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN219695655U
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202320595039.7
申请日：2023-03-24
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明公开了一种高粘度高纯液体的自动连续精准添加装置，至少包括：加料机构，包括进料管、加料管和出料管；气压供给机构，包括排气管、盘管和气体压出组件；所述排气管连接于所述加料管；所述盘管和所述气体压出组件均设置于所述排气管内，所述盘管的一端连接所述气体压出组件，所述盘管的另一端延伸至所述排气管外；红外液位控制机构，设置于所述加料管外壁，用于液位控制；驱动机构，包括密封箱、电机和缠绕辊；所述密封箱内设置所述电机，所述电机的输出轴上连接所述缠绕辊，所述缠绕辊上缠绕所述盘管。本实用新型能够实现添加过程的自动化、连续化，过程精细可控，同时保证了半导体湿电子化学品产品的洁净度要求。
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公开(公告)号：CN213266723U
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202022146063.1
申请日：2020-09-27
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种适用于高纯电子化学品生产的模组式电解槽框，所述模组式电解槽框由等高的自锁紧模块可拆卸组合而成，所述自锁紧模块与电解液体的接触面均涂覆有膨胀密封材料。本实用新型的电解槽框可单片拆装，无需整体压紧密封且密封性好，电解过程中不发生渗漏现象，适用于高纯电子化学品的生产模组式电解槽框。
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公开(公告)号：CN221637352U
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202323422016.5
申请日：2023-12-15
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
IPC: B01D1/22 , C07C209/86 , C07C211/63 , B01D1/30 , B01D3/10
Abstract: 本实用新型公开了一种固体四甲基氢氧化铵制备装置，包括降膜蒸发器和降膜浓缩器，所述降膜蒸发器的输入端连接原料注入管，所述降膜蒸发器的输出端连接所述降膜浓缩器的输入端，还包括真空装置，所述降膜蒸发器与降膜浓缩器分别与所述真空装置相连接；所述降膜浓缩器的输出端通过加热蒸汽管道连接片碱机的输入端。与现有技术相比，使用的真空连续蒸发浓缩制备固体四甲基氢氧化铵装置，实现在真空条件下连续制备，可以减少能耗和提高制备效率；在真空条件下通过降膜蒸发和浓缩，可以实现低温蒸馏脱水，降低沸点，快速进行溶液浓缩，可避免高温条件下四甲基氢氧化铵原料的分解，且能够降低蒸汽能耗。
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公开(公告)号：CN212722002U
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202021381258.8
申请日：2020-07-14
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
IPC: G01M13/00
Abstract: 本实用新型涉及一种实验室用模块化喷淋式湿电子化学品评价设备，包括配合设有控制器的处理装置、多腔体装置、运送装置；处理装置包括设于多腔体装置顶部的若干喷淋装置和若干吹扫装置；多腔体装置包括顺次连接的第一模块、第三模块、若干第二模块、第三模块和第一模块，喷淋装置或吹扫装置配合设置在第二模块顶部，前端和后端的第三模块顶部分别设置喷淋装置和吹扫装置，两个第三模块对称；运送装置与第二模块和第三模块配合。本实用新型适用于湿电子化学品开发过程中小批量产品在线验证，参考价值高，避免评价偏差，充分满足模拟；实验规模小，安装成本低，物料可在湿电子化学品开发公司现地考评，反馈速度快，提高湿电子化学品的开发速度。
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公开(公告)号：CN208493283U
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201820818933.5
申请日：2018-05-30
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种超重力精馏回收剥离液中有机组分的系统，所述系统包括原料罐，吸附槽、第一压力泵、第一级超重力精馏机、第一冷凝器、第一冷凝罐、第二压力泵、第二级超重力精馏机、沉降槽、过滤器、第三压力泵、第二冷凝器、第二冷凝罐、第四压力泵，第三级超重力精馏机、第五压力泵，第三冷凝器、成品罐和第六压力泵。本实用新型的系统通过三级超重力精馏机联动解决了光刻胶影响传质效率和易残留黏附于超重力精馏机中的问题，同时能够有效去除水分等低沸点物质，实现有多组分有机成分的分离，且设备体积小、工艺简单、能耗和成本低，循环工作效率高，有机组分回收率高。
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