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公开(公告)号：CN112585870A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN201980054142.7
申请日：2019-08-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/02 , H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/187 , H01L41/29 , H03H9/24
Abstract: 本发明提供一种谐振装置，能够抑制电容的不平衡。谐振装置(1)具备：谐振器(10)，其包含上部电极(125A～125D)、下部电极(129)、以及形成在上部电极(125A～125D)与下部电极(129)之间的压电薄膜(F3)；上盖(30)，其设置为第一面与谐振器(10)的上部电极(125A～125D)对置；电源端子(ST1)，其设置于上述基板的第二面，与上部电极(125B、125C)电连接；电源端子(ST2)，其设置于上盖(30)的第二面，与上部电极(125A、125D)电连接；以及接地端子(GT)，其设置于上盖(30)的第二面，与下部电极(129)电连接，电源端子(ST1)的面积与电源端子(ST2)的面积不同，以便在电源端子(ST1)与接地端子(GT)之间产生的电容与在电源端子(ST2)与接地端子(GT)之间产生的电容近似。
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公开(公告)号：CN110771036A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201880040579.0
申请日：2018-03-26
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 在本发明的谐振器中，改善DLD。具有：基部；以及3根以上的振动臂，具有第一电极以及第二电极、和压电膜，该压电膜设置于第一电极与第二电极之间，且具有与第一电极对置的上表面，并在电压施加于第一电极以及第二电极之间时以规定的振动模式振动，上述振动臂的一端是与基部的前端连接的固定端，另一端是向远离前端的方向延伸的开放端，3根以上的振动臂具有：2根第一臂，在3根以上的振动臂排列的方向上位于最外侧，且以同相位振动；以及1根以上的第二臂，夹在2根第一臂之间，第一臂与第二臂相比质量较大。
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公开(公告)号：CN110741550A
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201880037723.5
申请日：2018-02-26
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供更简便且高精度的频率调整方法。是具备具有根据施加给电极的电压进行振动的振动部的谐振器的谐振装置的制造方法，包含：在振动部中的与其它的区域相比由振动引起的位移较大的区域形成由氧化钼构成的调整膜的工序；以及通过激光除去调整膜中至少一部分来调整上述谐振器的频率的工序。
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公开(公告)号：CN110663176A
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201880033623.5
申请日：2018-01-29
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明在谐振器中，在抑制DLD的偏差的同时改善DLD。具备：振动部，具有多个振动臂以及基部，其中，上述多个振动臂为分别具有固定端和开放端的3根以上的振动臂，且至少2根振动臂以不同的相位进行面外弯曲，上述基部具有与上述多个振动臂的固定端连接的前端、和与该前端对置的后端；保持部，设置于上述振动部的周围的至少一部分；保持臂，设置于上述振动部与上述保持部之间，一端与上述基部连接，另一端与上述保持部连接；以及多个孔，形成于上述振动部，上述多个孔分别形成于上述基部中的上述多个振动臂中的任意彼此相邻的振动臂之间的区域。
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公开(公告)号：CN112567629B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN201980053290.7
申请日：2019-04-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供谐振子以及具备该谐振子的谐振装置。谐振子(10)具备：基部(130)；至少三个振动臂(121A～D)，具有压电膜(F3)、上部电极E2以及下部电极E1；保持部(140)；以及保持臂(150)，至少三个振动臂(121A～D)的各振动臂(121A～D)具有臂部(123A～D)和前端部(122A～D)，保持臂(150)具有与外侧振动臂(121A)并行地延伸的保持侧臂(153A)，外侧振动臂(121A)的前端部(122A)与保持部(140)之间的释放宽度(12Wa)比保持侧臂(153A)与保持部(140)之间的释放宽度(15Wa)、或者外侧振动臂(121A)的臂部(123A)与保持侧臂(153A)之间的释放宽度(15Wb)大。
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公开(公告)号：CN118402181A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202280083208.7
申请日：2022-08-08
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明提供能够抑制主模式的振动和寄生模式的振动的耦合的产生的谐振子以及谐振装置。谐振子(10)具备：振动部(110)，包括多个振动臂(121)和基部(130)，其中，上述多个振动臂(121)为三根以上且分别具有固定端，至少两根以不同的相位进行面外弯曲，上述基部(130)具有供多个振动臂(121)各自的固定端连接的一端和与该一端对置的另一端；保持部(140)，构成为保持振动部(110)；以及支承臂(151)，一端与保持部(140)连接，另一端与基部(130)的另一端连接，支承臂(151)具有构成为使支承臂(151)的振动中的Q值降低的降低膜(LM)。
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公开(公告)号：CN112640302B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN201980057531.5
申请日：2019-04-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 谐振子(10)具备：基部(130)；和至少三个振动臂(121A～D)，其一端是与基部(130)的前端部(131A)连接的固定端，另一端是离开前端部(131A)设置的自由端，至少三个振动臂(121A～D)中各振动臂具有：臂部(123A～D)，其具有沿着从固定端朝向自由端的方向以相同宽度延伸的部分；和质量附加部(122A～D)，其与臂部(123A～D)的末端连接，且比臂部(123A～D)宽度大，在相邻且相互反相振动的任两个振动臂(121A、121B)中，质量附加部(122A、122B)彼此的间隔(PT12)大于臂部(123A、123B)彼此的间隔(PT13)。
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公开(公告)号：CN111989863B
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN201880092468.4
申请日：2018-11-26
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 谐振装置(1)具备谐振器(10)、上盖(30)和下盖(20)，谐振器具有具备基部(130)和多个振动臂(135)的振动部(120)、保持部(140)以及保持臂(111、112)，下盖(20)具有在相邻的2个振动臂(135B、135C)之间突起的突起部(50)，突起部(50)具有绝缘膜(235)，振动臂(135)具有锤部(G)，锤部(G)具有形成在绝缘膜(235)上的导电膜(236)，在多个振动臂(135)延伸的方向上，与相邻的2个振动臂(135B、135C)中的任意一个的锤部(G)与保持部(140)之间的第一距离(L1)相比，锤部(G)与突起部(50)之间的第二距离(L2)较大。
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公开(公告)号：CN115362630A
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202080099047.1
申请日：2020-11-17
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 具备：振动部，其具有基部和多个振动臂，上述基部具有前端和与上述前端相向的后端，上述多个振动臂的固定端与基部的前端连接并且向离开前端的方向延伸，多个振动臂包括至少一个第1振动臂和位于包括至少一个第1振动臂的第1振动臂组的与长边方向交叉方向的两侧的一对第2振动臂；保持部，其设置于振动部四周的至少局部；以及保持臂，其一端与基部连接，并且另一端与保持部连接，多个振动部具有：压电膜、以及之间隔着压电膜而相向设置的下部电极和上部电极，将一对第2振动臂各自的上部电极相互连结的连结布线设置于基部和保持臂中至少一者的区域。
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公开(公告)号：CN113826322A
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202080033645.9
申请日：2020-02-03
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明提供一种谐振装置，其降低了施加于支承臂与保持部的连接部分的应力。谐振装置具备：谐振器，包括基部、从该基部的一端沿着第一方向延伸的振动臂、配置于振动臂的周围的至少一部分并将振动臂保持为能够振动的保持部、以及将基部与保持部连接的支承臂；和第一基板，包括形成谐振器的振动空间的至少一部分的第一凹部、以及在厚度方向上与支承臂空开第一距离地设置的第一限制部，第一距离小于在第一基板的厚度方向上第一凹部的底面与振动臂之间的距离。
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