公开(公告)号：CN114342098B

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202080062313.3

申请日：2020-05-25

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 岸本谕卓 ,  池内伸介 ,  铃木胜之 ,  黑川文弥

IPC: H10N30/87 ,  H10N30/853 ,  H10N30/06 ,  H03H9/17

Abstract: 在压电元件(100)中，第二电极层(130)位于单晶压电体层(110)的第二面(112)侧。在第二电极层(130)形成有与贯通孔(113)面对的孔部(131)。第二电极层(130)由Pt、Ti、Al、Cu、Au、Ag、Mg或者包含这些金属中的至少一种作为主成分的合金构成。第三电极层(140)配置在第二电极层(130)的与单晶压电体层(110)侧相反的一侧。第三电极层(140)设置为至少具有在从与第二面(112)垂直的方向观察时与孔部(131)的缘部(132)隔开间隔地位于比孔部(131)的缘部(132)靠外侧的位置的部分。第三电极层(140)由Ni或者包含Ni作为主成分的合金构成。

公开(公告)号：CN113169266B

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN201980076900.5

申请日：2019-09-04

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 黑川文弥 ,  池内伸介 ,  持田洋一 ,  梅泽青司 ,  安达永纯 ,  岸本谕卓

IPC: H10N30/20 ,  H10N30/88 ,  H10N30/30 ,  H10N30/853

Abstract: 多个梁部(110)各自具有固定端部(111)，并在远离固定端部(111)的方向上延伸。基部(120)与多个梁部(110)各自的固定端部(111)连接。多个梁部(110)各自在同一平面内延伸，且多个梁部(110)中的至少两个梁部(110)各自的延伸方向(E)互不相同。多个梁部(110)各自包含具有同一方向的极化轴的单晶压电体层(10)、上部电极层(20)、以及下部电极层(30)。极化轴(Z′)在上述平面内具有极化分量。与极化轴(Z′)正交且在上述平面内延伸的正交轴(X′)的轴方向与多个梁部(110)各自的延伸方向(E)交叉。

公开(公告)号：CN117280608A

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202280031670.2

申请日：2022-02-07

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 岸本谕卓 ,  大村正志 ,  铃木胜己 ,  井上和则

IPC: H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种不易产生特性的劣化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：第1层(11)，包含支承基板(2)；第2层(12)，设置在第1层(11)上，包含压电膜(3)；和激励电极(4)，设置在第2层(12)上，在第1层(11)与第2层(12)之间设置有空洞部(7)，在第1层(11)和第2层(12)的层叠方向上，激励电极(4)的至少一部分与空洞部(7)重叠，面向空洞部(7)的第1层(11)的主面(6a)的表面粗糙度与面向空洞部(7)的第2层(12)的主面(6b)的表面粗糙度不同。

公开(公告)号：CN117280605A

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202280031543.2

申请日：2022-04-19

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 木村哲也 ,  岸本谕卓 ,  中尾武志

IPC: H03H9/145

Abstract: 本发明提供一种能够容易地调整相对带宽并且元件电容不易变小的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：压电性基板(12)，包含具有相互对置的第1主面(14a)和第2主面(14b)的压电层(14)；中间层(17)，设置在压电层(14)的第1主面(14a)或者第2主面(14b)；和功能电极，设置在中间层(17)上。构成中间层(17)的材料与构成压电层(14)的材料为相同种类，并且中间层(17)的机电耦合系数比压电层(14)的机电耦合系数小。

公开(公告)号：CN114402448A

公开(公告)日：2022-04-26

申请号：CN202080064776.3

申请日：2020-07-06

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 铃木胜之 ,  池内伸介 ,  黑川文弥 ,  岸本谕卓 ,  山田一 ,  小林真人

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/29

Abstract: 压电元件(100)包括压电体层(110)、第1电极层(120)、第2电极层(130)以及连接电极(140)。第2电极层(130)至少局部隔着压电体层(110)而与第1电极层(120)相对。第2电极层(130)具有连接面(131)。连接面(131)在第2电极层(130)中的不与第1电极层(120)相对的区域中面向贯通孔(113)。连接电极(140)设于连接面(131)上。连接面(131)与第2电极层(130)的压电体层(110)侧的面中的连接面(131)以外的部分的位置的差为5nm以下。

公开(公告)号：CN113169266A

公开(公告)日：2021-07-23

申请号：CN201980076900.5

申请日：2019-09-04

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 黑川文弥 ,  池内伸介 ,  持田洋一 ,  梅泽青司 ,  安达永纯 ,  岸本谕卓

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/053 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187

Abstract: 多个梁部(110)各自具有固定端部(111)，并在远离固定端部(111)的方向上延伸。基部(120)与多个梁部(110)各自的固定端部(111)连接。多个梁部(110)各自在同一平面内延伸，且多个梁部(110)中的至少两个梁部(110)各自的延伸方向(E)互不相同。多个梁部(110)各自包含具有同一方向的极化轴的单晶压电体层(10)、上部电极层(20)、以及下部电极层(30)。极化轴(Z′)在上述平面内具有极化分量。与极化轴(Z′)正交且在上述平面内延伸的正交轴(X′)的轴方向与多个梁部(110)各自的延伸方向(E)交叉。

公开(公告)号：CN112514088A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN201980049717.6

申请日：2019-04-24

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 岸本谕卓 ,  池内伸介

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187

Abstract: 本发明具备基部(110)和薄膜部(120)。薄膜部(120)被基部(110)间接地支承，位于比基部(110)靠上侧。薄膜部(120)包含多个层。薄膜部(120)与基部(110)不重叠，且包含单晶压电体层(130)、上部电极层(140)、以及下部电极层(150)。在薄膜部(120)设置有在上下方向上贯通的贯通槽(180)。贯通槽(180)在构成薄膜部(120)的多个层中的最厚的层中形成有第1台阶部(181)。贯通槽(180)的宽度以第1台阶部(181)为界，下侧变得比上侧窄。

公开(公告)号：CN107408936B

公开(公告)日：2020-12-11

申请号：CN201680014166.6

申请日：2016-03-09

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 岸本谕卓

IPC: H03H9/25 ,  H03H3/02 ,  H03H3/08 ,  H03H9/145 ,  H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种在划片工序时难以产生层间的剥离的弹性波装置及其制造方法。弹性波装置(1)具备：压电体层(2)，具有第一主面(2a)和与该第一主面(2a)对置的第二主面(2b)；声反射层(5)，层叠在压电体层(2)的第一主面(2a)上；激励电极，设置在压电体层(2)；以及支承层(6)。声反射层(5)位于在从压电体层(2)的第二主面(2b)侧的俯视下至少与激励电极重叠的位置。支承层(6)设置为至少在从压电体层(2)的第二主面(2b)侧的俯视下包围声反射层(5)。

公开(公告)号：CN110809857A

公开(公告)日：2020-02-18

申请号：CN201880042051.7

申请日：2018-06-15

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 岸本谕卓

IPC: H03H9/25

Abstract: 弹性波装置(1)依次层叠支承基板(51)、声反射层(56)、压电层(52)、和由一对梳齿状电极构成的IDT电极(110)以及布线电极(41以及42)，声反射层(56)具有低Z电介质层(53B)、配置在低Z电介质层(53B)的下方且声阻抗比低Z电介质层(53B)高的高Z电介质层(55)、以及配置在低Z电介质层(53B)的上方且声阻抗比低Z电介质层(53B)高的金属层(54)，在俯视声反射层(56)的情况下，金属层(54)在包含IDT电极(110)和布线电极(41a、41b、42a以及42b)并且不包含IDT电极(110)以外的IDT电极的区域中，金属层(54)的形成面积比高Z电介质层(55)的形成面积小。

公开(公告)号：CN106489238B

公开(公告)日：2019-04-12

申请号：CN201580036972.9

申请日：2015-06-17

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 岸本谕卓

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/17

Abstract: 在压电基板(200)的背面形成牺牲层(600)(S101)。在压电基板(200)的背面形成支承层(300)，以便覆盖牺牲层(600)(S102)。使支承层(300)平坦化，形成作为压电谐振器(10)的支承层(30)。对支承层(30)与牺牲层(600)的表面进行研磨，由此形成牺牲层(600)的表面相对于支承层(30)的表面凹陷的凹部(31)(S103)。凹部(31)由向支承层(30)中的支承层(30)与牺牲层(600)的界面附近扩展的形状构成。在具有凹部(31)的支承层(30)与牺牲层(600)的表面使用粘接材料(50)来粘接支承基板(40)(S104)。设置凹部(31)，由此牺牲层(600)与支承基板(40)之间的密接强度降低，在牺牲层(600)的除去工序中，牺牲层(600)变得易于除去。