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公开(公告)号：CN102085658A
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：CN201010575636.0
申请日：2010-12-06
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J9/06 , B25J9/02 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67742 , B25J9/042 , B25J18/04
Abstract: 本发明提供不使用直动机构就能够进行工件的取放，并且能够高速动作，且低扬尘、有助于节省空间化的水平多关节机械手以及具备该水平多关节机械手的输送装置。该水平多关节机械手具备末端执行器(20)、第一臂(30)、第二臂(40)以及第三臂(50)，通过使第三臂(50)摆动旋转动作，例如在第三旋转轴(N3)到达存取位置(P1)的轴线(P1a)的延长线上后，使末端执行器(20)呈直线状地移动，从而进行工件的取放。
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公开(公告)号：CN119567232A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411241935.9
申请日：2024-09-05
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 机器人以及系统。机器人具备：第一基部；第一可动部，其具有能够以第一旋转轴为中心在垂直面内旋转的第一臂和能够以第二旋转轴为中心在垂直面内旋转的第二臂；第二可动部，其具有能够以第三旋转轴为中心在垂直面内旋转的第二基部、能够以第四旋转轴为中心旋转的第三臂和能够以第五旋转轴为中心旋转且保持晶片的手部；以及控制部，其以搬运由手部保持的晶片的方式控制第一可动部及第二可动部，搬运晶片时的第一可动部的轨迹在与垂直面垂直的方向上的宽度容纳于被搬运的晶片的轨迹在与垂直面垂直的方向上的宽度。
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公开(公告)号：CN104183521B
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201410131232.0
申请日：2014-04-02
Applicant: 株式会社安川电机
Inventor： 木村吉希
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/66
CPC classification number: H01L21/67766 , B25J9/042 , B25J9/1679 , B25J13/08 , G05B2219/40087 , G05B2219/45031 , H01L21/67265 , H01L21/68707 , Y10S901/02 , Y10S901/46
Abstract: 本发明提供一种基板搬运机器人、基板搬运系统和基板配置状态的检测方法，即使基板搬运机器人的臂较短，也能检测基板载置部上的基板的配置状态。在该基板搬运机器人（13）中，控制部（133）的结构为，在俯视时，在手部（131）相对于基板收装中心线（141）向基板搬运机器人的旋转中心（C1）侧倾斜的状态下，通过检测部（150）检测盒（30）内的基板（110）的配置状态。
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公开(公告)号：CN104176500B
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201410129367.3
申请日：2014-04-01
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B65G49/06 , B65G47/90 , B25J9/08 , H01L21/677
CPC classification number: B65G47/90 , B25J9/042 , B25J9/1679 , G05B2219/40087 , G05B2219/45031 , H01L21/67265 , H01L21/67766 , Y10S901/02
Abstract: 本发明提供一种在不使机器人大型化时也能接近位于更远位置的基板载置部的基板搬运机器人、基板搬运系统和基板搬运方法。该基板搬运机器人（13）包括手部（131）、使手部（131）移动的臂（132）和控制手部（131）的移动的控制部（133）。控制部（133）控制手部（131）的位置和朝向，使得在俯视时基板保持中心（138）位于盒（30）的附近且位于与盒（30）分隔规定的间隔的接近起始位置（141）上，在该状态下，手中心线（139）相对于接近直线（304）倾斜，且在手中心线（139）与接近直线（304）一致的状态下，基板保持中心（138）到达盒（30）内的基板载置位置（142）。
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公开(公告)号：CN103213124B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201210440173.6
申请日：2012-11-07
Applicant: 株式会社安川电机
Inventor： 木村吉希
IPC: B25J9/16 , H01L21/677
CPC classification number: B25J9/1612 , B25J19/02 , G05B2219/37002 , G05B2219/39476 , Y10S901/46
Abstract: 本发明涉及一种机器人系统，该机器人系统包括：机器人，该机器人包括手和臂，所述手构造成保持薄板状工件，所述臂构造成使所述手移动；以及机器人控制器，该机器人控制器构造成控制所述机器人。所述机器人控制器控制所述机器人以使其在预定的工件搬动位置处执行工件的搬运，使得在所述手已到达所述工件搬运位置之后使所述手在沿竖直方向移动的同时沿水平方向移动。
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公开(公告)号：CN103213133B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210495060.6
申请日：2012-11-28
Applicant: 株式会社安川电机
Inventor： 木村吉希
IPC: B25J13/08 , H01L21/677
CPC classification number: B25J13/02 , B25J9/1612 , Y10S414/136 , Y10S414/141 , Y10S901/02 , Y10S901/09 , Y10S901/14 , Y10S901/19 , Y10S901/31
Abstract: 本发明涉及一种机器人系统，该机器人系统包括：机器人，该机器人包括手和臂，所述手包括夹持薄板状工件的夹持机构，所述臂用于使所述手移动；以及机器人控制设备，该机器人控制设备控制所述机器人。当所述机器人控制设备通过控制所述机器人而使所述机器人在预定的工件搬运位置处搬运所述工件时，所述机器人控制设备在所述手到达所述工件搬运位置之后使所述手退回的同时，通过操作所述夹持机构来执行所述工件的存在与否确认。
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公开(公告)号：CN104723362A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201410690899.4
申请日：2014-11-25
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: B25J9/1679 , B25J9/1694 , G05B2219/37608 , G05B2219/39527 , H01L21/67259 , H01L21/67742 , Y10S901/02
Abstract: 本发明提供一种机器人系统及检测方法，可以高精度地检测出基板的载放状态。具体而言，如下构成机器人系统，使其具备：臂，将基板搬运至载放台；手，设置在臂的前端部，在搬运时保持基板；检测部，设置在手上并检测基板；及取得部，根据检测部在第1位置检测出的基板的高度和在第2位置检测出的基板的高度，取得载放台上的基板的载放状态。
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公开(公告)号：CN119567310A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411239970.7
申请日：2024-09-05
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 本发明提供机器人、系统、控制方法以及计算机程序产品。机器人配置于框体，该机器人具备：第一可动部；第二可动部，其具有保持晶片的手部；以及控制部，其以如下方式控制第一可动部和第二可动部：在由手部保持着的晶片容纳于动作区域内的状态下搬运晶片，并且，在手部与水平面平行的状态下使手部进入正面壁的开口部，其中，动作区域以不与开闭区域重叠的方式定义于正面壁与背面壁之间的空间，所述开闭区域是供设置于与正面壁的开口部对应的位置的盒开启器对盒进行开闭的区域。
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公开(公告)号：CN119567309A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411239968.X
申请日：2024-09-05
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 机器人、系统、控制方法以及计算机程序产品。机器人配置于框体，该框体具有：正面壁，其具有用于进入保存晶片的盒的多个开口部；及背面壁，其与正面壁对置且具有开口部，该机器人具备：第一可动部；第二可动部，其具有第三臂和手部；信息保存部，其保存协调动作关联信息；协调动作选择部，其基于由手部进入的进入对象的位置和保存于信息保存部的协调动作关联信息，选择是通过第三臂和手部的协调动作使手部进入进入对象、还是通过第三臂、手部及第一可动部的协调动作使手部进入进入对象；以及控制部，其以如下方式控制第一可动部和第二可动部：通过由协调动作选择部选择的机器人的协调动作，在手部与水平面平行的状态下使手部进入进入对象。
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公开(公告)号：CN119567282A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411239168.8
申请日：2024-09-05
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 本发明提供系统以及机器人。系统具备：框体，其具有正面壁和与正面壁对置的背面壁，所述正面壁包括用于进入保存晶片的盒的多个开口部；以及机器人，其配置于框体，机器人具有：第一基部；第一可动部；第二可动部，其具有保持晶片的手部；以及控制部，其以如下方式控制第一可动部和第二可动部：在手部与水平面平行的状态下使手部进入多个开口部中的各个开口部，多个开口部位于手部的最大可进入区域内，所述最大可进入区域基于机器人配置于框体的位置、使第一可动部最大地伸长的状态下的第一可动部的长度、以及使第二可动部最大地伸长的状态下的第二可动部的长度来确定。
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