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公开(公告)号：CN116448673A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310042152.7
申请日：2023-01-12
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供光学测定用池、光学分析装置、窗形成部件及光学测定用池的制造方法。在通过原子扩散接合制造满足气密性和/或耐热性等所要求的各种性能的光学测定用池的基础上，为了防止窗体构件的破裂，光学测定用池(2)具有供光透过的透光窗(W1、W2)，且在内部被导入试样，该光学测定用池(2)具备形成透光窗(W1、W2)的窗体构件(221)、以及隔着金属薄膜(M)接合有窗体构件(221)的法兰部件(222)，法兰部件(222)的热膨胀系数与窗体构件(221)的热膨胀系数的比率为0.5倍以上且1.5倍以下。
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公开(公告)号：CN109519706B
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN201811093056.0
申请日：2018-09-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供不降低维护性而能缩短配管、提高响应性的浓度控制装置。其向储存材料的储存罐导入载气，并对材料气体的浓度进行控制，材料气体作为与载气的混合气体而从储存罐被导出且由材料气化而成，具备：第一单元，控制向储存罐导入的载气的流量；第二单元，检测从储存罐导出的材料气体的浓度，第一单元具备：第一块部，在内部具有供载气流通的载气流路；第一流量传感器，检测在载气流路中流通的载气的流量；第一流量控制阀，基于第一流量传感器的检测值，控制在载气流路中流通的载气的流量，第二单元具备：第二块部，在内部具有供混合气体流通的混合气体流路，并与第一块部可拆装地连结；浓度检测器，检测在混合气体流路中流通的材料气体的浓度。
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公开(公告)号：CN109715851B
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN201780048644.X
申请日：2017-07-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448 , C23C16/52 , H01L21/205
Abstract: 在对载气的流量进行调节以对混合气体中的材料气体的流量进行控制的气体控制系统中，避免长时间置于所述控制极限状况下。气体控制系统向收容有材料的槽罐(10)内导入载气，并将该材料气化后的材料气体与所述载气一起从所述槽罐(10)导出，其包括：流量控制部(71)，利用对导入所述槽罐(10)的载气的流量进行调节，从而对从所述槽罐(10)导出的材料气体的流量进行控制；以及控制极限检测部(72)，检测控制极限状况，并输出该意旨，该控制极限状况是无法利用该流量控制部(71)对载气的流量调节，来确保所述材料气体的规定性能下的流量控制的状况。
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公开(公告)号：CN108570659A
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201810178323.8
申请日：2018-03-05
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448 , C23C16/52
Abstract: 本发明涉及气体控制系统、成膜装置、存储介质和气体控制方法，容易控制从容器导出的材料气体的总量。所述气体控制系统向收容有材料的容器(10)导入载气，并且将所述材料气化后的材料气体与所述载气一起从所述容器(10)导出，该气体控制系统具有控制部(60)，所述控制部(60)控制所述载气的流量，使浓度指标值接近预先确定的目标浓度指标值，该浓度指标值直接或间接表示测量从所述容器(10)导出的混合气体而得到的所述混合气体中的材料气体浓度，所述控制部(60)在进行控制所述载气的流量以规定变化率变化的第一控制后进行第二控制，该第二控制基于所述浓度指标值和所述目标浓度指标值的偏差来控制所述载气的流量。
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公开(公告)号：CN105651729A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201510857091.5
申请日：2015-11-30
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 南雅和
Abstract: 本发明提供分解检测装置、浓度测量装置和浓度控制装置，所述分解检测装置结构简单，并能检测在半导体材料气化后的材料气体中是否发生了分解。该分解检测装置包括：NDIR方式或激光吸收光谱方式的吸光度测量机构(1)，其对包含半导体材料气化后的材料气体的混合气体测量第一吸光度和第二吸光度，该第一吸光度是所述半导体材料吸收的波长的吸光度，该第二吸光度是所述半导体材料分解时产生的物质吸收的波长的吸光度；以及分解检测部(4)，其基于第一浓度和第二浓度之比来检测所述材料气体的分解，该第一浓度是基于所述第一吸光度和所述第二吸光度来计算，该第二浓度是基于所述第二吸光度来计算。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111560600B
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202010080528.X
申请日：2020-02-05
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/455 , C23C16/52 , C23C14/22 , C23C14/54
Abstract: 提供气化装置、成膜装置、程序记录介质及浓度控制方法。气化装置具备气化罐、载气供给路径、材料气体导出路径、浓度监测器和浓度控制机构，上述浓度控制机构具备：浓度计算部，基于来自上述浓度监测器的输出信号计算上述材料气体的实际浓度；浓度控制部，在供给上述材料气体的供给期间，进行以使构成上述浓度控制机构的流体控制设备的控制值成为预先设定的初始设定值的方式进行控制的第一控制后，进行以通过控制该流体控制设备而使上述实际浓度接近预先设定的目标值的方式进行反馈控制的第二控制；以及控制切换部，基于上述浓度控制部开始上述第一控制后的上述实际浓度的经时变化，将上述浓度控制部的控制状态从上述第一控制切换到上述第二控制。
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公开(公告)号：CN115128000A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210271897.6
申请日：2022-03-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 株式会社堀场STEC
IPC: G01N21/01 , G01N21/3518
Abstract: 本发明提供一种即使是由吸收光谱重叠的DCR气体与CO气体构成的混合气体，也能够仅分离DCR气体的吸光度而计算出其浓度的DCR气体用吸光分析装置，DCR气体用吸光分析装置具备：DCR用滤光器(31)，其使包含DCR气体的吸收峰的第一波数范围的光透过；CO用滤光器(32)，其使处于CO气体的吸收波数范围且与所述第一波数范围不同的第二波数范围的光透过；以及DCR气体量计算器(4)，其基于利用透过了所述DCR用滤光器(31)的光而测定的第一吸光度(A1)、以及利用透过了所述CO用滤光器(32)的光而测定的第二吸光度(AC2)，计算出所述DCR气体的量。
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公开(公告)号：CN109690292A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201780056159.7
申请日：2017-09-14
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 得到一种吸光光度计，该吸光光度计在检测高温的样品气体的情况下，即使不延长从光源部至光接收部为止的距离，也能够保护光源部和/或光接收部免受样品气体的热的侵害，能够保持高检测精度。其具备：具有容纳样品气体的容纳空间(11)的样品容纳部(10)、将光照射到容纳空间(11)内的光源部(20)、接收从容纳空间(11)内射出的光的光接收部(30)、与样品容纳部(10)的光源部(20)侧邻接而设置的第一隔热部(40a)和与样品容纳部(10)的光接收部(30)侧邻接而设置的第二隔热部(40b)、以及与第一隔热部(40a)邻接而设置的第一冷却部(50a)和与第二隔热部(40b)邻接而设置的第二冷却部(50b)。
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公开(公告)号：CN102541103B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201110435861.9
申请日：2011-12-22
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 南雅和
IPC: G05D11/13
Abstract: 本发明提供一种材料气体控制系统，即使在调整阀全开或全关时的材料气体的浓度值或流量值与设定值大致一致的情况下，也可诊断出浓度或流量的控制状态是否异常。材料气体控制系统包括：收容室；导入管，导入运载气体；导出管，导出包含材料气体及运载气体的混合气体；第一调整阀；测定计，测定材料气体的浓度或流量；第一阀控制部，以使测定计所测定出的测定浓度值或测定流量值达到预定的设定值的方式，将开放程度控制信号输出至第一调整阀；压力计，测定收容室内的压力；以及诊断部，当开放程度控制信号的值的时间变化量及压力计所测定出的测定压力值的时间变化量满足规定条件时，诊断出所述材料气体的浓度或流量的控制状态异常。
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公开(公告)号：CN116465848A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310071740.3
申请日：2023-01-17
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N21/3504 , G01N21/01 , G01L9/12
Abstract: 本发明提供一种气体分析装置，其具备：气室，其被导入气体；温度调节块，其对气室进行温度调节；以及压力传感器，其测定气室内部的压力，压力传感器内置于温度调节块和/或气室。
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