公开(公告)号：CN108570659A

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201810178323.8

申请日：2018-03-05

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 坂口有平 ,  志水徹 ,  南雅和 ,  林大介

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明涉及气体控制系统、成膜装置、存储介质和气体控制方法，容易控制从容器导出的材料气体的总量。所述气体控制系统向收容有材料的容器(10)导入载气，并且将所述材料气化后的材料气体与所述载气一起从所述容器(10)导出，该气体控制系统具有控制部(60)，所述控制部(60)控制所述载气的流量，使浓度指标值接近预先确定的目标浓度指标值，该浓度指标值直接或间接表示测量从所述容器(10)导出的混合气体而得到的所述混合气体中的材料气体浓度，所述控制部(60)在进行控制所述载气的流量以规定变化率变化的第一控制后进行第二控制，该第二控制基于所述浓度指标值和所述目标浓度指标值的偏差来控制所述载气的流量。

公开(公告)号：CN114324175A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202110974670.3

申请日：2021-08-24

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 志水徹 ,  赤松武

IPC: G01N21/03 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/3577

Abstract: 本发明提供光学测定用池和光学分析装置。本发明用于在光学测定用池中减小对窗构件的接合部分施加的热应力，光学测定用池(2)具有透射光的透光窗(W1、W2)，并且在内部导入试样，其包括：平板状的窗构件(221)，形成透光窗(W1、W2)；接合支承部(222a)，与窗构件(221)的主面的外缘部接合，支承窗构件；以及低热膨胀部件(223)，设置在接合支承部(222a)的外侧周面，具有比接合支承部(222a)的热膨胀率低的热膨胀率。

公开(公告)号：CN108570659B

公开(公告)日：2021-11-16

申请号：CN201810178323.8

申请日：2018-03-05

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 坂口有平 ,  志水徹 ,  南雅和 ,  林大介

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明涉及气体控制系统、成膜装置、存储介质和气体控制方法，容易控制从容器导出的材料气体的总量。所述气体控制系统向收容有材料的容器(10)导入载气，并且将所述材料气化后的材料气体与所述载气一起从所述容器(10)导出，该气体控制系统具有控制部(60)，所述控制部(60)控制所述载气的流量，使浓度指标值接近预先确定的目标浓度指标值，该浓度指标值直接或间接表示测量从所述容器(10)导出的混合气体而得到的所述混合气体中的材料气体浓度，所述控制部(60)在进行控制所述载气的流量以规定变化率变化的第一控制后进行第二控制，该第二控制基于所述浓度指标值和所述目标浓度指标值的偏差来控制所述载气的流量。