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公开(公告)号：CN115128000A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210271897.6
申请日：2022-03-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 株式会社堀场STEC
IPC: G01N21/01 , G01N21/3518
Abstract: 本发明提供一种即使是由吸收光谱重叠的DCR气体与CO气体构成的混合气体，也能够仅分离DCR气体的吸光度而计算出其浓度的DCR气体用吸光分析装置，DCR气体用吸光分析装置具备：DCR用滤光器(31)，其使包含DCR气体的吸收峰的第一波数范围的光透过；CO用滤光器(32)，其使处于CO气体的吸收波数范围且与所述第一波数范围不同的第二波数范围的光透过；以及DCR气体量计算器(4)，其基于利用透过了所述DCR用滤光器(31)的光而测定的第一吸光度(A1)、以及利用透过了所述CO用滤光器(32)的光而测定的第二吸光度(AC2)，计算出所述DCR气体的量。
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公开(公告)号：CN116448673A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310042152.7
申请日：2023-01-12
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供光学测定用池、光学分析装置、窗形成部件及光学测定用池的制造方法。在通过原子扩散接合制造满足气密性和/或耐热性等所要求的各种性能的光学测定用池的基础上，为了防止窗体构件的破裂，光学测定用池(2)具有供光透过的透光窗(W1、W2)，且在内部被导入试样，该光学测定用池(2)具备形成透光窗(W1、W2)的窗体构件(221)、以及隔着金属薄膜(M)接合有窗体构件(221)的法兰部件(222)，法兰部件(222)的热膨胀系数与窗体构件(221)的热膨胀系数的比率为0.5倍以上且1.5倍以下。
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公开(公告)号：CN114100387A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110953636.8
申请日：2021-08-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 志水彻
Abstract: 本发明提供一种提高原料气化系统的浓度控制的响应性且用于原料气化系统(100)的浓度控制模块(6)，其具备：浓度检测部(61)，其检测原料气体的浓度；阀(62)，其设置在将原料气体从罐(2)导出的导出管(4)；压力目标值计算部(63a)，其使用原料气体的浓度目标值和浓度检测部的浓度检测值来计算罐(2)内的压力目标值；延迟滤波器(63b)，其对通过压力目标值计算部(63a)得到的压力目标值提供预定的时间延迟而生成压力控制值；以及第一阀控制部(63c)，其使用通过延迟滤波器(63b)得到的压力控制值与罐(2)内的压力之间的偏差来对阀(62)进行反馈控制。
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公开(公告)号：CN109519706B
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN201811093056.0
申请日：2018-09-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供不降低维护性而能缩短配管、提高响应性的浓度控制装置。其向储存材料的储存罐导入载气，并对材料气体的浓度进行控制，材料气体作为与载气的混合气体而从储存罐被导出且由材料气化而成，具备：第一单元，控制向储存罐导入的载气的流量；第二单元，检测从储存罐导出的材料气体的浓度，第一单元具备：第一块部，在内部具有供载气流通的载气流路；第一流量传感器，检测在载气流路中流通的载气的流量；第一流量控制阀，基于第一流量传感器的检测值，控制在载气流路中流通的载气的流量，第二单元具备：第二块部，在内部具有供混合气体流通的混合气体流路，并与第一块部可拆装地连结；浓度检测器，检测在混合气体流路中流通的材料气体的浓度。
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公开(公告)号：CN111560600B
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202010080528.X
申请日：2020-02-05
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/455 , C23C16/52 , C23C14/22 , C23C14/54
Abstract: 提供气化装置、成膜装置、程序记录介质及浓度控制方法。气化装置具备气化罐、载气供给路径、材料气体导出路径、浓度监测器和浓度控制机构，上述浓度控制机构具备：浓度计算部，基于来自上述浓度监测器的输出信号计算上述材料气体的实际浓度；浓度控制部，在供给上述材料气体的供给期间，进行以使构成上述浓度控制机构的流体控制设备的控制值成为预先设定的初始设定值的方式进行控制的第一控制后，进行以通过控制该流体控制设备而使上述实际浓度接近预先设定的目标值的方式进行反馈控制的第二控制；以及控制切换部，基于上述浓度控制部开始上述第一控制后的上述实际浓度的经时变化，将上述浓度控制部的控制状态从上述第一控制切换到上述第二控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111690909A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN202010150050.3
申请日：2020-03-06
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448 , C23C16/52
Abstract: 用于提供在不增设新的传感器等的情况下，准确地推定汽化罐内的原料的消耗量，且能够进行与原料的剩余量对应的高精度的浓度控制的浓度控制装置，其在汽化器中对原料气体的浓度进行控制，汽化器至少具备：容纳液体或固体的原料的汽化罐、向汽化罐供给载气的载气供给通路、以及供由原料汽化而从汽化罐导出的原料气体流通的原料气体导出通路，浓度控制装置具备：浓度监测器，其设置于原料气体导出通路，输出与原料气体的浓度对应的输出信号；浓度计算部，其基于来自浓度监测器的输出信号，来计算原料气体的浓度；以及原料消耗量计算器，其基于计算浓度和载气的流量，来计算作为原料气体而导出到原料气体导出通路的原料的消耗量。
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公开(公告)号：CN109519706A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811093056.0
申请日：2018-09-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供不降低维护性而能缩短配管、提高响应性的浓度控制装置。其向储存材料的储存罐导入载气，并对材料气体的浓度进行控制，材料气体作为与载气的混合气体而从储存罐被导出且由材料气化而成，具备：第一单元，控制向储存罐导入的载气的流量；第二单元，检测从储存罐导出的材料气体的浓度，第一单元具备：第一块部，在内部具有供载气流通的载气流路；第一流量传感器，检测在载气流路中流通的载气的流量；第一流量控制阀，基于第一流量传感器的检测值，控制在载气流路中流通的载气的流量，第二单元具备：第二块部，在内部具有供混合气体流通的混合气体流路，并与第一块部可拆装地连结；浓度检测器，检测在混合气体流路中流通的材料气体的浓度。
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公开(公告)号：CN111855596B
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202010206450.1
申请日：2020-03-23
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N21/31
Abstract: 提供吸光分析装置及记录吸光分析装置用程序的程序记录介质。吸光分析装置具备检测器；总压传感器；吸光度计算部，基于检测器的输出值和预先设定的零基准值计算吸光度；分压‑吸光度关系存储部，存储表示调零时存在于检测器测定区域的干涉气体的分压与吸光度计算部算出的吸光度之间关系的分压‑吸光度关系数据；分压计算部，在已知浓度的干涉气体存在于测定区域的已知浓度状态下，基于由总压传感器测定的总压和浓度计算作为干涉气体的分压的干涉气体分压；吸光度推断部，基于干涉气体分压和分压‑吸光度关系数据推断作为干涉气体的吸光度的干涉气体吸光度；校正部，基于干涉气体吸光度和在已知浓度状态下的检测器的输出值进行更新零基准值的调零。
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公开(公告)号：CN109979852B
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN201811503488.4
申请日：2018-12-10
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 志水彻
Abstract: 提供浓度控制装置、气体控制系统、成膜装置、浓度控制方法及浓度控制装置用程序记录介质。在间歇性从汽化罐导出材料气体的浓度控制装置中，为了控制载气、稀释气体的流量以抑制材料气体的供给期间开始不久的材料气体浓度过冲，具备：设定流量计算部(33)，基于在供给材料气体的第一供给期间内的第一预定时刻由浓度计算部(32)算出的实际浓度、在该第一供给期间内的第一预定时刻从流量控制设备(40)输出的实际流量或该第一供给期间内的第一预定时刻的流量控制设备(40)的设定流量和预先设定的目标浓度，计算在第一供给期间后的第二供给期间内的作为从开始到第二预定时刻为止的期间的初始区间内的流量控制设备(40)的初始设定流量。
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公开(公告)号：CN111912798A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010371573.0
申请日：2020-05-06
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 提供一种吸光分析系统，具备：检测器，对透过了气体的光的强度进行检测；总压传感器，测量气体的总压；干扰气体分压-吸光度关系存储部，存储干扰气体分压-吸光度关系数据；干扰气体分压推定部，基于由总压传感器测量出的总压来推定干扰气体的分压；干扰气体吸光度转换部，基于干扰气体分压-吸光度关系数据，将由干扰气体分压推定部推定出的干扰气体推定分压转换为干扰气体的吸光度；测量对象气体吸光度计算部，基于检测器的输出值和由干扰气体吸光度转换部转换而得的干扰气体吸光度，来计算测量对象气体的吸光度。
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