半导体装置及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN111033702B

    公开(公告)日:2023-12-05

    申请号:CN201880054552.7

    申请日:2018-08-24

    Abstract: 成到达第二绝缘体的开口,第五绝缘体通过开口提供一种可靠性良好的半导体装置。该半导 与第二绝缘体接触,第一绝缘体、第四绝缘体及体装置包括第一绝缘体、配置在第一绝缘体上的 第六绝缘体的氧透过性比第二绝缘体低。第二绝缘体、配置在第二绝缘体上的氧化物、在氧化物上彼此分开地配置的第一导电体及第二导电体、配置在氧化物、第一导电体及第二导电体上的第三绝缘体、配置在第三绝缘体上且以其至少一部分与第一导电体和第二导电体之间的区域重叠的方式配置的第三导电体、以覆盖氧化物、第一导电体、第二导电体、第三绝缘体及第三导电体的方式配置的第四绝缘体、配置在第四绝(56)对比文件CN 106409919 A,2017.02.15CN 107004722 A,2017.08.01JP 2016157937 A,2016.09.01JP 2017098535 A,2017.06.01JP 2017120905 A,2017.07.06US 2008002454 A1,2008.01.03US 2013200375 A1,2013.08.08US 2014339539 A1,2014.11.20US 2015053972 A1,2015.02.26US 2015179803 A1,2015.06.25US 2015280013 A1,2015.10.01US 2015349127 A1,2015.12.03US 2016284859 A1,2016.09.29US 2017170211 A1,2017.06.15WO 2017072627 A1,2017.05.04

    半导体装置及其制造方法
    12.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107210227B

    公开(公告)日:2021-03-16

    申请号:CN201680008409.5

    申请日:2016-01-28

    Inventor: 浅见良信

    Abstract: 提供一种降低了寄生电容的半导体装置。一种半导体装置包括:第一绝缘层;第一绝缘层上的第一氧化物半导体层;第一氧化物半导体层上的第二氧化物半导体层;第二氧化物半导体层上的源电极层及漏电极层;第一绝缘层、源电极层及漏电极层上的第二绝缘层;第二绝缘层上的第三绝缘层;第二氧化物半导体层上的第三氧化物半导体层;第三氧化物半导体层上的栅极绝缘层;以及栅极绝缘层上的栅电极层。第二绝缘层为氧阻挡层并具有与第一氧化物半导体层、第二氧化物半导体层、源电极层及漏电极层的侧面接触的区域。第三氧化物半导体层具有与第二氧化物半导体层、源电极层、漏电极层、第二绝缘层及第三绝缘层的侧面接触的区域。

    非易失性半导体存储装置
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102017129B

    公开(公告)日:2013-10-23

    申请号:CN200980117627.2

    申请日:2009-04-24

    Inventor: 浅见良信

    Abstract: 目的是在没有增加存储单元的面积的情况下减小存储晶体管的写入和擦除电压,以及目的是在没有增加写入和擦除电压的情况下减小存储单元的面积。存储单元包括具有第一岛状半导体区、浮栅和控制栅的存储晶体管。另外,第二岛状半导体区隔着绝缘膜在浮栅之下形成。由于第二岛状半导体区电连接到控制栅,所以电容在第二岛状半导体区与浮栅之间形成。这个电容促进存储晶体管的耦合比的增加,这使得能够在没有增加存储单元的面积的情况下增加耦合比。此外,可在没有减小耦合比的情况下减小存储单元的面积。

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