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公开(公告)号：CN101369634A
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：CN200810168723.7
申请日：2003-01-24
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: H01L27/3248 , H01L27/3211 , H01L27/3216 , H01L27/322 , H01L27/3246 , H01L27/3272 , H01L27/3276 , H01L27/3279 , H01L51/5212 , H01L51/5228 , H01L51/5253 , H01L2251/5315 , Y10S257/929
Abstract: 本发明涉及发光器件及其制造方法。提供一种具有高清晰度、大屏幕的象素部分的高可靠性的发光器件。根据本发明的发光器件，在提供在象素电极之间的绝缘体(24)上形成由金属膜制成的辅助电极(21)，因而可以制造低电阻和很薄的导电层(20)，该导电层与辅助电极接触由透明导电膜制成。此外，利用辅助电极(21)以获得与下层上的电极的连接，因而可以用在EL层上形成的透明导电膜将该电极引出。此外，形成由叠置形成的含有氢的薄膜和氮化硅膜的保护膜(32)，由此获得高可靠性。
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公开(公告)号：CN100416840C
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200380102145.2
申请日：2003-10-23
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L27/12 , H01L21/336 , H01L29/786
CPC classification number: H01L27/3276 , H01L27/12 , H01L27/1214 , H01L27/124 , H01L27/1266 , H01L27/14634 , H01L27/14643 , H01L27/14683 , H01L27/3272 , H01L29/66757 , H01L29/78603 , H01L31/105 , H01L51/0024 , H01L51/003 , H01L51/5212 , H01L51/5253 , H01L2221/68368
Abstract: 本发明的课题是提供在各种各样的基体材料粘贴被剥离层的轻量的半导体装置及其制作方法。本发明在衬底上形成被剥离层，在该被剥离层上用粘接材料粘贴设有刻蚀阻止膜的密封衬底，然后，仅刻蚀或研磨去除密封衬底。残留的刻蚀阻止膜直接作为阻挡膜。另外，粘接材料也可采用粘接磁片。
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公开(公告)号：CN1689375A
公开(公告)日：2005-10-26
申请号：CN03824048.3
申请日：2003-09-12
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: G09G3/006 , G09G3/3208 , G09G2330/02 , G09G2330/028 , H01L27/3244 , H01L51/524 , H01L51/5246 , H01L51/5253 , H01L51/56 , H01L2251/566 , H05B33/10
Abstract: 本发明为了提供了一种使以1块基板制造的显示面板的数目(切槽数)增加并且以较高的成品率大量生产显示面板的发光显示装置的制造方法，具有以下特征：并不是将形成有多个发光区的基板切开并分别粘贴FPC后进行出货，而是在切开之前即以未完成的状态(也可称为半成品)进行出货。其中，成为能够在出货之前进行部分检查的结构。
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公开(公告)号：CN1480984A
公开(公告)日：2004-03-10
申请号：CN03152528.8
申请日：2003-08-01
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L21/00 , H01L21/203 , H05B33/10 , C23C14/24
CPC classification number: H01L21/67253 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/568 , H01L21/67161 , H01L21/67167 , H01L21/67184 , H01L21/67236 , H01L21/67745 , H01L51/0004 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种蒸发设备和蒸发方法，该蒸发设备是一种膜形成装置，并提供EL层膜厚的优异均匀性、优异生产率和EL材料的提高的利用效率。本发明的特征在于在蒸发期间其中设置封闭蒸发材料的容器的蒸发源固定器可以一定间距相对于衬底移动。此外，膜厚监视器与蒸发源固定器结合在一起，用于移动。此外，通过根据由膜厚监视器检测的值调整蒸发源固定器的移动速度，可以使膜厚均匀。
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公开(公告)号：CN1449229A
公开(公告)日：2003-10-15
申请号：CN03108546.6
申请日：2003-03-26
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
Abstract: 本发明中，含有机化合物的层通过涂敷形成于连接到薄膜晶体管的下电极的整个表面上。在下电极上形成上电极之后，含有机化合物的层用上电极作为掩模通过等离子体刻蚀以自对准方式被刻蚀，以便于允许含有机化合物的层的选择形成。另外，为与上电极的连接，电连接通过用含导电颗粒或浆的粘结剂实现。另外，发白光的材料或发单色光的材料被用作含有机化合物的层。通过将含有机化合物的层与颜色转换层或色彩层组合实现全色显示。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1441080A
公开(公告)日：2003-09-10
申请号：CN03106346.2
申请日：2003-02-25
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/505
Abstract: 提供了一种对EL材料具有很高的利用率并且薄膜的均匀度良好的蒸发装置。本发明是一种具有可移动蒸发源和衬底旋转单元的蒸发装置，其中蒸发源支持器与工件(衬底)的距离减小到30cm或更小，20cm更好，5到15cm最好，以便提高对EL材料的利用率。在蒸发过程中，为了进行沉积，使蒸发源支持器沿着X方向和Y方向移动并且使工件(衬底)旋转。因此，提高了薄膜的均匀度。
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公开(公告)号：CN1428817A
公开(公告)日：2003-07-09
申请号：CN02154229.5
申请日：2002-12-12
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: C23C14/5806 , B05D1/60 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/56 , C23C14/564 , C23C14/568 , C23C16/45514 , H01L51/001 , H01L51/5008 , H01L51/56 , Y10S438/905
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够形成高密度和高纯度EL层的膜形成装置和清洁方法。本发明为通过加热衬底的加热装置加热衬底10、借助连接到膜形成室的减压装置(如涡轮分子泵、干泵、低温抽气泵等的真空泵)将膜形成室的压力减小到5×10－3乇(0.665Pa)或以下，优选减小到1×10－3乇(0.133Pa)或以下并通过从淀积源淀积有机化合物材料进行膜形成，形成高密度EL层。在膜形成室中，通过等离子体进行淀积掩膜的清洁。
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公开(公告)号：CN101673756B
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN200910150562.3
申请日：2003-03-26
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: H01L27/3276 , H01L27/322 , H01L27/3246 , H01L51/5243 , H01L51/5246 , H01L51/525 , H01L51/5253 , H01L51/56
Abstract: 本发明公开了一种发光装置和制造这种发光装置的方法，含有机化合物的层通过涂敷形成于连接到薄膜晶体管的下电极的整个表面上。在下电极上形成上电极之后，含有机化合物的层用上电极作为掩模通过等离子体刻蚀以自对准方式被刻蚀，以便于允许含有机化合物的层的选择形成。另外，为与上电极的连接，电连接通过用含导电颗粒或浆的粘结剂实现。另外，发白光的材料或发单色光的材料被用作含有机化合物的层。通过将含有机化合物的层与颜色转换层或色彩层组合实现全色显示。
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公开(公告)号：CN101369634B
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN200810168723.7
申请日：2003-01-24
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: H01L27/3248 , H01L27/3211 , H01L27/3216 , H01L27/322 , H01L27/3246 , H01L27/3272 , H01L27/3276 , H01L27/3279 , H01L51/5212 , H01L51/5228 , H01L51/5253 , H01L2251/5315 , Y10S257/929
Abstract: 本发明涉及发光器件及其制造方法。提供一种具有高清晰度、大屏幕的象素部分的高可靠性的发光器件。根据本发明的发光器件，在提供在象素电极之间的绝缘体(24)上形成由金属膜制成的辅助电极(21)，因而可以制造低电阻和很薄的导电层(20)，该导电层与辅助电极接触由透明导电膜制成。此外，利用辅助电极(21)以获得与下层上的电极的连接，因而可以用在EL层上形成的透明导电膜将该电极引出。此外，形成由叠置形成的含有氢的薄膜和氮化硅膜的保护膜(32)，由此获得高可靠性。
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公开(公告)号：CN100565784C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN03152528.8
申请日：2003-08-01
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L21/00 , H01L21/203 , H05B33/10 , C23C14/24
CPC classification number: H01L21/67253 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/568 , H01L21/67161 , H01L21/67167 , H01L21/67184 , H01L21/67236 , H01L21/67745 , H01L51/0004 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种蒸发设备和蒸发方法，该蒸发设备是一种膜形成装置，并提供EL层膜厚的优异均匀性、优异生产率和EL材料的提高的利用效率。本发明的特征在于在蒸发期间其中设置封闭蒸发材料的容器的蒸发源固定器可以一定间距相对于衬底移动。此外，膜厚监视器与蒸发源固定器结合在一起，用于移动。此外，通过根据由膜厚监视器检测的值调整蒸发源固定器的移动速度，可以使膜厚均匀。
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