增加光谱仪视野
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114341604A

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202080061883.0

    申请日:2020-07-16

    Abstract: 各方面涉及用于增加光谱仪的视场的机构。光学设备可以被配置为同时将来自样品上的不同位置(斑点)的光耦合到光谱仪,以有效地增加光谱仪的视场。光学设备可以包括合束器和至少一个反射器,该至少一个反射器用以将光束从样品上的相应斑点反射到合束器。合束器可以合并从不同斑点接收的光束,以产生可以输入到光谱仪的合并光束。

    集成光谱单元
    18.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109983313B

    公开(公告)日:2021-12-31

    申请号:CN201780037361.5

    申请日:2017-06-15

    Abstract: 本公开的方面涉及集成光谱单元,其包括在第一基板内制造的微机电系统(MEMS)干涉仪以及在第二基板上集成的光重定向结构,其中第二基板被耦合到第一基板。光重定向结构包括至少一个镜,该至少一个镜用于接收在相对于第一基板的面外方向上传播的输入光束以及将输入光束重定向到朝向MEMS干涉仪的相对于第一基板的面内方向。

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