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公开(公告)号:CN105103030A
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201480013316.2
申请日:2014-01-28
Applicant: 斯维尔系统
CPC classification number: G01J3/06 , G01B9/02071 , G01J3/4535 , G01N2021/3595 , G02B26/06 , G02B26/0841
Abstract: 一种微机电系统(MEMS)干涉仪提供了可移动反射镜的反射镜定位的自校准。可移动反射镜被耦合至具有可变电容的MEMS致动器。MEMS干涉仪包括用于确定在可移动反射镜的两个或更多个已知位置处的MEMS致动器的电容的电容感测电路和用于使用在已知位置处的致动器电容来补偿电容感测电路中的任何漂移的校准模块。
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公开(公告)号:CN118974542A
公开(公告)日:2024-11-15
申请号:CN202380029668.6
申请日:2023-03-23
Applicant: 斯维尔系统
IPC: G01N21/31 , G01N21/27 , G01J3/28 , G01B9/02055 , G01J3/45 , G01N21/35 , G01N21/3504 , G01N21/3563 , G01N21/3577 , G01N21/359
Abstract: 各方面涉及用于为针对超大规模部署的谱设备构建化学计量学(校准)模型的谱建模系统(700)。谱建模系统(700)包括谱转换器(714),用于使用由多个谱设备的子集(704)测量的多个样品的谱数据(706)和表示多个谱设备(702)中的谱变化的谱设备特性(712)来生成多个人工谱(716)。谱建模系统(700)还包括化学计量学引擎(718),用于基于谱数据(706)和多个人工谱(716)为与多个样品相关联的一个或多个参数生成化学计量学模型(720)。
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公开(公告)号:CN114341604A
公开(公告)日:2022-04-12
申请号:CN202080061883.0
申请日:2020-07-16
Applicant: 斯维尔系统
Abstract: 各方面涉及用于增加光谱仪的视场的机构。光学设备可以被配置为同时将来自样品上的不同位置(斑点)的光耦合到光谱仪,以有效地增加光谱仪的视场。光学设备可以包括合束器和至少一个反射器,该至少一个反射器用以将光束从样品上的相应斑点反射到合束器。合束器可以合并从不同斑点接收的光束,以产生可以输入到光谱仪的合并光束。
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公开(公告)号:CN108474690A
公开(公告)日:2018-08-31
申请号:CN201680074302.0
申请日:2016-04-18
Applicant: 斯维尔系统
Abstract: 微机电系统(MEMS)装置提供干涉仪的可移动反射镜的反射镜定位的自校准。MEMS装置中的至少一个反射镜包括非平面表面。可移动反射镜被耦合到具有可变电容的MEMS致动器。MEMS装置包括电容感测电路,用于确定在可移动反射镜的多个参考位置处的所述MEMS致动器的电容,所述多个参考位置对应于由干涉仪基于所述非平坦表面产生的干涉图的中心突发和一个或多个次级突发。校准模块使用在参考位置处的致动器电容来补偿电容感测电路中的任何漂移。
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公开(公告)号:CN117616267A
公开(公告)日:2024-02-27
申请号:CN202280048817.9
申请日:2022-06-01
Applicant: 斯维尔系统
Abstract: 提供大斑点尺寸光谱仪的便携式光学设备(100)。该光学设备包括光学头(102)、光学窗口(106)和光谱仪(104)。光学头(102)包括具有孔径(115)的塑料模制部分(105)和在其中形成的围绕孔径(115)的多个反射器(112)。每个反射器(130)可以包括组装在其中的相应灯(110)。光学窗口(106)被配置为接纳样品(108),将来自灯(130)的输入光(128)传递到样品(108),并将来自样品(108)的散射光传递到孔径(115)。孔径(115)被配置为过滤散射光的包含不可用样品信息的第一部分,并将散射光的第二部分传递到光谱仪(104)。
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公开(公告)号:CN117501099A
公开(公告)日:2024-02-02
申请号:CN202280025616.7
申请日:2022-02-02
Applicant: 斯维尔系统
Inventor: Y·M·萨布里 , B·A·莫尔塔达 , K·哈桑 , A·A·M·M·E·萨勒姆 , D·卡里尔 , M·H·埃尔·哈龙 , M·A·埃尔谢赫 , A·什布尔 , B·萨达尼 , M·梅德哈特 , B·G·I·谢努达
IPC: G01N21/25
Abstract: 各方面涉及一种紧凑型材料分析仪,该紧凑型材料分析仪包括光源、检测器和模块,该模块包括在该模块的第一面上的第一光学窗口、在该模块的与第一面相对的第二面上的第二光学窗口、以及光调制器。光源产生高功率的输入光,该输入光穿过第一光学窗口被传递到光调制器。光调制器被配置为衰减输入光、基于输入光产生调制光、并且引导调制光穿过第二光学窗口到样品。由光调制器产生的调制光对于样品来说是以较低功率安全的。检测器被配置为穿过第二光学窗口的来自样品的由与调制光的相互作用而产生的输出光,并且检测输出光的光谱。
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公开(公告)号:CN109983313B
公开(公告)日:2021-12-31
申请号:CN201780037361.5
申请日:2017-06-15
Applicant: 斯维尔系统
Abstract: 本公开的方面涉及集成光谱单元,其包括在第一基板内制造的微机电系统(MEMS)干涉仪以及在第二基板上集成的光重定向结构,其中第二基板被耦合到第一基板。光重定向结构包括至少一个镜,该至少一个镜用于接收在相对于第一基板的面外方向上传播的输入光束以及将输入光束重定向到朝向MEMS干涉仪的相对于第一基板的面内方向。
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公开(公告)号:CN110140038B
公开(公告)日:2021-06-15
申请号:CN201780081876.5
申请日:2017-11-21
Applicant: 斯维尔系统
IPC: G01M11/00 , G01R31/311 , G02B5/04
Abstract: 本公开的各方面涉及一种用于执行具有面内光轴的光学微机电系统(MEMS)结构的晶片测试的集成光学探针卡和系统。可以利用一个或多个微光学平台组件来执行光学MEMS结构的晶片上光学屏蔽,以在垂直于面内光轴的面外方向与平行于面内光轴的面内方向之间重定向光以便能够通过光的竖直注入来测试光学MEMS结构。
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公开(公告)号:CN108474690B
公开(公告)日:2020-10-13
申请号:CN201680074302.0
申请日:2016-04-18
Applicant: 斯维尔系统
Abstract: 微机电系统(MEMS)装置提供干涉仪的可移动反射镜的反射镜定位的自校准。MEMS装置中的至少一个反射镜包括非平面表面。可移动反射镜被耦合到具有可变电容的MEMS致动器。MEMS装置包括电容感测电路,用于确定在可移动反射镜的多个参考位置处的所述MEMS致动器的电容,所述多个参考位置对应于由干涉仪基于所述非平坦表面产生的干涉图的中心突发和一个或多个次级突发。校准模块使用在参考位置处的致动器电容来补偿电容感测电路中的任何漂移。
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