公开(公告)号：CN109983313A

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201780037361.5

申请日：2017-06-15

Applicant: 斯维尔系统

Inventor： Y·M·萨布里 ,  D·A·M·卡利尔 ,  M·梅德哈特 ,  H·哈德达拉 ,  B·萨达尼 ,  K·哈桑

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/26

Abstract: 本公开的方面涉及集成光谱单元，其包括在第一基板内制造的微机电系统(MEMS)干涉仪以及在第二基板上集成的光重定向结构，其中第二基板被耦合到第一基板。光重定向结构包括至少一个镜，该至少一个镜用于接收在相对于第一基板的面外方向上传播的输入光束以及将输入光束重定向到朝向MEMS干涉仪的相对于第一基板的面内方向。

公开(公告)号：CN109983313B

公开(公告)日：2021-12-31

申请号：CN201780037361.5

申请日：2017-06-15

Applicant: 斯维尔系统

Inventor： Y·M·萨布里 ,  D·A·M·卡利尔 ,  M·梅德哈特 ,  H·哈德达拉 ,  B·萨达尼 ,  K·哈桑

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/26

Abstract: 本公开的方面涉及集成光谱单元，其包括在第一基板内制造的微机电系统(MEMS)干涉仪以及在第二基板上集成的光重定向结构，其中第二基板被耦合到第一基板。光重定向结构包括至少一个镜，该至少一个镜用于接收在相对于第一基板的面外方向上传播的输入光束以及将输入光束重定向到朝向MEMS干涉仪的相对于第一基板的面内方向。

公开(公告)号：CN105051484B

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201380074282.3

申请日：2013-02-05

Applicant: 斯维尔系统

Inventor： B·莫塔达 ,  D·A·M·卡利尔 ,  B·A·萨达尼

IPC: G01B9/02 ,  G01J9/02 ,  G02B27/14 ,  G02B27/16 ,  G02B26/08 ,  G01J3/02

CPC classification number: G01B9/02015 ,  G01B9/02051 ,  G01B9/02091 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/453 ,  G01J9/02 ,  G02B26/0833 ,  G02B27/14 ,  G02B27/143 ,  G02B27/16

Abstract: 一种基于空间分束的光学微机电系统(MEMS)干涉仪包括用于将输入光束空间分束成两个干涉仪光束的空间分束器和用于将两个干涉仪光束空间合束的空间合束器。提供了一种MEMS可移动镜，用于产生第一干涉仪光束和第二干涉仪光束之间的光学路径差。

公开(公告)号：CN105051484A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201380074282.3

申请日：2013-02-05

Applicant: 斯维尔系统

Inventor： B·莫塔达 ,  D·A·M·卡利尔 ,  B·A·萨达尼

IPC: G01B9/02 ,  G01J9/02 ,  G02B27/14 ,  G02B27/16 ,  G02B26/08 ,  G01J3/02

CPC classification number: G01B9/02015 ,  G01B9/02051 ,  G01B9/02091 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/453 ,  G01J9/02 ,  G02B26/0833 ,  G02B27/14 ,  G02B27/143 ,  G02B27/16

Abstract: 一种基于空间分束的光学微机电系统(MEMS)干涉仪包括用于将输入光束空间分束成两个干涉仪光束的空间分束器和用于将两个干涉仪光束空间合束的空间合束器。提供了一种MEMS可移动镜，用于产生第一干涉仪光束和第二干涉仪光束之间的光学路径差。