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公开(公告)号：CN114207815A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202080035884.8
申请日：2020-05-14
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 张代化 , 骆英东 , 朱明伟 , 胡·T·额 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 纳格·B·帕蒂班德拉
IPC: H01L25/075 , H01L25/16 , H01L33/50 , G09F9/33
Abstract: 一种制作多色彩显示器的方法包括以下步骤：在显示器上方分配包括色彩转换剂的光可固化流体，显示器具有背平面和与背平面的背平面电路系统电气整合的发光二极管的阵列；在发光二极管的阵列中启动复数个发光二极管，以照射并且固化第一光可固化流体，以在第一复数个发光二极管中的每一者上方形成色彩转换层，以将来自复数个发光二极管的光转换成第一色彩的光；和移除第一光可固化流体的未固化的剩余物。以具有用于另一色彩的不同色彩转换组分的流体重复此工艺。
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公开(公告)号：CN113614274A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202080023267.6
申请日：2020-03-18
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 一种物理气相沉积系统包括：腔室；三个用于靶的靶支撑件；可动屏蔽物，定位为具有穿过所述可动屏蔽物的开口；工件支撑件，用来将工件固持在所述腔室中；气体供应器，用来向所述腔室输送氮气及惰性气体；电源；及控制器。所述控制器被配置为：移动所述屏蔽物以轮流将所述开口定位成与每个靶相邻，及在每个靶处，使所述电源施加足以在所述腔室中点燃等离子体的电力，以分别造成沉积缓冲层、在所述缓冲层上沉积第一材料的器件层、及沉积覆盖层，所述第一材料是在超过8°K的温度下适合用作超导体的金属氮化物。
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公开(公告)号：CN113330544A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201980088226.2
申请日：2019-10-30
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 朱明伟 , 杨子浩 , 奈格·B·帕蒂班德拉 , 丹尼尔·迪尔 , 曹勇 , 曾为民 , 郑仁婧 , 爱德华·布迪亚图 , S·K·古鲁萨米 , 托德·伊根 , 尼兰詹·R·哈斯基瓦莱
IPC: H01L21/67 , H01L21/768 , H01L21/66
Abstract: 提供了一种用于形成具有均匀且精确的层的光学堆叠的方法和设备。用于形成光学堆叠的处理工具在封闭环境中包括第一移送腔室、机载计量单元和第二移送腔室。第一多个处理腔室耦接至第一移送腔室或第二移送腔室。机载计量单元设置在第一移送腔室和第二移送腔室之间。机载计量单元被配置为测量光学堆叠的各个层的一种或多种光学性质，而不将各层暴露于周围环境。
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公开(公告)号：CN119054077A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202380035073.1
申请日：2023-04-13
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 库兰代韦鲁·西瓦南丹 , 徐立松 , 朱明伟 , 黄浩智 , 奈格·帕蒂班德拉
IPC: H01L25/075 , H01L33/50 , H01L33/12 , H01L33/58
Abstract: 示例性装置结构可以包括发光二极管结构。发光二极管结构可操作以产生光。结构可以包括光致发光区域，光致发光区域含有光致发光材料。光致发光区域可以位于发光二极管结构上。结构可以包括位于光致发光区域上方的紫外光(UV)滤光器。紫外光滤光器可操作以吸收由发光二极管结构产生的光，此光的特征在于小于或约为430nm的发射波长。
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公开(公告)号：CN118974308A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202380032484.5
申请日：2023-02-14
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 杨子浩 , 朱明伟 , 巴拉特瓦·罗摩克里希南 , 汪荣军 , 罗伯特·詹·维瑟 , 奈格·B·帕蒂班德拉
Abstract: 本文所述的实施方式涉及制造钙钛矿膜装置的方法。该方法包括对在处理系统内的基板加热与除气；使用处理腔室内的多阴极溅射沉积在基板的表面上方沉积第一钙钛矿膜层，使用处理腔室内的多阴极溅射沉积在第一钙钛矿膜层上方沉积第二钙钛矿膜层；和对具有设置在基板上的第一钙钛矿膜层与第二钙钛矿膜层的基板退火。第一钙钛矿膜层包括第一钙钛矿材料。第二钙钛矿膜层包括第二钙钛矿材料。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117203770A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202280029131.5
申请日：2022-03-22
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 徐立松 , 郭秉圣 , 朱明伟 , 黃浩智 , 奈格·B·帕蒂班德拉 , 克里斯多弗·丹尼斯·本彻
IPC: H01L27/15
Abstract: 一种用于制造微型LED显示器的方法包括：在具有多个微型LED的基板上沉积第一材料，使得多个微型LED由第一材料覆盖，并且第一材料填充横向分隔微型LED的缝隙；从横向分隔多个微型LED的缝隙移除第一材料的部分，以形成延伸至微型LED的发光层或延伸至发光层之下的沟槽；在基板上沉积第二材料，使得第二材料覆盖第一材料并延伸进沟槽中；以及移除在多个微型LED上的第一及第二材料的部分以暴露多个微型LED的顶表面，并使得隔离壁垂直地延伸高于第一材料的顶表面。第二材料是不透明材料。
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公开(公告)号：CN113614275B
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202080023276.5
申请日：2020-03-18
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 通过以下步骤来在工件上形成包括金属氮化物层的结构：在将所述工件安置在包括金属靶的腔室中之前，通过将氮气及惰性气体以第一流率比流动到所述腔室中，及在所述腔室中点燃等离子体，来预调节所述腔室；在所述预调节步骤之后将所述腔室排气；在所述预调节步骤之后将所述工件安置在所述腔室中的工件支撑件上；及通过将氮气及所述惰性气体以第二流率比流动到所述腔室中，及在所述腔室中点燃等离子体，来在所述腔室中的所述工件上执行金属氮化物层的物理气相沉积。所述第二流率比小于所述第一流率比。
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公开(公告)号：CN114175285A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202080036820.X
申请日：2020-05-15
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 张代化 , 骆英东 , 朱明伟 , 胡·T·额 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 纳格·B·帕蒂班德拉
IPC: H01L33/50 , H01L33/00 , H01L33/32 , H01L25/075 , H01L27/15
Abstract: 一种制作多色彩显示器的方法，包括在显示器上方分配光可固化流体，显示器具有LED的阵列，LED的阵列设置于覆盖层下方。覆盖物具有带有复数个凹槽的外部表面，且光可固化流体填充凹槽。光可固化流体包括色彩转换剂。启动阵列中的复数个LED，以照射且固化光可固化流体，以在凹槽中于启动的LED上方形成色彩转换层。此层将来自这些LED的光转换成第一色彩的光。移除光可固化流体的未固化的剩余物。接着，以具有不同色彩转换剂的不同的光可固化流体和不同的复数个LED重复该工艺。此举在不同的复数个凹槽中形成第二色彩转换层，以将来自这些LED的光转换成第二色彩的光。
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公开(公告)号：CN113366625A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080012203.6
申请日：2020-01-21
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/687 , C23C14/50 , H01L21/683
Abstract: 本文提供基板载具的实施方式。在一些实施方式中，一种基板载具包括：底板，其中底板是薄的、实心板而不具有通孔或内嵌的部件；和从底板延伸的多个抬升的部分，其中多个抬升的部分包括第一抬升的部分和第二抬升的部分，第一抬升的部分从第二抬升的部分径向向内设置，其中底板和多个抬升的部分界定凹部，凹部构造成保持多个基板，且其中第二抬升的部分的上部表面具有比第一抬升的部分的上部表面更大的表面积。
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公开(公告)号：CN113330544B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN201980088226.2
申请日：2019-10-30
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 朱明伟 , 杨子浩 , 奈格·B·帕蒂班德拉 , 丹尼尔·迪尔 , 曹勇 , 曾为民 , 郑仁婧 , 爱德华·布迪亚图 , S·K·古鲁萨米 , 托德·伊根 , 尼兰詹·R·哈斯基瓦莱
IPC: H01L21/67 , H01L21/768 , H01L21/66
Abstract: 提供了一种用于形成具有均匀且精确的层的光学堆叠的方法和设备。用于形成光学堆叠的处理工具在封闭环境中包括第一移送腔室、机载计量单元和第二移送腔室。第一多个处理腔室耦接至第一移送腔室或第二移送腔室。机载计量单元设置在第一移送腔室和第二移送腔室之间。机载计量单元被配置为测量光学堆叠的各个层的一种或多种光学性质，而不将各层暴露于周围环境。
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