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公开(公告)号：CN104025264A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201280065767.1
申请日：2012-12-21
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 乔·格里菲思·克鲁兹 , 朴廷元 , 普拉文·K·纳万克尔 , 内特斯·阮 , 哈恩·阮 , 陈图 , 徐晶晶
IPC: H01L21/302
CPC classification number: H01L21/02041 , B08B7/00 , C23C16/0227 , C23C16/44 , C23C16/4401 , C23C16/4405
Abstract: 本文提供用于清洁基板表面的方法和设备。在一些实施方式中，一种清洁基板表面的方法可包括：提供含氢气体到其中设置有多个热丝的第一腔室；使电流流经所述多个热丝以将所述多个热丝的温度升高到足够分解至少一些含氢气体的工艺温度；以及通过使所述基板暴露于由含氢气体分解所形成的氢原子达一段时间，来清洁所述基板的表面。
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公开(公告)号：CN118215470A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202280066277.7
申请日：2022-09-28
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 王非 , 普拉文·K·纳万克尔
IPC: A61K9/50
Abstract: 本公开是关于经涂覆药物组合物及利用低温氧化硅涂覆制备经涂覆药物组合物的方法。特定地，本申请公开了一种在低温下使用硅前驱物及催化剂涂覆有效制药成分颗粒的方法。
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公开(公告)号：CN116892011A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310717002.1
申请日：2019-03-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 尤里·梅尔尼克 , 苏克蒂·查特吉 , 考沙尔·冈加什卡尔 , 乔纳森·弗兰克尔 , 兰斯·A·斯卡德尔 , 普拉文·K·纳万克尔 , 大卫·布里兹 , 托马斯·奈斯利 , 马克·沙丽 , 戴维·汤普森
Abstract: 本公开内容的实施方式一般地涉及航空航天部件上的保护涂层和用于沉积保护涂层的方法。在一或多个实施方式中，一种在航空航天部件上沉积保护涂层的方法包括：顺序地将航空航天部件暴露于铬前驱物和反应物以通过原子层沉积工艺在航空航天部件的表面上形成含铬层。含铬层包含金属铬、氧化铬、氮化铬、碳化铬、硅化铬或上述各项的任何组合。
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公开(公告)号：CN114007593A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202080045798.5
申请日：2020-04-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 王非 , 科林·C·内科克 , 乔纳森·弗兰克尔 , 普拉文·K·纳万克尔
IPC: A61K9/52 , A61K47/02 , A61K47/34 , A61K31/167 , C23C16/40 , C23C16/455
Abstract: 提供了一种制备药用组成物的方法，所述药用组成物具有由一种或多至金属氧化物材料包围的含药物核心。所述方法包括：依序原子层沉积金属氧化物层，然后进行分子层级沉积聚合物层。这产生了一种药用组成物，所述药用组成物包括由一种或多种金属氧化物材料和一种或多种聚合物材料所包围的含药物核心。
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公开(公告)号：CN113498492A
公开(公告)日：2021-10-12
申请号：CN202080015893.0
申请日：2020-02-19
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 苏克蒂·查特吉 , 尤里·梅尔尼克 , 普拉文·K·纳万克尔
IPC: G03F1/64 , G03F1/22 , C09C3/06 , B01J23/745 , B01J23/755 , B82Y30/00
Abstract: 本公开内容的多个实施方式一般涉及用于远紫外光刻系统的纳米复合护膜。护膜包括排列成平面片的多个碳纳米管，多个碳纳米管由多个金属催化剂点滴形成。以氮化硼的第一共形层涂布多个碳纳米管。此护膜可包括随着氮化硼的第一共形层同时形成的多个氮化硼纳米管。此护膜可包括设置在氮化硼的第一共形层上的碳纳米管涂层和设置在碳纳米管涂层上氮化硼的第二共形层或氮化硼纳米管。此护膜是UV透明且在氢自由基环境中是非反应性的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111902566B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN201980020567.6
申请日：2019-03-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 尤里·梅尔尼克 , 苏克蒂·查特吉 , 考沙尔·冈加什卡尔 , 乔纳森·弗兰克尔 , 兰斯·A·斯卡德尔 , 普拉文·K·纳万克尔 , 大卫·布里兹 , 托马斯·奈斯利 , 马克·沙丽 , 戴维·汤普森
IPC: C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/32 , C23C16/42 , C23C16/56
Abstract: 本公开内容的实施方式一般地涉及航空航天部件上的保护涂层和用于沉积保护涂层的方法。在一或多个实施方式中，一种在航空航天部件上沉积保护涂层的方法包括：顺序地将航空航天部件暴露于铬前驱物和反应物以通过原子层沉积工艺在航空航天部件的表面上形成含铬层。含铬层包含金属铬、氧化铬、氮化铬、碳化铬、硅化铬或上述各项的任何组合。
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公开(公告)号：CN114341397A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202080061931.6
申请日：2020-07-09
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 大野贤一 , 埃里克·H·刘 , 苏克蒂·查特吉 , 尤里·梅尔尼克 , 托马斯·奈斯利 , 大卫·亚历山大·布里兹 , 兰斯·A·斯卡德尔 , 普拉文·K·纳万克尔
IPC: C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/56 , F01D5/28
Abstract: 本公开内容的实施方式大体上关于基板上的保护涂层及沉积保护涂层的方法。在一或多个实施方式中，在基板上形成保护涂层的方法包括：在第一气相沉积处理期间在基板的表面上沉积含有非晶氧化铬的氧化铬层；及在第一退火处理期间加热含有包含非晶氧化铬的氧化铬层的基板，以将非晶氧化铬的至少一部分转换成结晶氧化铬。所述方法还包括：在第二气相沉积处理期间在氧化铬层上沉积含有非晶氧化铝的氧化铝层；及在第二退火处理期间加热含有设置在氧化铬层上的氧化铝层的基板，以将非晶氧化铝的至少一部分转换成结晶氧化铝。
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公开(公告)号：CN113811636A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202080034855.X
申请日：2020-04-22
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 乔纳森·弗兰克尔 , 科林·C·内科克 , 普拉文·K·纳万克尔 , 夸克·特伦 , 戈文德拉·德赛 , 塞卡尔·克里希纳萨米 , 桑迪普·S·德赛
IPC: C23C16/455 , C23C16/44 , C23C16/442
Abstract: 一种涂覆粒子的反应器，包括：用于保持待涂覆粒子的床的固定的真空腔室，固定的真空腔室具有形成半圆柱体的下部和上部；位于腔室的上部中的真空端口；叶片组件；用于使叶片组件的驱动轴旋转的电机；用于输送第一流体的化学物质输送系统；以及第一气体注入组件，第一气体注入组件用于从化学物质输送系统接收第一流体，并且具有孔，孔被配置为将第一反应物或前驱物气体注入腔室的下部，并使得第一反应物或前驱物气体实质上与半圆柱体的弯曲内表面相切地流动。
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公开(公告)号：CN112601837A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201980052781.X
申请日：2019-07-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 考沙尔·冈加什卡尔 , 乔纳森·弗兰克尔 , 科林·C·内科克 , 普拉文·K·纳万克尔
IPC: C23C16/44 , C23C16/455 , C23C16/458
Abstract: 一种用于涂覆颗粒的反应器包括：真空腔室，所述真空腔室经配置为保持待涂覆的颗粒；真空端口，所述真空端口用于经由所述真空腔室的出口从所述真空腔室排放气体；化学递送系统，所述化学递送系统经配置为使处理气体经由真空腔室上的气体入口流入所述颗粒中；一个或多个振动致动器，所述一个或多个振动致动器位于所述真空腔室的第一安装表面上；和控制器，所述控制器经配置为导致所述一个或多个振动致动器在所述真空腔室中产生振动运动，所述振动运动足以在所述真空腔室内保持的所述颗粒中引起振动运动。
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公开(公告)号：CN111902566A
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201980020567.6
申请日：2019-03-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 尤里·梅尔尼克 , 苏克蒂·查特吉 , 考沙尔·冈加什卡尔 , 乔纳森·弗兰克尔 , 兰斯·A·斯卡德尔 , 普拉文·K·纳万克尔 , 大卫·布里兹 , 托马斯·奈斯利 , 马克·沙丽 , 戴维·汤普森
IPC: C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/32 , C23C16/42 , C23C16/56
Abstract: 本公开内容的实施方式一般地涉及航空航天部件上的保护涂层和用于沉积保护涂层的方法。在一或多个实施方式中，一种在航空航天部件上沉积保护涂层的方法包括：顺序地将航空航天部件暴露于铬前驱物和反应物以通过原子层沉积工艺在航空航天部件的表面上形成含铬层。含铬层包含金属铬、氧化铬、氮化铬、碳化铬、硅化铬或上述各项的任何组合。
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