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公开(公告)号：CN1257386C
公开(公告)日：2006-05-24
申请号：CN200510002287.2
申请日：2005-01-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明属于精密仪器制造及测量技术领域，特别是一种超精密圆度误差分离方法。该方法在分离过程中通过选择恰当的转位角α，使工件相对回转主轴进行相应角度的单次小角度转位，通过测量工件转位前和转位后包括工件误差g(n)和主轴回转误差Z(n)在内的综合误差A(n)和B(n)，利用快速傅里叶级数变换和谐波分析等数学处理方法，实现z(n)和g(n)在1-100upr谐波范围的全谐波分离。与目前圆度仪普遍采用的“多步法”误差分离技术相比，该方法根除了其在1-100upr谐波范围内的“谐波奇异”问题，同时使基于该方法上的误差分离系统大为简化，缩短了分离过程，减少了分离时间。此方法可为纳米精度回转基准的建立提供一种理想的圆度误差分离方法。
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公开(公告)号：CN1758015A
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：CN200510123581.9
申请日：2005-11-21
Abstract: 本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域，涉及一种具有数十纳米横向分辨力的反射多光束共焦干涉显微镜，包括光源(1)，依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、第一偏振分光镜(10)，放置在第一偏振分光镜(10)反射光路上的第一1/4波片(11)、显微物镜(4)，以及在共焦接收光路中的聚光透镜(6)和位于聚光透镜(6)焦点位置的针孔(7)，贴近针孔后面的光电探测器(8)，其特征在于还包括依次放置在显微物镜(4)光轴上并处在第一偏振分光镜(10)位置后的第二偏振分光镜(10′)、第二1/4波片(11′)和多光束发生器(12)。本发明可广泛应用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行高分辨力显微成像检测。
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公开(公告)号：CN1588157A
公开(公告)日：2005-03-02
申请号：CN200410074459.2
申请日：2004-09-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于光学显微成像及微观测量技术领域，涉及一种具有高性噪比和三维超分辨成像能力的整形环形光三差动共焦显微镜，主要包括激光器(1)，扩束器(2)、偏振分光镜(6)、λ/4波片(7)，显微物镜(8)、聚光镜(11)、(15)和(18)；以及针孔(12)、(16)、(19)和探测器(13)、(17)、(20)，还包括一个位于扩束器(2)和偏振分光镜(6)之间，整形入射光为环形光的环形光整形器件(4)，和一个位于偏振分光镜(6)和环形光整形器件(4)之间，调整入射环形光归一化半径的可调光阑(5)。本发明中的环形光整形器件，将三差动共焦显微镜入射激光光束整形为超分辨所需的特定结构的环形光束，来改善共焦显微镜的横向分辨力，并采用三差动共焦显微镜的光路布置提高共焦显微镜的轴向分辨力。
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公开(公告)号：CN1527026A
公开(公告)日：2004-09-08
申请号：CN200410006359.6
申请日：2004-02-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于表面微细结构测量技术领域，涉及一种具有高空间分辨力的差动共焦扫描检测方法。该方法采用差动共焦显微双接受光路布置和双探测器相减形成差动共焦信号，对被测工件进行测量，通过光学超分辨共焦显微检测方法提高横向分辨力，通过差动共焦显微探测方法提高纵向分辨力，从而达到差动共焦扫描检测的高空间分辨力检测。该方法可以满足高空间分辨力、高精度和较大测量范围的要求，特别适用于表面三维微细结构、微台阶、微沟槽、线宽以及表面形貌的测量等。
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公开(公告)号：CN1310023C
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200410090774.4
申请日：2004-11-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于光学显微成像及微观测量技术领域，涉及一种具有高性噪比和三维超分辨成像能力的三差动共焦显微三维超分辨成像方法。该方法将提高轴向分辨力的三差动共焦扫描方法和提高横向分辨力的超分辨光瞳滤波共焦扫描方法相融合，构成光瞳滤波式三维超分辨差动共焦成像方法。横向分辨力的提高可通过特定设计的光瞳滤波器来对三差动共焦显微镜的爱里斑主辦进行锐化来达到，轴向分辨力的提高可通过三差动共焦光路布置及差动探测来达到，这样，即可实现共焦显微镜的三维超分辨成像和高性噪比显微成像检测。该方法可用于测量样品的三维表面形貌、三维微细结构、微台阶、微沟槽、集成电路线宽等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1837890A
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：CN200610066076.X
申请日：2006-03-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B21/00
Abstract: 本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域，涉及一种图像复原及光瞳滤波式横向超分辨共焦显微成像方法与装置，包括光源(1)，依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、光瞳滤波器(3)，偏振分光镜(4)，放置在偏振分光镜(4)反射光路上的1/4波片(5)、显微物镜(6)，以及在偏振分光镜(4)透射光路上的聚光透镜(7)和位于聚光透镜(7)焦点位置的针孔(8)，贴近针孔后面的CCD探测器(9)。本发明融合了光瞳滤波超分辨技术以及图像超分辨复原技术，可显著改善共焦显微系统的横向分辨力。本发明可广泛用于对微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行高分辨力显微成像检测。
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公开(公告)号：CN1272599C
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN200510007217.6
申请日：2005-02-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B5/20
Abstract: 本发明属于精密仪器制造及测量技术领域，特别是一种可实时分离主轴空间回转误差、导轨直行运动误差、导轨与回转轴线间平行度误差的圆柱度测量方法及装置。本发明的装置包括传感器(1)和传感器(2)、回转工作台(4)、基座(5)、导轨气浮套(6)和立式导轨(7)组成的立式导轨系统，误差分离转台(8)，其特征在于误差分离转台(8)置于回转工作台(4)上，被测件(3)置于误差分离转台(8)上，其可分别随回转工作台(4)和误差分离转台(8)回转，传感器(1)和传感器(2)随导轨气浮套(6)沿立式导轨(7)上下运动，且传感器(1)和传感器(2)在被测件(3)的两侧径向对称分布。
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公开(公告)号：CN1811332A
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200610056957.3
申请日：2006-03-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密仪器测量技术领域，特别是一种具有自身参照和自校准特征的圆柱度测量仪组合式基准间误差分离方法。本发明的方法采用单传感器测量，通过对被测工件进行正向放置与倒向放置两个测回，经过简单的数据处理，便可分离出被测工件自身的形状误差与导轨相对主轴回转轴线的倾斜量，可完全去除倾斜量对圆柱形状超精密测量的影响，使圆柱形状测量用空间运动基准精度水平较一般精密空间运动基准提高一个数量级以上。
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公开(公告)号：CN1719193A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200510089852.3
申请日：2005-08-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明涉及一种漂移量靶标反馈控制的长距离二维光电自准直装置和方法。装置包括二维光电自准直光管、计算机、二维光束偏转装置，和漂移量监测装置，还包括分光式靶标探测器，该分光式靶标探测器位于二维光束偏转装置和漂移量监测装置之间，分光式靶标探测器在获取其二维小角度变化量的测量信号的同时分离并反馈回与测量光束特性完全相同的角漂移分量反馈光束，漂移量监测装置对角漂移分量反馈光束的角漂移量进行实时监测，计算机根据漂移量监测装置监测得到的角漂移量实时控制二维光束偏转装置，将测量光束按照角漂移量相反的方向进行调整，抑制耦合在测量信号中的测量光束的角漂移量，在增大二维光电自准直仪的测量距离的同时提高了测量稳定性。
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公开(公告)号：CN1216269C
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：CN200410001193.9
申请日：2004-02-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B5/20
Abstract: 本发明属于精密仪器制造及测量技术领域，特别是一种超精密回转基准空间误差自分离方法与装置。本发明的方法通过对超精密回转基准空间运动误差进行Z向逐截面分离的方法，满足高精度圆柱度仪回转基准(主轴)空间运动误差分离的需求，使其达到减小空间回转误差的目的。本发明还提供一种超精密回转基准空间误差自分离装置，它将圆度误差分离系统与圆柱度仪回转主轴系统有机轴整合为一体，利用工作台回转式的单转位小角度误差分离方法，以实现对圆柱度仪回转主轴空间回转运动误差的逐截面分离，即在圆柱测量高度范围内逐一对各测量截面的回转主轴误差进行分离，继而达到减小圆柱度仪主轴空间运动误差对测量结果的影响。
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