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公开(公告)号：CN1763504A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200510123582.3
申请日：2005-11-21
Abstract: 本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域，涉及一种具有数十纳米横向分辨力的透射多光束共焦干涉显微镜，包括光源(1)，依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、偏振分光镜(10)，放置在偏振分光镜(10)反射光路上的1/4波片(11)、显微物镜(4)，以及在偏振分光镜(10)透射光路上的聚光透镜(6)和位于聚光透镜(6)焦点位置的针孔(7)，贴近针孔后面的光电探测器(8)，还包括放置在偏振分光镜(10)和聚光透镜(6)之间的多光束发生器(12)。本发明可广泛用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行高分辨力显微成像检测。
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公开(公告)号：CN1837890A
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：CN200610066076.X
申请日：2006-03-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B21/00
Abstract: 本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域，涉及一种图像复原及光瞳滤波式横向超分辨共焦显微成像方法与装置，包括光源(1)，依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、光瞳滤波器(3)，偏振分光镜(4)，放置在偏振分光镜(4)反射光路上的1/4波片(5)、显微物镜(6)，以及在偏振分光镜(4)透射光路上的聚光透镜(7)和位于聚光透镜(7)焦点位置的针孔(8)，贴近针孔后面的CCD探测器(9)。本发明融合了光瞳滤波超分辨技术以及图像超分辨复原技术，可显著改善共焦显微系统的横向分辨力。本发明可广泛用于对微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行高分辨力显微成像检测。
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公开(公告)号：CN1758015A
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：CN200510123581.9
申请日：2005-11-21
Abstract: 本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域，涉及一种具有数十纳米横向分辨力的反射多光束共焦干涉显微镜，包括光源(1)，依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、第一偏振分光镜(10)，放置在第一偏振分光镜(10)反射光路上的第一1/4波片(11)、显微物镜(4)，以及在共焦接收光路中的聚光透镜(6)和位于聚光透镜(6)焦点位置的针孔(7)，贴近针孔后面的光电探测器(8)，其特征在于还包括依次放置在显微物镜(4)光轴上并处在第一偏振分光镜(10)位置后的第二偏振分光镜(10′)、第二1/4波片(11′)和多光束发生器(12)。本发明可广泛应用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行高分辨力显微成像检测。
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公开(公告)号：CN1323309C
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：CN200510123581.9
申请日：2005-11-21
Abstract: 本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域，涉及一种具有数十纳米横向分辨力的反射多光束共焦干涉显微镜，包括光源(1)，依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、第一偏振分光镜(10)，放置在第一偏振分光镜(10)反射光路上的第一1/4波片(11)、显微物镜(4)，以及在共焦接收光路中的聚光透镜(6)和位于聚光透镜(6)焦点位置的针孔(7)，贴近针孔后面的光电探测器(8)，其特征在于还包括依次放置在显微物镜(4)光轴上并处在第一偏振分光镜(10)位置后的第二偏振分光镜(10′)、第二1/4波片(11′)和多光束发生器(12)。本发明可广泛应用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行高分辨力显微成像检测。
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