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公开(公告)号：CN104934499A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510114614.7
申请日：2015-03-17
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G01V8/12 , B24B37/042 , B24B49/12 , C03C15/00 , C03C17/09 , C03C17/245 , C03C23/007 , C03C23/0075 , C03C2204/08 , C03C2217/252 , C03C2217/258 , C03C2217/28 , C03C2218/152 , C23C16/0227 , C23C16/402 , H01L31/18 , H01L22/12
Abstract: 本发明提供了用于加工和检测合成石英玻璃衬底的方法。具体地，通过研磨、蚀刻、镜面抛光、和清洁步骤来加工具有前表面和后表面的合成石英玻璃衬底，由此将该衬底的前表面抛光成镜面状表面。使用pH为4－7的氢氟酸溶液进行蚀刻步骤。
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公开(公告)号：CN101006021B
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN200680000217.6
申请日：2006-06-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C03C19/00 , H01L21/027 , G03F1/14
CPC classification number: G03F7/70791 , C03C19/00 , G02F2001/133302 , G03F1/60
Abstract: 通过将大型玻璃基板材料加工(1)基于基板材料在垂直姿态下的高度数据的整平去除量加上变形修正去除量，来制备用于形成光掩模基板的大型玻璃基板。变形修正去除量是从以下量计算的：(2)基板材料在水平姿态下由于其自身重量而产生的弯曲；(3)由于夹紧在曝光设备中引起的光掩模基板的变形；以及(4)用于支撑母玻璃的台板的精度失真。
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公开(公告)号：CN101246312A
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200710169156.2
申请日：2007-12-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F1/68 , Y02P20/582
Abstract: 具有图案化的遮光膜的用过的大尺寸光掩模基板通过以下步骤被重复利用：(i)从用过的基板去除遮光膜以提供光掩模形成玻璃基板原料，(ii)通过喷砂对玻璃基板原料进行表面重修，(iii)对表面重修的玻璃基板原料再抛光以产生再生的玻璃基板原料，(iv)将遮光膜施加到再生的玻璃基板原料上应用以产生再生的光掩模形成毛坯，以及(v)加工该毛坯的遮光膜成与所期望的母玻璃曝光相对应的图案，从而产生再生的光掩模基板。
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公开(公告)号：CN113396485B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN201980091218.3
申请日：2019-12-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L33/00 , H01L21/677
Abstract: 本发明为一种模板头单元，其包含：模板部件，其在石英玻璃基板上至少具备有机硅类橡胶膜；模板部件保持部件，其具备具有孔的面，该孔用于对前述模板部件的石英玻璃基板面进行真空抽吸；以及，管状部件，其具有排气抽吸孔且与前述模板部件保持部件结合固定，该排气抽吸孔以能够保持真空的状态与前述用于进行真空抽吸的孔连通连接。由此，提供一种能够通过简便的真空卡盘方式稳定地固定的模板部件、能够在短时间内对该模板部件进行更换的模板头单元、以及具备该模板部件、模板头单元的微小构造体移载装置。
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公开(公告)号：CN113396485A
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN201980091218.3
申请日：2019-12-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L33/00 , H01L21/677
Abstract: 本发明为一种模板头单元，其包含：模板部件，其在石英玻璃基板上至少具备有机硅类橡胶膜；模板部件保持部件，其具备具有孔的面，该孔用于对前述模板部件的石英玻璃基板面进行真空抽吸；以及，管状部件，其具有排气抽吸孔且与前述模板部件保持部件结合固定，该排气抽吸孔以能够保持真空的状态与前述用于进行真空抽吸的孔连通连接。由此，提供一种能够通过简便的真空卡盘方式稳定地固定的模板部件、能够在短时间内对该模板部件进行更换的模板头单元、以及具备该模板部件、模板头单元的微小构造体移载装置。
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公开(公告)号：CN107689412A
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201710622430.0
申请日：2017-07-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: H01L33/483 , C03C15/00 , C03C19/00 , H01L33/58 , H01L2924/16195 , H01L2933/0033 , H01L2933/0058 , H01L2933/0091 , H01L33/56
Abstract: 一种光学装置封装体，其包括容纳座，容纳在其中的光学装置和在该光学装置的发光方向上被设置于该容纳座之前的窗构件。该窗构件是具有其中至少一个是粗糙表面的前表面和后表面的合成石英玻璃构件。
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公开(公告)号：CN101246312B
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN200710169156.2
申请日：2007-12-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F1/68 , Y02P20/582
Abstract: 具有图案化的遮光膜的用过的大尺寸光掩模基板通过以下步骤被重复利用：(i)从用过的基板去除遮光膜以提供光掩模形成玻璃基板原料，(ii)通过喷砂对玻璃基板原料进行表面重修，(iii)对表面重修的玻璃基板原料再抛光以产生再生的玻璃基板原料，(iv)将遮光膜施加到再生的玻璃基板原料上应用以产生再生的光掩模形成毛坯，以及(v)加工该毛坯的遮光膜成与所期望的母玻璃曝光相对应的图案，从而产生再生的光掩模基板。
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公开(公告)号：CN101821058A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200980100696.2
申请日：2009-05-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C19/00 , B24B1/00 , B24B37/00 , B24B37/0056 , C03C15/02 , C09G1/02 , C09G1/04 , C09K3/1454 , C09K3/1463 , C09K13/02 , C09K13/06
Abstract: 本发明公开了合成石英玻璃基板用抛光剂，其特征在于含有胶体二氧化硅等的胶体溶液，和聚羧酸系聚合物、酸性氨基酸、酚类或糖胺聚糖，所述胶体溶液具有20-50质量％的胶体浓度。
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