公开(公告)号：CN108398857A

公开(公告)日：2018-08-14

申请号：CN201810107544.6

申请日：2018-02-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 中岛和敬 ,  神谷重雄

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种光刻装置及物品的制造方法，所述光刻装置在基板上形成图案，其特征在于，所述光刻装置包括：卡盘，其包括用于保持所述基板的第一保持面、以及与所述第一保持面相反一侧的背面；载台，其包括用于保持所述卡盘的第二保持面，并能够移动；板，其包括第一清洁面、以及与所述第一清洁面相反一侧的第二清洁面；保持部，其以垂直方向的保持力小于水平方向的保持力的方式来保持所述板或所述卡盘，并能够移动；以及处理部，其通过所述保持部所保持的所述板的所述第二清洁面对所述第一保持面和所述第二保持面中的至少一者进行清洁，并通过所述板的所述第一清洁面对所述保持部所保持的所述卡盘的所述背面进行清洁。

公开(公告)号：CN119673852A

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202411303238.1

申请日：2024-09-19

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 森国雄一朗 ,  神谷重雄 ,  中岛和敬 ,  渡边光 ,  小川大辅

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明涉及基板保持装置、基板处理装置、分离方法和物品制造方法。该基板保持装置包括构造成保持基板的保持器和构造成在基板和保持器之间供应气体的气体供应器，其中，在将基板与保持基板的保持器分离时，气体供应器基于关于基板和保持器之间的附着力的信息供应气体。

公开(公告)号：CN119254054A

公开(公告)日：2025-01-03

申请号：CN202410881415.8

申请日：2024-07-03

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 神谷重雄

IPC: H02P3/06 ,  G03F7/00 ,  H02P3/12 ,  H02P3/22 ,  H02P25/06 ,  H02K41/02

Abstract: 本发明涉及电动机、载置台装置、光刻装置以及物品制造方法。电动机具备：磁铁组件；线圈组件，包括多个线圈；第1动力制动电路和第2动力制动电路，通过使所述多个线圈中的与所述磁铁组件相面对的线圈短路来产生制动力；以及控制电路，控制所述第1动力制动电路和所述第2动力制动电路的动作，所述控制电路使所述第1动力制动电路和所述第2动力制动电路在互不相同的时机激活。

公开(公告)号：CN118824930A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202410451759.5

申请日：2024-04-16

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 龙野俊直 ,  福井慎次 ,  秋叶英生 ,  神谷重雄 ,  中岛和敬

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供基板支承构件、基板支承构件的制造方法、基板处理装置以及物品的制造方法。基板支承构件用于支承基板，其特征在于，具有：支承上述基板的多个凸部；以及用于在上述多个凸部支承着上述基板时在上述基板的被上述多个凸部支承着的面侧形成减压空间的密封部，上述多个凸部在各自的上端部具有膜，上述密封部在上述密封部的上端部不具有膜或者具有比上述多个凸部所具有的上述膜薄的膜。

公开(公告)号：CN118550160A

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN202410199777.9

申请日：2024-02-23

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 中岛和敬 ,  神谷重雄 ,  是永伸茂

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  H01L21/027 ,  G03F9/00

Abstract: 本公开涉及载台设备、光刻设备、基板输送方法和物品制造方法。一种载台设备包括：配置为吸附并且保持基板的基板卡盘；配置成能够吸附并且保持基板的销，所述销配置成能够通过基板卡盘中的孔从基板卡盘突出；驱动部分，所述驱动部分被配置成使基板卡盘和销中的一个相对于基板卡盘和销中的另一个移动；以及控制部分，所述控制部分被配置成控制驱动部分，其中，在基板和基板卡盘彼此分离的情况下，控制部分基于与基板和基板卡盘之间的分离容易度相关的第一条件来控制驱动部分。

公开(公告)号：CN116974146A

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN202310456559.4

申请日：2023-04-25

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 佐藤健 ,  神谷重雄 ,  是永伸茂

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供载台装置、转印装置及物品制造方法。保持基板的载台装置包括：粗动载台；沿规定平面驱动粗动载台的粗动致动器；微动载台，保持基板；微动致动器，调整微动载台相对于粗动载台的位置和姿势；以及电磁致动器，以非接触方式将由粗动致动器提供给粗动载台的推力向微动载台传递，电磁致动器包括：固定铁芯，固定于粗动载台且具有第一端面；线圈，缠绕于固定铁芯；以及可动铁芯，固定于微动载台且具有与第一端面相向的第二端面，从第一距离减去第二距离而得到的差值的最大值比正的规定值大，第一距离为从由微动载台保持的基板到第一端面中的离基板最远的位置的距离，第二距离为从由微动载台保持的基板到第二端面中的离基板最远的位置的距离。

公开(公告)号：CN104102093B

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201410118166.3

申请日：2014-03-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 神谷重雄

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/20 ,  B25B11/005 ,  G03F7/707 ,  G03F7/70716 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/6875

Abstract: 本发明提供了一种用于保持基质的保持器，该保持器包括：基部，该基部将由台板接收；该基部包括：第一表面，该第一表面布置成接收要由保持器保持的基质；以第二表面，该第二表面与第一表面相反地布置；第一支撑件，该第一支撑件提供于第二表面上、布置成包围形成于基部中的通孔并且构造成接触台板；第二支撑件，该第二支撑件提供于第二表面上并且布置成包围第一支撑件并接触台板；以及多个第一销，这些第一销提供于第二表面的、在第二支撑件与基部的外边缘之间的区域中，并且布置成接触台板。本发明还提供了一种光刻装置、一种平台装置和一种制造物品的方法。