公开(公告)号：CN119673852A

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202411303238.1

申请日：2024-09-19

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 森国雄一朗 ,  神谷重雄 ,  中岛和敬 ,  渡边光 ,  小川大辅

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明涉及基板保持装置、基板处理装置、分离方法和物品制造方法。该基板保持装置包括构造成保持基板的保持器和构造成在基板和保持器之间供应气体的气体供应器，其中，在将基板与保持基板的保持器分离时，气体供应器基于关于基板和保持器之间的附着力的信息供应气体。

公开(公告)号：CN111352307A

公开(公告)日：2020-06-30

申请号：CN201911321342.2

申请日：2019-12-20

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 森国雄一朗

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及输送装置、基板处理装置以及制造制品的方法。输送装置包括：第一可动设备，其在保持物体的同时移动；第二可动设备，其在保持物体的同时移动并且将物体转移至第一可动设备；和控制器，其控制第一可动设备和第二可动设备。第二可动设备包括引导构件、和布置成能够在保持物体的同时沿着引导构件往复运动的手构件。控制器基于第二可动设备的驱动历史来估计引导构件的与手构件沿着引导构件的往复运动相对应的热变形量，并且控制器基于所估计的热变形量来校正用于使第一可动设备移动至从第二可动设备接收物体的位置的驱动指令值。

公开(公告)号：CN111352307B

公开(公告)日：2023-04-28

申请号：CN201911321342.2

申请日：2019-12-20

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 森国雄一朗

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及输送装置、基板处理装置以及制造制品的方法。输送装置包括：第一可动设备，其在保持物体的同时移动；第二可动设备，其在保持物体的同时移动并且将物体转移至第一可动设备；和控制器，其控制第一可动设备和第二可动设备。第二可动设备包括引导构件、和布置成能够在保持物体的同时沿着引导构件往复运动的手构件。控制器基于第二可动设备的驱动历史来估计引导构件的与手构件沿着引导构件的往复运动相对应的热变形量，并且控制器基于所估计的热变形量来校正用于使第一可动设备移动至从第二可动设备接收物体的位置的驱动指令值。

公开(公告)号：CN119668042A

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202411281965.2

申请日：2024-09-13

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 森国雄一朗 ,  神谷重雄 ,  中岛和敬 ,  渡边光 ,  小川大辅

IPC: G03F7/20 ,  G06N20/00 ,  G06N5/04 ,  G06N3/042 ,  G05B19/408 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明涉及信息处理装置、信息处理方法、存储介质以及计算机程序产品。提供一种有利于抑制基板和保持该基板的保持部的磨损的技术。一种信息处理装置，输出控制参数，所述控制参数是与使物体从保持所述物体的保持部离开时的、向所述物体与所述保持部之间供给气体相关的控制参数。所述信息处理装置具有：输出部，基于推理模型输出所述控制参数；以及机器学习部，根据基于所述控制参数进行所述气体的供给时的所述物体与所述保持部的分离的结果，进行所述推理模型的机器学习。

公开(公告)号：CN116097174A

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN202180058854.3

申请日：2021-07-28

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 森国雄一朗

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种用于生成用于对控制目标进行控制的控制信号的控制装置包括：多个神经网络；以及选择器，所述选择器被配置为从所述多个神经网络选择要被用于生成所述控制信号的神经网络，其中所述多个神经网络中的每一个由所述选择器选择以在用于对所述控制目标进行控制的多个控制模式当中的一个对应的控制模式的执行中被使用。