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公开(公告)号：CN119668042A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411281965.2
申请日：2024-09-13
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及信息处理装置、信息处理方法、存储介质以及计算机程序产品。提供一种有利于抑制基板和保持该基板的保持部的磨损的技术。一种信息处理装置，输出控制参数，所述控制参数是与使物体从保持所述物体的保持部离开时的、向所述物体与所述保持部之间供给气体相关的控制参数。所述信息处理装置具有：输出部，基于推理模型输出所述控制参数；以及机器学习部，根据基于所述控制参数进行所述气体的供给时的所述物体与所述保持部的分离的结果，进行所述推理模型的机器学习。
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公开(公告)号：CN119673852A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411303238.1
申请日：2024-09-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01L21/66
Abstract: 本发明涉及基板保持装置、基板处理装置、分离方法和物品制造方法。该基板保持装置包括构造成保持基板的保持器和构造成在基板和保持器之间供应气体的气体供应器，其中，在将基板与保持基板的保持器分离时，气体供应器基于关于基板和保持器之间的附着力的信息供应气体。
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公开(公告)号：CN109313294A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780032682.6
申请日：2017-05-30
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: [问题]为了抑制由于照射激励光引起的荧光体部分的温度梯度的出现。[解决手段]波长转换元件20具有荧光体粒子5分散于粘接剂4中的荧光体部分10。荧光体部分具有在厚度方向上位于彼此相反的侧的第一表面和第二表面。用激励光从第二表面侧照射荧光体部分。当荧光体部分沿厚度方向被二等分为第一表面侧的第一部分和第二表面侧的第二部分时，第一部分中的荧光体粒子的体积浓度高于第二部分中的体积浓度。
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公开(公告)号：CN109313294B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN201780032682.6
申请日：2017-05-30
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: [问题]为了抑制由于照射激励光引起的荧光体部分的温度梯度的出现。[解决手段]波长转换元件20具有荧光体粒子5分散于粘接剂4中的荧光体部分10。荧光体部分具有在厚度方向上位于彼此相反的侧的第一表面和第二表面。用激励光从第二表面侧照射荧光体部分。当荧光体部分沿厚度方向被二等分为第一表面侧的第一部分和第二表面侧的第二部分时，第一部分中的荧光体粒子的体积浓度高于第二部分中的体积浓度。
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