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公开(公告)号：CN114995064A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210192192.5
申请日：2022-03-01
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供通过使隔壁和凸部的配置位置成为规定的关系而可使基板的扭曲减少的卡盘、基板保持装置、基板处理装置以及物品制造方法。一种用于吸附并保持基板的卡盘，其特征在于，包括与被吸附并保持的基板的背面抵接的多个凸部、环状的隔壁以及配置了多个凸部和隔壁的底部，多个凸部由将被配置在隔壁的外侧的第1凸部以及被配置在隔壁的内侧且隔着隔壁与第1凸部相邻的位置的第2凸部作为一个组的多个组构成，在设多个组的每一个组所包含的第1凸部和第2凸部之间的距离为L，设该第2凸部和隔壁之间的距离为s时，满足s/L＜0.5。
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公开(公告)号：CN119253966A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202410881403.5
申请日：2024-07-03
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 神谷重雄
Abstract: 本发明提供线性马达、载台装置、光刻装置以及物品制造方法。线性马达具备：动子，其具有磁铁列；定子，其包括配置在上述动子的可动范围中的多个线圈；多个选择开关，其分别配置在驱动上述多个线圈的驱动器与上述多个线圈之间；以及路径，其配置在上述驱动器与上述多个选择开关之间，在制动动作时，使上述多个线圈之中与上述磁铁列面对的线圈和上述多个线圈之中不与上述磁铁列面对的线圈短路。
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公开(公告)号：CN116978656A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310477894.2
申请日：2023-04-28
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及电磁装置、对准设备和物品制造方法。电磁装置包括具有第一端面的第一构件、具有通过气隙面向第一端面的第二端面的第二构件、以及缠绕在第一构件和第二构件之一周围的线圈。第一构件和第二构件中的每一个都由多个钢板的层叠体形成，并且由第一构件和第二构件形成的磁路包括变化部分，在该变化部分处，层叠体的层叠方向以直角变化，以沿着多个钢板中的每一个的平面方向产生磁通量。
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公开(公告)号：CN108398857B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201810107544.6
申请日：2018-02-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种光刻装置及物品的制造方法，所述光刻装置在基板上形成图案，其特征在于，所述光刻装置包括：卡盘，其包括用于保持所述基板的第一保持面、以及与所述第一保持面相反一侧的背面；载台，其包括用于保持所述卡盘的第二保持面，并能够移动；板，其包括第一清洁面、以及与所述第一清洁面相反一侧的第二清洁面；保持部，其以垂直方向的保持力小于水平方向的保持力的方式来保持所述板或所述卡盘，并能够移动；以及处理部，其通过所述保持部所保持的所述板的所述第二清洁面对所述第一保持面和所述第二保持面中的至少一者进行清洁，并通过所述板的所述第一清洁面对所述保持部所保持的所述卡盘的所述背面进行清洁。
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公开(公告)号：CN119668042A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411281965.2
申请日：2024-09-13
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及信息处理装置、信息处理方法、存储介质以及计算机程序产品。提供一种有利于抑制基板和保持该基板的保持部的磨损的技术。一种信息处理装置，输出控制参数，所述控制参数是与使物体从保持所述物体的保持部离开时的、向所述物体与所述保持部之间供给气体相关的控制参数。所述信息处理装置具有：输出部，基于推理模型输出所述控制参数；以及机器学习部，根据基于所述控制参数进行所述气体的供给时的所述物体与所述保持部的分离的结果，进行所述推理模型的机器学习。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN104102093A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201410118166.3
申请日：2014-03-27
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 神谷重雄
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/20 , B25B11/005 , G03F7/707 , G03F7/70716 , H01L21/6838 , H01L21/6875
Abstract: 本发明提供了一种用于保持基质的保持器，该保持器包括：基部，该基部将由台板接收；该基部包括：第一表面，该第一表面布置成接收要由保持器保持的基质；以第二表面，该第二表面与第一表面相反地布置；第一支撑件，该第一支撑件提供于第二表面上、布置成包围形成于基部中的通孔并且构造成接触台板；第二支撑件，该第二支撑件提供于第二表面上并且布置成包围第一支撑件并接触台板；以及多个第一销，这些第一销提供于第二表面的、在第二支撑件与基部的外边缘之间的区域中，并且布置成接触台板。本发明还提供了一种光刻装置和一种制造物品的方法。
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公开(公告)号：CN116974147A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310459709.7
申请日：2023-04-25
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供载台装置、转印装置以及物品制造方法。保持基板的载台装置包括：粗动载台；沿规定平面驱动上述粗动载台的粗动促动器；保持上述基板的微动载台；用于调整上述微动载台相对于上述粗动载台的位置以及姿势的微动促动器；以及用于以非接触方式将由上述粗动促动器提供给上述粗动载台的推力向上述微动载台传递的电磁促动器。上述电磁促动器包括：固定于上述微动载台的可动铁芯；固定于上述粗动载台的固定铁芯；以及缠绕在上述固定铁芯上的线圈。由上述微动载台保持的上述基板与上述线圈的最短距离大于上述基板与上述固定铁芯的最短距离。
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公开(公告)号：CN114999987A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210197923.5
申请日：2022-03-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供通过使内周侧的凸部与外周侧的凸部的高度成为规定的关系而能够减少基板的扭曲的卡盘、基板保持装置、基板处理装置及物品的制造方法。该卡盘是用于吸附保持基板的卡盘，其特征在于，该卡盘包括：多个凸部，与被吸附保持的基板的背面抵接；环状的隔壁；以及底部，配置有多个凸部和隔壁，多个凸部由将配置在隔壁的外侧的第一凸部和配置在隔壁的内侧且隔着隔壁与第一凸部相邻的位置的第二凸部形成为一个组的多个组构成，在将多个组各自所包含的第一凸部的高度设为ho、将多个组各自所包含的第二凸部的高度设为hi时，满足hi＞ho。
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公开(公告)号：CN113867102A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202110716757.0
申请日：2021-06-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供载置台装置，用于在扫描方向上相对地扫描原版和基板的同时对基板进行曝光的扫描型的曝光装置，在扫描方向上扫描基板，其特征在于，具有：载置台，保持并移动基板；第一单元，包括第一电磁铁，且将由第一电磁铁产生的力作为使载置台在扫描方向上加速的力而施加于载置台；第二单元，包括第二电磁铁，且将由第二电磁铁产生的力作为使载置台在与扫描方向交叉的方向上加速的力而施加于载置台；以及移动部，使设置有第一单元以及第二单元的构造体移动，将第二电磁铁的铁芯投影到以与扫描方向交叉的方向为法线的平面上而得到的投影面积比将第一电磁铁的铁芯投影到以扫描方向为法线的平面上而得到的投影面积大。
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