Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号：CN115877668A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211181077.4
申请日：2022-09-27
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 须见隆弘 , 神谷重雄
IPC: G03F7/20
Abstract: 本公开涉及载台设备、光刻设备和物品制造方法。一种用于保持基板的载台设备包括:基板保持单元，其包括保持基板的保持表面；驱动机构，其被配置为将基板转移到保持表面；以及控制单元，其被配置为基于当基板由小于保持表面的支撑表面支撑时测量的关于基板翘曲的翘曲信息来决定驱动机构在基板的高度方向上驱动基板的驱动曲线，使得基板被转移到保持表面，同时校正基板的翘曲。
