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公开(公告)号：CN1677242A
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN200510062563.4
申请日：2005-03-29
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , G01B21/00
CPC classification number: G03F7/70775 , G03F7/70641 , G03F7/70733
Abstract: 由于基板载置台在曝光位置和处理位置之间移动后，必须在光轴方向进行查找等的基准对位，所以，曝光或处理的开始被推迟。为了解决该问题，本发明的曝光装置，包括；将图形在基板上曝光的曝光用光学系统；在离开前述曝光用光学系统的位置上、对前述基板进行规定的处理的基板处理系统；沿着与前述曝光用光学系统的光轴垂直的平面移动的基板载置台；以及，计测机构，该计测机构在前述基板载置台从前述基板处理系统下方向前述曝光用光学系统下方移动的期间内，在前述基板载置台的移动的整个范围内连续地计测前述基板载置台在前述光轴方向的位置。
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公开(公告)号：CN116978656A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310477894.2
申请日：2023-04-28
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及电磁装置、对准设备和物品制造方法。电磁装置包括具有第一端面的第一构件、具有通过气隙面向第一端面的第二端面的第二构件、以及缠绕在第一构件和第二构件之一周围的线圈。第一构件和第二构件中的每一个都由多个钢板的层叠体形成，并且由第一构件和第二构件形成的磁路包括变化部分，在该变化部分处，层叠体的层叠方向以直角变化，以沿着多个钢板中的每一个的平面方向产生磁通量。
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公开(公告)号：CN107390473B
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN201710344047.3
申请日：2017-05-16
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种定位装置、光刻装置及制造物品的方法。用于将可移动部在与第一方向和第二方向平行的面上移动的装置包括：单个导件，其用于约束可移动部在第二方向上的位置；以及驱动可移动部的驱动机构。可移动部包括：第一可移动构件，其能够在被导件导引的同时沿第一方向移动；第二可移动构件，其具有第一端及第二端，第一端经由旋转轴承而连接到第一可移动构件并且在所述面的上方移动，以及第三可移动构件，其能够在被第二可移动构件导引的同时在第一端与第二端之间的范围内移动。所述驱动机构包括：第一驱动器，其用于沿第一方向驱动第二可移动构件的第一端，以及第二驱动器，其用于沿第一方向驱动第二可移动构件的第二端。
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公开(公告)号：CN114995064A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210192192.5
申请日：2022-03-01
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供通过使隔壁和凸部的配置位置成为规定的关系而可使基板的扭曲减少的卡盘、基板保持装置、基板处理装置以及物品制造方法。一种用于吸附并保持基板的卡盘，其特征在于，包括与被吸附并保持的基板的背面抵接的多个凸部、环状的隔壁以及配置了多个凸部和隔壁的底部，多个凸部由将被配置在隔壁的外侧的第1凸部以及被配置在隔壁的内侧且隔着隔壁与第1凸部相邻的位置的第2凸部作为一个组的多个组构成，在设多个组的每一个组所包含的第1凸部和第2凸部之间的距离为L，设该第2凸部和隔壁之间的距离为s时，满足s/L＜0.5。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118550160A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410199777.9
申请日：2024-02-23
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/68 , H01L21/027 , G03F9/00
Abstract: 本公开涉及载台设备、光刻设备、基板输送方法和物品制造方法。一种载台设备包括：配置为吸附并且保持基板的基板卡盘；配置成能够吸附并且保持基板的销，所述销配置成能够通过基板卡盘中的孔从基板卡盘突出；驱动部分，所述驱动部分被配置成使基板卡盘和销中的一个相对于基板卡盘和销中的另一个移动；以及控制部分，所述控制部分被配置成控制驱动部分，其中，在基板和基板卡盘彼此分离的情况下，控制部分基于与基板和基板卡盘之间的分离容易度相关的第一条件来控制驱动部分。
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公开(公告)号：CN116974146A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310456559.4
申请日：2023-04-25
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供载台装置、转印装置及物品制造方法。保持基板的载台装置包括：粗动载台；沿规定平面驱动粗动载台的粗动致动器；微动载台，保持基板；微动致动器，调整微动载台相对于粗动载台的位置和姿势；以及电磁致动器，以非接触方式将由粗动致动器提供给粗动载台的推力向微动载台传递，电磁致动器包括：固定铁芯，固定于粗动载台且具有第一端面；线圈，缠绕于固定铁芯；以及可动铁芯，固定于微动载台且具有与第一端面相向的第二端面，从第一距离减去第二距离而得到的差值的最大值比正的规定值大，第一距离为从由微动载台保持的基板到第一端面中的离基板最远的位置的距离，第二距离为从由微动载台保持的基板到第二端面中的离基板最远的位置的距离。
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公开(公告)号：CN100470371C
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：CN200510062563.4
申请日：2005-03-29
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , G01B21/00
CPC classification number: G03F7/70775 , G03F7/70641 , G03F7/70733
Abstract: 由于基板载置台在曝光位置和处理位置之间移动后，必须在光轴方向进行查找等的基准对位，所以，曝光或处理的开始被推迟。为了解决该问题，本发明的曝光装置，包括；将图形在基板上曝光的曝光用光学系统；在离开前述曝光用光学系统的位置上、对前述基板进行规定的处理的基板处理系统；沿着与前述曝光用光学系统的光轴垂直的平面移动的基板载置台；以及，计测机构，该计测机构在前述基板载置台从前述基板处理系统下方向前述曝光用光学系统下方移动的期间内，在前述基板载置台的移动的整个范围内连续地计测前述基板载置台在前述光轴方向的位置。
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公开(公告)号：CN116974147A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310459709.7
申请日：2023-04-25
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供载台装置、转印装置以及物品制造方法。保持基板的载台装置包括：粗动载台；沿规定平面驱动上述粗动载台的粗动促动器；保持上述基板的微动载台；用于调整上述微动载台相对于上述粗动载台的位置以及姿势的微动促动器；以及用于以非接触方式将由上述粗动促动器提供给上述粗动载台的推力向上述微动载台传递的电磁促动器。上述电磁促动器包括：固定于上述微动载台的可动铁芯；固定于上述粗动载台的固定铁芯；以及缠绕在上述固定铁芯上的线圈。由上述微动载台保持的上述基板与上述线圈的最短距离大于上述基板与上述固定铁芯的最短距离。
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公开(公告)号：CN114999987A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210197923.5
申请日：2022-03-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供通过使内周侧的凸部与外周侧的凸部的高度成为规定的关系而能够减少基板的扭曲的卡盘、基板保持装置、基板处理装置及物品的制造方法。该卡盘是用于吸附保持基板的卡盘，其特征在于，该卡盘包括：多个凸部，与被吸附保持的基板的背面抵接；环状的隔壁；以及底部，配置有多个凸部和隔壁，多个凸部由将配置在隔壁的外侧的第一凸部和配置在隔壁的内侧且隔着隔壁与第一凸部相邻的位置的第二凸部形成为一个组的多个组构成，在将多个组各自所包含的第一凸部的高度设为ho、将多个组各自所包含的第二凸部的高度设为hi时，满足hi＞ho。
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