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公开(公告)号：CN102637705B
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201210027892.5
申请日：2012-02-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14687 , H01L27/14621 , H01L27/14623 , H01L27/14685
Abstract: 本发明涉及半导体器件制造方法。层间绝缘膜被设置在半导体衬底的图像拾取区域和外围区域上方。在层间绝缘膜中在覆盖光电转换部的位置形成开口。在半导体衬底的图像拾取区域和外围区域的上方形成波导构件。波导构件的设置在外围区域上方的部分被去除以使层间绝缘膜暴露。
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公开(公告)号：CN114497129A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111228861.1
申请日：2021-10-21
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/32
Abstract: 本发明涉及有机发光设备、显示设备、光电转换设备、电子器件、照明设备和移动物体。有机发光设备包括配置在基板上的子像素，子像素包括第一子像素、第二子像素和第三子像素，第一子像素、第二子像素和第三子像素依次包括下部电极、覆盖下部电极的端部的绝缘层、有机层和上部电极，有机层的至少一部分连续地配置在位于包含于第一子像素中的第一下部电极上的位置与包含于第二子像素中的第二下部电极上的位置之间、位于第二下部电极上的位置与包含于第三子像素中的第三下部电极上的位置之间以及位于第三下部电极上的位置与第一下部电极上的位置之间的区域中的至少两个区域，满足下面给出的式(1)和式(2)：λ1>λ2>λ3…(1)θ1
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公开(公告)号：CN107390473A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710344047.3
申请日：2017-05-16
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70775 , G03F7/0002 , G03F7/707 , G03F7/70716 , G03F7/70758
Abstract: 本发明提供一种定位装置、光刻装置及制造物品的方法。用于将可移动部在与第一方向和第二方向平行的面上移动的装置包括：单个导件，其用于约束可移动部在第二方向上的位置；以及驱动可移动部的驱动机构。可移动部包括：第一可移动构件，其能够在被导件导引的同时沿第一方向移动；第二可移动构件，其具有第一端及第二端，第一端经由旋转轴承而连接到第一可移动构件并且在所述面的上方移动，以及第三可移动构件，其能够在被第二可移动构件导引的同时在第一端与第二端之间的范围内移动。所述驱动机构包括：第一驱动器，其用于沿第一方向驱动第二可移动构件的第一端，以及第二驱动器，其用于沿第一方向驱动第二可移动构件的第二端。
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公开(公告)号：CN115148762A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210312669.9
申请日：2022-03-28
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 铃木健太郎
IPC: H01L27/32
Abstract: 发光装置、显示装置、摄像装置、光电转换装置和电子装置。根据本发明的发光装置在基板上包括布置有发光元件的元件区域和布置有与发光元件电连接的端子部的端子区域，其中发光元件从基板起依次具有反射层、第一绝缘层、第一电极、第二绝缘层、包括发光层的有机层、第二电极和第三绝缘层，端子部具有材料与反射层的材料相同的焊盘电极，焊盘电极具有暴露部，在暴露部处，位于远离基板的那侧的表面是暴露的，并且第三绝缘层从元件区域延伸到端子区域中的暴露部的边缘。
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公开(公告)号：CN106531753B
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201610805483.1
申请日：2016-09-06
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146
Abstract: 本发明涉及图像拾取装置和图像拾取装置的制造方法。该图像拾取装置具有其中布置像素的像素区域并且其中设置多层布线结构。各像素包含光电转换单元、电荷蓄积单元、浮置扩散、覆盖电荷蓄积单元并且在光电转换单元之上开口的遮光部分以及在平面图中至少部分地重叠遮光部分形成开口的部分的波导。该装置包括设置在光学波导下面的绝缘膜。该绝缘膜具有比层间绝缘膜的折射率高的折射率。该绝缘膜被设置为与到多层布线结构的布线层中的最下面的布线层相比更接近光电转换单元。该绝缘膜延伸到遮光部分之上的部分。绝缘膜比光学波导的下部宽。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106169490A
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201610328020.0
申请日：2016-05-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L21/70
CPC classification number: H01L27/14643 , H01L27/14603 , H01L27/1461 , H01L27/14612 , H01L27/14623 , H01L27/1463 , H01L27/14685 , H01L27/14689 , H04N5/374 , H01L27/146 , H01L27/14683
Abstract: 本发明涉及固态图像拾取装置及其制造方法和包括它的图像拾取系统。该固态图像拾取装置的制造方法包括：在形成第一传输晶体管的栅电极和第二传输晶体管的栅电极之后在基板之上形成第一绝缘膜；在第一绝缘膜上形成第二绝缘膜；通过以使得第一绝缘膜保持在光电转换单元的半导体区域和电荷保持单元的半导体区域上的方式蚀刻第二绝缘膜，通过第一绝缘膜，分别在第一和第二传输晶体管的栅电极的侧表面上形成第一结构和第二结构；和形成覆盖第一传输晶体管的栅电极、电荷保持单元的半导体区域和第二传输晶体管的栅电极的遮光膜。
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公开(公告)号：CN105244358A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201510549978.8
申请日：2012-02-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14685 , H01L27/14629 , H01L27/14632 , H01L27/14641 , H01L27/14687 , H01L27/14689
Abstract: 本发明涉及一种固态图像拾取装置、其制造方法和图像拾取系统。提供一种用于制造固态图像拾取装置的方法。所述图像拾取装置包括光电转换部分、在光电转换部分之上的第一绝缘膜、在第一绝缘膜上的第二绝缘膜、以及波导，所述光电转换部分设置在半导体衬底上，所述第一绝缘膜用作抗反射膜，所述第二绝缘膜与所述光电转换部分对应地设置，所述波导具有包层和芯，所述芯的底部设置在第二绝缘膜上。所述方法包括通过各向异性蚀刻设置在光电转换部分之上的部件的一部分来形成开口，从而形成包层，并在所述开口中形成芯。在所述方法中，在第二绝缘膜的蚀刻速率低于所述部件的蚀刻速率的条件下执行所述蚀刻。
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公开(公告)号：CN102637708A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210027929.4
申请日：2012-02-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14685 , H01L27/14629 , H01L27/14632 , H01L27/14641 , H01L27/14687 , H01L27/14689
Abstract: 本发明涉及一种固态图像拾取装置、其制造方法和图像拾取系统。提供一种用于制造固态图像拾取装置的方法。所述图像拾取装置包括光电转换部分、在光电转换部分之上的第一绝缘膜、在第一绝缘膜上的第二绝缘膜、以及波导，所述光电转换部分设置在半导体衬底上，所述第一绝缘膜用作抗反射膜，所述第二绝缘膜与所述光电转换部分对应地设置，所述波导具有包层和芯，所述芯的底部设置在第二绝缘膜上。所述方法包括通过各向异性蚀刻设置在光电转换部分之上的部件的一部分来形成开口，从而形成包层，并在所述开口中形成芯。在所述方法中，在第二绝缘膜的蚀刻速率低于所述部件的蚀刻速率的条件下执行所述蚀刻。
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公开(公告)号：CN105244358B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201510549978.8
申请日：2012-02-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146
Abstract: 本发明涉及一种固态图像拾取装置、其制造方法和图像拾取系统。提供一种用于制造固态图像拾取装置的方法。所述图像拾取装置包括光电转换部分、在光电转换部分之上的第一绝缘膜、在第一绝缘膜上的第二绝缘膜、以及波导，所述光电转换部分设置在半导体衬底上，所述第一绝缘膜用作抗反射膜，所述第二绝缘膜与所述光电转换部分对应地设置，所述波导具有包层和芯，所述芯的底部设置在第二绝缘膜上。所述方法包括通过各向异性蚀刻设置在光电转换部分之上的部件的一部分来形成开口，从而形成包层，并在所述开口中形成芯。在所述方法中，在第二绝缘膜的蚀刻速率低于所述部件的蚀刻速率的条件下执行所述蚀刻。
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公开(公告)号：CN108074945A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201711118602.7
申请日：2017-11-14
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14818 , H01L21/8238 , H01L27/14623 , H01L27/14643 , H01L27/14685 , H01L27/14689
Abstract: 一种固态成像设备、成像系统和用于制造固态成像设备的方法。该固态成像设备包括：遮光层，部署在像素区域和外围区域中并且在外围区域中的接触部分处电连接到基板，其中像素区域包含像素，像素包括光电转换元件和电荷保持部分，并且来自像素的信号在外围区域中被处理；第一绝缘层，在平面图中具有在电荷保持部分和接触部分之间的侧表面，并且部署在基板和遮光层之间；以及第一绝缘构件，部署在第一绝缘层的端部的侧表面上并且缓冲由于该端部引起的台阶。在平面图中遮光层的与第一绝缘构件重叠的部分的上表面的形状遵循第一绝缘构件的形状。
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