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公开(公告)号：CN116978656A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310477894.2
申请日：2023-04-28
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及电磁装置、对准设备和物品制造方法。电磁装置包括具有第一端面的第一构件、具有通过气隙面向第一端面的第二端面的第二构件、以及缠绕在第一构件和第二构件之一周围的线圈。第一构件和第二构件中的每一个都由多个钢板的层叠体形成，并且由第一构件和第二构件形成的磁路包括变化部分，在该变化部分处，层叠体的层叠方向以直角变化，以沿着多个钢板中的每一个的平面方向产生磁通量。
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公开(公告)号：CN116974147A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310459709.7
申请日：2023-04-25
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供载台装置、转印装置以及物品制造方法。保持基板的载台装置包括：粗动载台；沿规定平面驱动上述粗动载台的粗动促动器；保持上述基板的微动载台；用于调整上述微动载台相对于上述粗动载台的位置以及姿势的微动促动器；以及用于以非接触方式将由上述粗动促动器提供给上述粗动载台的推力向上述微动载台传递的电磁促动器。上述电磁促动器包括：固定于上述微动载台的可动铁芯；固定于上述粗动载台的固定铁芯；以及缠绕在上述固定铁芯上的线圈。由上述微动载台保持的上述基板与上述线圈的最短距离大于上述基板与上述固定铁芯的最短距离。
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公开(公告)号：CN116974146A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310456559.4
申请日：2023-04-25
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供载台装置、转印装置及物品制造方法。保持基板的载台装置包括：粗动载台；沿规定平面驱动粗动载台的粗动致动器；微动载台，保持基板；微动致动器，调整微动载台相对于粗动载台的位置和姿势；以及电磁致动器，以非接触方式将由粗动致动器提供给粗动载台的推力向微动载台传递，电磁致动器包括：固定铁芯，固定于粗动载台且具有第一端面；线圈，缠绕于固定铁芯；以及可动铁芯，固定于微动载台且具有与第一端面相向的第二端面，从第一距离减去第二距离而得到的差值的最大值比正的规定值大，第一距离为从由微动载台保持的基板到第一端面中的离基板最远的位置的距离，第二距离为从由微动载台保持的基板到第二端面中的离基板最远的位置的距离。
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