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公开(公告)号：CN118824930A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410451759.5
申请日：2024-04-16
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供基板支承构件、基板支承构件的制造方法、基板处理装置以及物品的制造方法。基板支承构件用于支承基板，其特征在于，具有：支承上述基板的多个凸部；以及用于在上述多个凸部支承着上述基板时在上述基板的被上述多个凸部支承着的面侧形成减压空间的密封部，上述多个凸部在各自的上端部具有膜，上述密封部在上述密封部的上端部不具有膜或者具有比上述多个凸部所具有的上述膜薄的膜。
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公开(公告)号：CN102081172B
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201010565702.6
申请日：2010-11-26
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G02B1/113 , G02B1/12 , G02B2207/107 , Y10T428/24997
Abstract: 以低成本制备包括低折射率膜的光学器件。为了实现该目的，在包括将低折射率膜和高折射率膜交替层叠的多层膜的光学器件的制备方法中，通过使用靶单元的溅射沉积系统在基材上形成多孔膜。将该多孔膜浸入液体中以降低该膜的折射率。通过以简单的步骤形成折射率比以往使用的膜低的低折射率膜，能够以低成本得到高质量光学器件。
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公开(公告)号：CN102081172A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN201010565702.6
申请日：2010-11-26
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G02B1/113 , G02B1/12 , G02B2207/107 , Y10T428/24997
Abstract: 以低成本制备包括低折射率膜的光学器件。为了实现该目的，在包括将低折射率膜和高折射率膜交替层叠的多层膜的光学器件的制备方法中，通过使用靶单元的溅射沉积系统在基材上形成多孔膜。将该多孔膜浸入液体中以降低该膜的折射率。通过以简单的步骤形成折射率比以往使用的膜低的低折射率膜，能够以低成本得到高质量光学器件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114488359A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111258948.3
申请日：2021-10-28
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 公开了光学组件和光学装置。光学组件包括：基底；以及多层膜，包括位于基底上的第一层组以及位于第一层组与基底之间的第二层组。第二层组包括交替堆叠的第一电介质层和第二电介质层，第一层组包括交替堆叠的第三电介质层和第四电介质层。第一电介质层具有比第二电介质层高的折射率，并且第三电介质层具有比第四电介质层高的折射率。
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公开(公告)号：CN119704042A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411329155.X
申请日：2024-09-24
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 海绵状多孔体、抛磨垫、液体吸收垫、清洁海绵、栽培海绵以及海绵状多孔体的制造方法。提供了一种海绵状多孔体，其为弹性和柔性的多孔体，该海绵状多孔体从前表面部到内部具有亲水性能。该海绵状多孔体具有带孔的基材，其中在从前表面部到后表面部的厚度方向上在海绵状多孔体厚度的0％深度至20％以上深度的区域中，所述孔的内壁具有亲水性膜。
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公开(公告)号：CN114488359B
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202111258948.3
申请日：2021-10-28
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 公开了光学组件和光学装置。光学组件包括：基底；以及多层膜，包括位于基底上的第一层组以及位于第一层组与基底之间的第二层组。第二层组包括交替堆叠的第一电介质层和第二电介质层，第一层组包括交替堆叠的第三电介质层和第四电介质层。第一电介质层具有比第二电介质层高的折射率，并且第三电介质层具有比第四电介质层高的折射率。
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