公开(公告)号：CN114660688B

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202210301592.5

申请日：2019-10-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 寺田顺司 ,  吉川俊明 ,  荒井一浩 ,  中井法行 ,  龟野优 ,  高地美和

IPC: G02B3/06 ,  G02B3/08 ,  H04N1/04

Abstract: 复曲面透镜、光学元件和图像形成设备。在包括具有微细凹凸结构的复曲面的复曲面透镜中，微细凹凸结构包括多个孔，多个孔具有孔深度H和表面开口直径φt，孔深度H和表面开口直径φt满足表达式0.3≤H/φt≤0.6，并且(a)多个孔具有靠近底面的圆柱形状和远离底面的圆锥台形状，该圆锥台形状的直径朝向复曲面的顶面逐渐增大，或者(b)在复曲面的顶面与该多个孔的侧面之间的角度θ满足78°≤θ≤85°。

公开(公告)号：CN114660688A

公开(公告)日：2022-06-24

申请号：CN202210301592.5

申请日：2019-10-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 寺田顺司 ,  吉川俊明 ,  荒井一浩 ,  中井法行 ,  龟野优 ,  高地美和

IPC: G02B3/06 ,  G02B3/08 ,  H04N1/04

Abstract: 复曲面透镜、光学元件和图像形成设备。在包括具有微细凹凸结构的复曲面的复曲面透镜中，微细凹凸结构包括多个孔，多个孔具有孔深度H和表面开口直径φt，孔深度H和表面开口直径φt满足表达式0.3≤H/φt≤0.6，并且(a)多个孔具有靠近底面的圆柱形状和远离底面的圆锥台形状，该圆锥台形状的直径朝向复曲面的顶面逐渐增大，或者(b)在复曲面的顶面与该多个孔的侧面之间的角度θ满足78°≤θ≤85°。

公开(公告)号：CN111060998A

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201910968836.3

申请日：2019-10-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 寺田顺司 ,  吉川俊明 ,  荒井一浩 ,  中井法行 ,  龟野优 ,  高地美和

IPC: G02B3/06 ,  G02B3/08 ,  H04N1/04

Abstract: 复曲面透镜、光学元件和图像形成设备。在包括具有微细凹凸结构的复曲面的复曲面透镜中，微细凹凸结构包括多个孔，多个孔具有孔深度H和表面开口直径 孔深度H和表面开口直径 满足表达式并且(a)多个孔具有靠近底面的圆柱形状和远离底面的圆锥台形状，该圆锥台形状的直径朝向复曲面的顶面逐渐增大，或者(b)在复曲面的顶面与该多个孔的侧面之间的角度θ满足78°≤θ≤85°。

公开(公告)号：CN102037386B

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN200980118836.9

申请日：2009-05-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 岩片政秀 ,  荒井一浩 ,  寺田顺司

IPC: G02B5/30

CPC classification number: G02B5/3025 ,  B29D11/00365 ,  B29D11/00634 ,  B29D11/0073 ,  G02B5/1809 ,  G02B5/1857

Abstract: 提供一种光学元件的制造方法，该方法包括：在基板上形成框架部分并在被框架部分包围的空间部分中形成结构体，以由此形成第一光学部件；在减压环境中，在第一光学部件上设置第二光学部件，以形成在减压状态下密封空间部分的光学元件；以及将光学元件暴露于大气中，由此通过大气和在减压状态下被密封的空间部分之间的差压来使结构体和第二光学部件相互紧密接触。因此，能够在接合光学元件时抑制光学元件在接合中的损坏并进一步在不使用粘接剂的情况下提高光学元件的功能和强度。

公开(公告)号：CN102037386A

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN200980118836.9

申请日：2009-05-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 岩片政秀 ,  荒井一浩 ,  寺田顺司

IPC: G02B5/30

CPC classification number: G02B5/3025 ,  B29D11/00365 ,  B29D11/00634 ,  B29D11/0073 ,  G02B5/1809 ,  G02B5/1857

Abstract: 提供一种光学元件的制造方法，该方法包括：在基板上形成框架部分并在被框架部分包围的空间部分中形成结构体，以由此形成第一光学部件；在减压环境中，在第一光学部件上设置第二光学部件，以形成在减压状态下密封空间部分的光学元件；以及将光学元件暴露于大气中，由此通过大气和在减压状态下被密封的空间部分之间的差压来使结构体和第二光学部件相互紧密接触。因此，能够在接合光学元件时抑制光学元件在接合中的损坏并进一步在不使用粘接剂的情况下提高光学元件的功能和强度。

公开(公告)号：CN100449336C

公开(公告)日：2009-01-07

申请号：CN200710085082.4

申请日：2007-02-28

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 坂本淳一 ,  寺田順司 ,  中井法行 ,  荒井一浩

IPC: G02B5/30 ,  G02B5/04 ,  G02B5/00 ,  G03F7/20 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明提供了一种具有三维结构的光学元件以及一种制造该光学元件的方法，该光学元件可以在可见范围内工作，并且可以提高该元件的结构界面处的粘附力。包括衬底以及该衬底上的至少第一层和第二层的光学元件被制造为使得第一层和第二层中的每一个都具有空间和结构部件的重复结构，该重复结构的节距小于或等于可见光的波长，并且在第一层和第二层的界面处，提供重叠结构，其中第一层的重复结构和第二层的重复结构在这些层的堆叠方向上重叠。

公开(公告)号：CN114563925A

公开(公告)日：2022-05-31

申请号：CN202111417544.4

申请日：2021-11-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 荒井一浩 ,  福井慎次 ,  龙野俊直

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及基板保持板和曝光装置。基板保持板具有基板保持表面。基板保持板包括：基部；和突起，所述突起相对于基部设置在基板保持表面侧并且支撑基板。至少突起的最上表面是粗糙表面。基部或突起具有第一部分。突起具有硬度比第一部分的硬度高的第二部分。第二部分设置在与粗糙表面的顶部相距距离D的范围内。距离D小于该顶部和与该顶部相邻的底部之间的高度差H。

公开(公告)号：CN111060998B

公开(公告)日：2022-03-25

申请号：CN201910968836.3

申请日：2019-10-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 寺田顺司 ,  吉川俊明 ,  荒井一浩 ,  中井法行 ,  龟野优 ,  高地美和

IPC: G02B3/06 ,  G02B3/08 ,  H04N1/04

Abstract: 复曲面透镜、光学元件和图像形成设备。在包括具有微细凹凸结构的复曲面的复曲面透镜中，微细凹凸结构包括多个孔，多个孔具有孔深度H和表面开口直径孔深度H和表面开口直径满足表达式并且(a)多个孔具有靠近底面的圆柱形状和远离底面的圆锥台形状，该圆锥台形状的直径朝向复曲面的顶面逐渐增大，或者(b)在复曲面的顶面与该多个孔的侧面之间的角度θ满足78°≤θ≤85°。

公开(公告)号：CN101029949A

公开(公告)日：2007-09-05

申请号：CN200710085082.4

申请日：2007-02-28

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 坂本淳一 ,  寺田順司 ,  中井法行 ,  荒井一浩

IPC: G02B5/30 ,  G02B5/04 ,  G02B5/00 ,  G03F7/20 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明提供了一种具有三维结构的光学元件以及一种制造该光学元件的方法，该光学元件可以在可见范围内工作，并且可以提高该元件的结构界面处的粘附力。包括衬底以及该衬底上的至少第一层和第二层的光学元件被制造为使得第一层和第二层中的每一个都具有空间和结构部件的重复结构，该重复结构的节距小于或等于可见光的波长，并且在第一层和第二层的界面处，提供重叠结构，其中第一层的重复结构和第二层的重复结构在这些层的堆叠方向上重叠。