一种三维柔性神经微电极及制作方法

    公开(公告)号:CN101172184B

    公开(公告)日:2010-09-01

    申请号:CN200710046885.9

    申请日:2007-10-10

    Abstract: 本发明公开了一种三维柔性神经微电极及其制作方法,该微电极利用柔性聚合物作为基底材料,通过金属种子层的环状图案设计,进行递进式电镀,形成具有圆滑三维凸起特征的电极位点结构,该结构既可保证电极位点与神经细胞的良好接触,同时又可避免现有三维神经微电极中凸起电极位点的锐利棱角对神经组织的损伤。另外,在电镀过程中通过复合电镀工艺,即电镀液中添加纳米级分散剂,使电极表面形成亚微米级的微孔结构,增加电极位点的表面积,从而增强电极的电流输出能力,保证神经微电极在生物安全性条件限制下的有效刺激。本发明提供的三维柔性神经微电极可广泛应用于神经疾病治疗、神经康复、神经生物学基础研究等领域。

    一种集成药剂释放功能的植入式微电极、制作方法及应用

    公开(公告)号:CN100591391C

    公开(公告)日:2010-02-24

    申请号:CN200610029533.8

    申请日:2006-07-28

    Abstract: 本发明公开了一种集成药剂释放功能的植入式微电极、制作方法及应用,所述的微电极包含功能区域、连线区域和焊接点区域。功能区域同时包含有可实现电刺激或电记录的金属位点结构和实现药剂释放的微池。微电极上金属位点结构和焊接点区域焊接电极之间的连线结构则由基底材料和一层绝缘材料包夹而与外界隔离;微池结构包含至少一个开口,每个开口以纳米孔膜覆盖,并以一层生物可降解聚合物膜密封;微池结构中加工有至少一个对酸性敏感的水凝胶微柱结构,微电极植入体内后通过水凝胶与生理体液接触发生膨胀,将微池中的药剂挤出,达到体内药剂自动释放的目的。用于截断外周神经再生或用作神经假体中的神经——电子接口器件。

    一种高密度植入式平面阵列微电极及制作方法

    公开(公告)号:CN100563748C

    公开(公告)日:2009-12-02

    申请号:CN200710040830.7

    申请日:2007-05-18

    Abstract: 本发明公开了一种高密度植入式平面阵列微电极及其制作方法,其特征在于所述的阵列微电极利用聚合物作为绝缘层材料,通过隔层布线的设计,将电极刺激位点或记录位点与其连接导线分布在不同的绝缘层之间,并在隔离绝缘层上制作通孔结构,由电镀工艺在通孔中形成金属连接结构,实现位于隔离绝缘层上下电极刺激位点或记录位点与其连接导线的连接;其中电镀工艺后,采用化学抛光的方法对上层表面进行抛光,保证电镀金属柱与上层溅射金属层良好的电连接。本发明提供的制作方法可以在单位面积上制作比常规单层布线设计更高密度的阵列微电极,实现植入式阵列微电极更高选择性刺激或记录。

    一种基于聚合物基底的凸起电极、制作方法及应用

    公开(公告)号:CN100461981C

    公开(公告)日:2009-02-11

    申请号:CN200610026292.1

    申请日:2006-04-29

    Abstract: 本发明公开了一种基于聚合物基底的凸起电极、制备方法及应用,其特征在于采用具有生物相容性和柔性聚合物作为基底材料和加工凸起电极结构,保证电极的刺激点与神经的充分接触,改善神经电刺激和神经信号记录的效果。本发明以各向异性湿法腐蚀硅片制作模具,氧化硅片模具表面形成二氧化硅作为牺牲层,通过剥离、注胶、释放牺牲层得到凸起聚合物微电极(见摘要附图)。本发明提供的基于聚合物基底的凸起电极制备方法具有与传统的微机电(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)加工工艺兼容、可标准化大批量制作的特点。本发明制作的电极可广泛应用于神经康复、神经生物学等领域。

    一种基于微孔阵列芯片的单细胞基因检测方法

    公开(公告)号:CN109536590B

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN201811427223.0

    申请日:2018-11-27

    Abstract: 本发明提供一种基于微孔阵列芯片的单细胞基因检测方法,包括以下步骤:1)提供一种包含若干微孔单元的微孔阵列芯片;2)将细胞悬液滴加于微孔阵列芯片上,通过离心实现单细胞在单个微孔单元中的定位;3)在微孔阵列芯片上粘贴PCR封装膜,进行第一次封装,离心,高温加热,揭掉PCR封装膜;4)在微孔阵列芯片上滴加PCR预混液,采用聚丙烯双面胶膜粘贴微孔阵列芯片,离心,将玻璃盖板与聚丙烯双面胶膜上层贴合,实现第二次封装;以及5)将第二次封装完成的微孔阵列芯片放置于PCR原位仪上进行PCR,反应结束后,显微镜下观察荧光信号,分析单细胞基因表达水平。根据本发明提供的方法实现了单细胞水平的高通量、一体化和快速检测。

    一种离心式液滴微流控芯片

    公开(公告)号:CN109225362A

    公开(公告)日:2019-01-18

    申请号:CN201811002108.9

    申请日:2018-08-30

    Abstract: 本发明涉及一种离心式液滴微流控芯片,其包括:一基片以及一安装在该基片上的盖片,所述盖片包括:一油相储存腔;一水相储存腔;一与所述油相储存腔和所述水相储存腔相连的液滴生成结构;以及一与所述液滴生成结构相连并设有至少一个储油结构的液滴储存腔,所述储油结构具有至少一开口;其中,所述油相储存腔和水相储存腔距离所述离心轴的距离小于所述液滴储存腔距离所述离心轴的距离。本发明通过储油结构,调节降低了平均分散相分数,提高了液滴稳定性,保证了离心力芯片中液滴在储存及加热过程中不发生融合,使该芯片在生物、化学、医疗诊断等研究应用领域具有广泛的应用价值。

    一种基于PDMS的柔性植入式神经微电极及制作方法

    公开(公告)号:CN101912666B

    公开(公告)日:2014-12-03

    申请号:CN201010256117.8

    申请日:2010-08-18

    Abstract: 本发明公开了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)的柔性植入式神经微电极及制作方法,其特征在于所述的电极以具有良好生物相容性和机械弹性的PDMS作为神经微电极的基底材料,通过电镀、PDMS注模和键合工艺,制作形成包含一个电极位点区域、一个连接线区域、一个焊接点区域和一个微管道区域的植入式柔性神经微电极。其中电极位点、连接线和焊接点结构由电镀金属层形成,增强了PDMS微电极金属结构的抗拉伸性能和可靠性;电极上集成的微管道则可用于灌注含药物或神经生长因子的可固化液体材料,以改善PDMS神经微电极手术植入的可操控性和植入后的生物相容性。同时,本发明提供的PDMS微电极制备方法具有工艺简单、成本低以及可标准化大批量制作的特点。

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