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公开(公告)号:CN103394380A
公开(公告)日:2013-11-20
申请号:CN201310329986.2
申请日:2013-07-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明公开了一种高通量微量液体样品分配装置,所述装置包含一组并行排列的毛细管阵列、一个毛细管阵列固定架和一个与毛细管阵列对应的储液器,所述的装置通过毛细作用同时实现多个液体样品的自动高通量微量吸取,然后通过使毛细管下端接触具有强毛细作用的基片或者压缩毛细管上端空气或者对毛细管下端实施负压抽吸,将各毛细管中液体转移至液样接受基片、微孔板或微流体芯片中,完成液体样品的高通量分配。其中所分配液体样品的体积由毛细管内径和长度决定。所述方法和装置可实现极微量样品高通量、精确、快速分配,可应用于化学或生物大批量检测和筛选实验,大大节省人力和时间,提高实验效率。
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公开(公告)号:CN101585507B
公开(公告)日:2013-07-03
申请号:CN200910053593.7
申请日:2009-06-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种PDMS微流控芯片中通孔结构的制作方法,其特征在于利用磁性力的辅助,将微柱或微管固定于芯片模具上拟制作通孔结构的位置,然后通过整体浇注PDMS预聚物,并固化键合,制作出具有高深宽比通孔结构的PDMS微流控芯片。本发明提供的微流控芯片成形与通孔制作一次完成,简化了微流控芯片制作工艺,而且通过微柱或微管与芯片模具固定,实施整体浇注,提高了通孔制作的精确度,保证了通孔形状的规整性,避免了形成通孔孔形不规则、损坏微管道结构等问题。另外,微磁柱排布利用预制模具镶嵌固定,还可以提高通孔制作密度,实现批量化加工制作。
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公开(公告)号:CN102495119A
公开(公告)日:2012-06-13
申请号:CN201110379312.4
申请日:2011-11-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N27/333 , G01K7/16 , B81B7/04 , B81C1/00
Abstract: 本发明涉及一种多参数水质监测集成微阵列电极及制备方法,其特征在于所述的微阵列电极制作在氧化硅片上。该阵列电极衬底为Pt薄膜,光敏性聚酰亚胺为绝缘层,光刻将电极位点裸露出来,其他部分绝缘;采用电化学修饰的方法在裸露电极上电沉积Ag/AgCl和IrOx薄膜分别形成参比电极和pH测试电极,以实现对温度、氧化还原电位、电导率和pH的测定。制作包括微阵列电极的制作,Ag/AgCl参比电极的制备以及pH电极的制备。本发明所述微电极便于集成化和微型化。
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公开(公告)号:CN101659391B
公开(公告)日:2011-12-28
申请号:CN200910195109.4
申请日:2009-09-04
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种圆滑曲面微结构的制作方法,其特征在于所述的方法以负性化学放大光刻胶(chemically amplified photoresist)为圆滑曲面微结构的制作材料,首先在基片上旋涂第一层负性化学放大光刻胶,并软烘、曝光,然后直接在第一层负性化学放大光刻胶上旋涂第二层负性化学放大光刻胶,并进行后烘;利用后烘过程中第一层光刻胶曝光后产生的光酸各向同性扩散,催化曝光区域及其相邻扩散区域光刻胶分子交联,显影后制得具有圆滑曲面特征的微结构。本发明提出的圆滑曲面微结构的制作方法相对于传统的灰阶掩膜技术和光刻胶回流方法,具有加工简便、成本低廉、结构稳固等特点。
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公开(公告)号:CN101950126A
公开(公告)日:2011-01-19
申请号:CN201010275953.0
申请日:2010-09-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于SU-8厚光刻胶的三维圆滑曲面微结构的制作方法,其特征在于所述的方法以聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)压模技术结合未交联SU-8光刻胶的回流特性制作具有圆滑曲面特征的微结构。首先通过光刻工艺制作SU-8原模,并以此原模浇注PDMS形成母模,然后利用压模技术将此PDMS母模转制成SU-8阳模,剥离PDMS模具后,将此未经曝光交联反应的SU-8阳模置于高温(55℃~120℃)环境下回流,形成具有圆滑曲面特征的三维微结构。本发明提出的圆滑曲面微结构的制作方法相对于传统的灰阶掩膜技术、发散光曝光技术和正性光刻胶回流方法,具有加工简便、成本低廉、结构稳固、结构曲率范围更大等特点。
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公开(公告)号:CN101158694A
公开(公告)日:2008-04-09
申请号:CN200710046238.8
申请日:2007-09-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N35/00
Abstract: 本发明涉及了一种集成微孔膜的微流控芯片的制备方法,其特征是:首先在一基片上制作微流体管道或腔体,并在另一基片上制作可以与该基片微管道或腔体嵌合的模具,然后在嵌合了模具的微流体管道或腔体中浇注凝胶溶液,利用模具图形的限定,使得凝胶聚合后在微流体管道或腔体中特定区域形成集成的微孔膜结构,最后除去模具,并将微流体管道或腔体基片与一平整基片键合制得集成微孔膜的微流控芯片。本发明具有制作过程简单、成本低廉的特点,所制作的微流控芯片可实现芯片上样品制备功能的集成,尤其适于微量生物样品的过滤、富集和透析等在片操作,可应用于复杂样品的在线、快速、高灵敏度分析检测。
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公开(公告)号:CN101148324A
公开(公告)日:2008-03-26
申请号:CN200710045997.2
申请日:2007-09-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于ITO玻璃基底的细胞培养芯片的制备方法及其应用,制备:以ITO玻璃为基质材料;在ITO玻璃未溅射ITO薄膜的一侧甩涂AZ4620光刻胶,曝光、显影;将PDMS单体、固化剂混合,浇注在ITO薄膜一侧,加热固化;将ITO玻璃置于腐蚀液中,刻蚀;剥离ITO薄膜上的PDMS;制备PDMS薄膜;PDMS薄膜和已刻蚀微管道的ITO玻璃在氧等离子体作用下键合得到细胞培养芯片;再在ITO玻璃未键合PDMS薄膜的一侧连入外部温度控制系统。该芯片克服PDMS芯片的疏水性问题和玻璃材质芯片的加工工艺复杂问题,并且便于直接控制芯片温度,可应用于细胞迁移、细胞分化、细胞之间相互作用研究。
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公开(公告)号:CN103394380B
公开(公告)日:2016-05-25
申请号:CN201310329986.2
申请日:2013-07-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明公开了一种高通量微量液体样品分配装置,所述装置包含一组并行排列的毛细管阵列、一个毛细管阵列固定架和一个与毛细管阵列对应的储液器,所述的装置通过毛细作用同时实现多个液体样品的自动高通量微量吸取,然后通过使毛细管下端接触具有强毛细作用的基片或者压缩毛细管上端空气或者对毛细管下端实施负压抽吸,将各毛细管中液体转移至液样接受基片、微孔板或微流体芯片中,完成液体样品的高通量分配。其中所分配液体样品的体积由毛细管内径和长度决定。所述方法和装置可实现极微量样品高通量、精确、快速分配,可应用于化学或生物大批量检测和筛选实验,大大节省人力和时间,提高实验效率。
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公开(公告)号:CN103058131B
公开(公告)日:2015-09-16
申请号:CN201210556630.8
申请日:2012-12-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B81C3/00
Abstract: 本发明公开了一种高强度可逆键合微流控芯片的制作方法,所述方法首先利用牺牲层模具制作集成微管道结构的PDMS薄膜,并将PDMS薄膜结构面与一预先打孔的硬质基片对准贴合,然后将另一预先旋涂PDMS预聚体和固化剂混合液的硬质基片贴附于PDMS薄膜背面,并固化,制作完成完全无缝贴合的基片-PDMS-基片夹心式微流控芯片。最后,通过夹具从上下两面夹持夹心式微流控芯片的两片硬质基片,增强夹心式微流控芯片微管道结构耐受外加压强的能力。基于本发明制作的组合夹具的夹心式微流控芯片同时具备了可逆组装和抗高压的优势,大大地拓展了可逆键合微流控芯片的应用范围,降低了微流控芯片的应用成本。
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公开(公告)号:CN102418684B
公开(公告)日:2015-08-26
申请号:CN201110238664.8
申请日:2011-08-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: F04B19/00
Abstract: 本发明涉及一种模块化组装式微泵、使用方法及应用,所述的微泵为一种单向、一次性、气压驱动泵,它是由集成微管道网络或微孔结构的脱气PDMS(聚二甲基硅氧烷)块体组成。该微泵利用脱气后PDMS材料对气体的高溶解特性,将脱气的PDMS泵体贴附于微流体芯片出口,同时在微流体芯片进样口滴加液样,使微流体芯片管道形成封闭空间,由于脱气的PDMS块体吸收此封闭空间中的空气,导致微管道中,形成负压,从而驱动进样口液样进入微流体芯片管道。该微泵无需外接能源和特殊接口,无机械运动部件,同时可根据微流体驱动的压强需求灵活组装和更换,适用于便携式微生化反应器和芯片实验室。
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