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公开(公告)号：CN105628011A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201510784514.5
申请日：2015-11-16
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5733 , B81B3/0051 , B81B3/0062 , G01P15/097 , G01P2015/0822 , G01P2015/084 , G01C19/56
Abstract: 提供一种角速度传感器，所述角速度传感器包括：第一框架内的第一质量体和第二质量体；第一柔性连接器系统，将所述第一质量体和所述第二质量体连接至所述第一框架，并包括检测所述第一质量体和所述第二质量体的位移的至少一个传感器；第二柔性连接器系统，将所述第一框架连接至被设置为与所述第一框架分开的第二框架，并包括驱动器，以驱动所述第一框架相对于第二框架的运动，从而可基于所述第一质量体和所述第二质量体能够在第一轴方向旋转且能够在第二轴方向平移，并基于所述第一框架柔性连接至所述第二框架以使所述第一框架在第三轴方向产生角位移来测量角速度。
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公开(公告)号：CN118826684A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410461458.0
申请日：2024-04-17
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 体声波谐振器包括谐振部分，谐振部分包括第一电极、沿着高度方向设置在第一电极上的压电层和沿着高度方向设置在压电层上的第二电极。谐振部分包括其中第一电极、压电层和第二电极沿着高度方向彼此重叠的重叠区域。重叠区域包括中央部分和设置在中央部分外侧并且包括第一边缘部分和第二边缘部分的边缘部分。沿着高度方向，第一边缘部分的第二电极的高度和第二边缘部分的第二电极的高度低于中央部分的第二电极的高度，并且沿着高度方向，第一边缘部分的第二电极的高度和第二边缘部分的第二电极的高度彼此不同。
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公开(公告)号：CN114793099A9
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202110801186.0
申请日：2021-07-15
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/02
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：第一电极，设置在基板的上侧上；压电层，设置在所述第一电极的上表面上；以及第二电极，设置在所述压电层的上表面上，其中，所述第一电极和所述第二电极中的至少一个的上表面具有凹入区，其中，所述凹入区的深度为D，所述凹入区的宽度为W，并且谐振频率为F，并且ln为自然对数，并且其中，[{ln(D×W)}/(-0.59×F)]大于等于[[ln{0.008(μm)2}]/{-0.59×(3.5GHz)}]且小于等于[[ln{0.022(μm)2}]/{-0.59×(3.5GHz)}]。
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公开(公告)号：CN111327290B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN201910584478.6
申请日：2019-07-01
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及其制造方法，所述声波谐振器包括：基板；谐振部，包括在所述基板上顺序地堆叠有第一电极、压电层和第二电极的中央部和沿着所述中央部的外周设置的延伸部；以及第一金属层，设置在所述谐振部的外部，以电连接到所述第一电极。所述延伸部包括下插入层，所述下插入层设置在所述第一电极的上表面或所述第一电极的下表面上。所述压电层包括压电部和弯曲部，所述压电部设置在所述中央部中，所述弯曲部设置在所述延伸部中并且根据所述下插入层的形状而倾斜地从所述压电部延伸。所述下插入层利用导电材料形成，以使所述第一电极与所述第一金属层之间的电路径延伸。
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公开(公告)号：CN115483903A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202111550566.8
申请日：2021-12-17
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/02
Abstract: 提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括基板、设置在所述基板上的第一电极、设置成覆盖所述第一电极的至少一部分的压电层、以及设置成覆盖所述压电层的至少一部分的第二电极，其中，所述压电层包括中间层、设置在所述中间层上的第一层和设置在所述中间层下方的第二层，所述第一层和所述第二层相对于所述中间层的中心线穿过的平面在厚度方向上对称，并且所述中间层的厚度大于所述第一层和所述第二层中的每个的厚度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108123695B
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN201711211798.4
申请日：2017-11-28
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：膜层，与基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的一部分。所述压电层的侧部的整个区域暴露于空气。所述压电层的所述侧部相对于所述下电极的顶表面具有65°到90°的倾斜度。
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公开(公告)号：CN107947751B
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN201710940292.0
申请日：2017-10-11
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器及其制造方法，所述体声波谐振器包括：膜层，设置在基板上并且形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极上；上电极，设置在所述压电层上，并且包括框架部，所述框架部设置在有效区域的边缘处并且具有比所述上电极的设置在所述有效区域的中央部分中的部分的厚度大的厚度；及频率调节层，设置在所述压电层和所述上电极上。所述频率调节层从所述框架部的倾斜表面被去除，或所述频率调节层的在所述倾斜表面上的部分的厚度小于所述频率调节层的其他部分的厚度。所述频率调节层设置在所述压电层的从所述上电极突出的部分上。
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公开(公告)号：CN113497599A
公开(公告)日：2021-10-12
申请号：CN202011082734.0
申请日：2020-10-12
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供了一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：第一电极，设置在基板上方；压电层，设置为覆盖所述第一电极的至少一部分；以及第二电极，设置为覆盖所述压电层的至少一部分。在所述第一电极、所述压电层和所述第二电极全部设置为彼此叠置的有效区域中，在所述第一电极、所述压电层和所述第二电极中的任意一个或者任意两个或更多个的任意组合中形成至少一个台阶。
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公开(公告)号：CN113497598A
公开(公告)日：2021-10-12
申请号：CN202011022362.2
申请日：2020-09-25
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器和体声波滤波器装置，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，覆盖所述第一电极的至少一部分；以及第二电极，覆盖所述压电层的至少一部分。当从上方观察所述第一电极和所述第二电极彼此叠置的有效区域时，在由所述有效区域形成的多边形的至少三个顶点接触的矩形的四条边中，最长的边定义为边B，并且连接到边B的边定义为边A，并且高宽比(边B/边A)为1.3至3。
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