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公开(公告)号：CN106059525A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610096449.1
申请日：2016-02-22
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H01L41/0477 , H03H9/13 , H03H9/173 , H03H9/587 , H03H9/605
Abstract: 在示例中，提供了一种体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极和第二电极，形成在基板上；压电层，形成在第一电极与第二电极之间，其中，第一电极和第二电极中的至少一个由包括钼元素的合金形成。另外，这样的体声波谐振器可包括形成在基板与第一电极之间的气腔。
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公开(公告)号：CN102241199A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN201110053408.1
申请日：2011-02-28
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: B41J2/14 , B41J2/16 , B41J2/1632 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明公开了一种喷墨印刷头及其制造方法。根据本发明的一方面的喷墨印刷头可包括：喷墨板，在所述喷墨板中具有墨通道；切割部分，设置在所述喷墨板的墨通道的外部，并具有通过将所述喷墨板分割成头片单元而产生的切割表面；辅助切割部分，自所述切割部分的一个表面沿所述喷墨板的厚度方向向内设置，并用于辅助执行将所述喷墨板分割成头片单元。
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公开(公告)号：CN101026220B
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200610136065.4
申请日：2006-10-20
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H01L41/09 , H01L41/047 , H01L41/22 , B41J2/14 , B41J2/045
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14491 , Y10T29/42 , Y10T29/49002 , Y10T29/49005 , Y10T29/4908
Abstract: 本发明提供了用于喷墨头的压电致动器及其制造方法。所述压电致动器形成在振动板上，用于向各个压力室提供驱动力。该压电致动器包括：形成在所述振动板上的下电极；形成在下电极上、处于对应于各个压力室的位置的压电层；形成在下电极上的支撑垫，该支撑垫接触压电层的一端并从压电层的该端延伸出；和从压电层顶面延伸至支撑垫顶面的上电极，其中，上电极在支撑垫上方连接至一驱动电路，用于从该驱动电路接收电压。压电层可以具有与压力室大致相同的长度。支撑垫可以由光敏聚合物形成，并可以具有与压电层大致相同的高度。上电极可以包括形成在压电层上的第一部分和形成在支撑垫上的第二部分，该第二部分比第一部分宽。
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公开(公告)号：CN118826684A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410461458.0
申请日：2024-04-17
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 体声波谐振器包括谐振部分，谐振部分包括第一电极、沿着高度方向设置在第一电极上的压电层和沿着高度方向设置在压电层上的第二电极。谐振部分包括其中第一电极、压电层和第二电极沿着高度方向彼此重叠的重叠区域。重叠区域包括中央部分和设置在中央部分外侧并且包括第一边缘部分和第二边缘部分的边缘部分。沿着高度方向，第一边缘部分的第二电极的高度和第二边缘部分的第二电极的高度低于中央部分的第二电极的高度，并且沿着高度方向，第一边缘部分的第二电极的高度和第二边缘部分的第二电极的高度彼此不同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113497598A
公开(公告)日：2021-10-12
申请号：CN202011022362.2
申请日：2020-09-25
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器和体声波滤波器装置，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，覆盖所述第一电极的至少一部分；以及第二电极，覆盖所述压电层的至少一部分。当从上方观察所述第一电极和所述第二电极彼此叠置的有效区域时，在由所述有效区域形成的多边形的至少三个顶点接触的矩形的四条边中，最长的边定义为边B，并且连接到边B的边定义为边A，并且高宽比(边B/边A)为1.3至3。
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公开(公告)号：CN110784186A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201910506590.8
申请日：2019-06-12
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，所述压电层的至少一部分设置在所述第一电极上；第二电极，设置在所述压电层上；以及钝化层，设置为覆盖所述第一电极和所述第二电极。所述第一电极和所述第二电极中任意一者或者两者包含铝合金层。所述压电层和所述钝化层中的任意一者或两者包含氮化铝或者添加有掺杂材料的氮化铝，并且所述压电层和所述钝化层中的任意一者或两者具有小于1.58的c/a的比，其中，c为面外晶格常数，a为面内晶格常数。
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公开(公告)号：CN108233888A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711382939.9
申请日：2017-12-20
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H9/54 , H03H3/02 , H03H9/02086 , H03H9/13 , H03H9/171 , H03H9/173 , H03H2003/021
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器。所述体声波谐振器包括：基板；及谐振部，包括顺序地设置在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极。所述第一电极和所述第二电极中的任意一个或两个包括钼(Mo)和钽(Ta)的合金。
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公开(公告)号：CN103129141A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210291672.3
申请日：2012-08-16
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14411 , B41J2202/11
Abstract: 本发明提供一种喷墨印刷头，所述喷墨印刷头包括：第一基板，在第一基板中形成有第一限流器和压力室；第二基板，在第二基板中形成有歧管、第二限流器和喷嘴，其中，第一限流器连接到歧管和第二限流器，第二限流器连接到第一限流器和压力室。
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