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公开(公告)号:CN112993022A
公开(公告)日:2021-06-18
申请号:CN202011144164.3
申请日:2020-10-23
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/423 , H01L29/51 , H01L29/78 , H01L49/02 , H01L27/108 , H01L27/11502 , H01L21/02
Abstract: 提供了一种包括铪氧化物的膜结构、包括该膜结构的电子器件和制造该膜结构的方法。包括铪氧化物的该膜结构包括:铪氧化物层,其包括结晶成四方晶相的铪氧化物;以及第一应力源层和第二应力源层,其彼此隔开且其间具有铪氧化物层并且向铪氧化物层施加压缩应力。
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公开(公告)号:CN103579310B
公开(公告)日:2017-10-20
申请号:CN201310073946.6
申请日:2013-03-08
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/16 , H01L21/335
CPC classification number: H01L29/1606 , H01L29/4908 , H01L29/66045 , H01L29/66742 , H01L29/78 , H01L29/78684 , H01L29/78696
Abstract: 本发明提供了晶体管和该晶体管的制造方法。晶体管可以包括石墨烯和由石墨烯转变的材料。该晶体管可以包括沟道层和栅绝缘层,该沟道层包括石墨烯,该栅绝缘层包括由石墨烯转变的材料。由石墨烯转变的材料可以是氟化石墨烯。沟道层可以包括图案化的石墨烯区域。图案化的石墨烯区域可以通过由石墨烯转变的区域来限定。图案化的石墨烯区域可具有纳米带或纳米网结构。晶体管的栅极可以包括石墨烯。
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公开(公告)号:CN103579043A
公开(公告)日:2014-02-12
申请号:CN201310124248.4
申请日:2013-04-11
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H01L29/66045 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/05 , C01B32/186 , C25B1/00 , C25B9/00 , C25D17/00 , C25F5/00 , C25F7/00
Abstract: 本发明提供一种石墨烯器件制造装置和使用该装置的石墨烯器件制造方法。该石墨烯器件制造装置包括:电极;石墨烯结构,包括基板、形成在基板上的金属催化剂层、形成在金属催化剂层上的石墨烯层、以及形成在石墨烯层上的保护层;电源单元,在电极和金属催化剂层之间施加电压;槽,容纳电极和石墨烯结构;以及在槽中准备的电解液。
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公开(公告)号:CN103227201A
公开(公告)日:2013-07-31
申请号:CN201310007163.8
申请日:2013-01-09
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/78 , H01L29/10 , H01L21/336
CPC classification number: H01L29/1606 , H01L21/6835 , H01L29/41758 , H01L29/41775 , H01L29/42384 , H01L29/66787 , H01L29/778 , H01L29/7831 , H01L2221/6835 , H01L2221/68363 , H01L2221/68381
Abstract: 本公开提供了晶体管及其制造方法。该晶体管可以包括:在基板上的栅极;沟道层,具有覆盖栅极的至少一部分的三维(3D)沟道区域;源极电极,接触沟道层的第一区域;以及漏极电极,接触沟道层的第二区域。
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公开(公告)号:CN111323863B
公开(公告)日:2024-12-31
申请号:CN201910579002.3
申请日:2019-06-28
Abstract: 提供一种相移器件以及包括该相移器件的色差光学器件,该相移器件包括:多个金属层和多个第一电介质层,所述多个金属层中的金属层和所述多个第一电介质层中的第一电介质层在第一方向上交替地堆叠;以及第二电介质层,在第二方向上设置在堆叠结构的侧表面上,其中第一电介质层包括具有第一介电常数的第一材料,第二电介质层包括具有第二介电常数的第二材料,并且其中第二介电常数大于第一介电常数。
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公开(公告)号:CN113675176B
公开(公告)日:2024-03-19
申请号:CN202110047413.5
申请日:2021-01-14
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本公开提供了一种电子装置、控制其的方法和包括其的晶体管。该电子装置包括:第一电极;提供在第一电极上的第二电极;提供在第一电极和第二电极之间的铁电膜;以及提供在铁电膜和第二电极之间的电介质膜,铁电膜的阻抗和电介质膜的阻抗被确定为使得被施加在第一电极和第二电极之间的控制电压等于电容提升操作电压,并且电容提升操作电压由以下的方程式确定:#imgabs0#其中VMAX是电容提升操作电压,Z1是铁电膜的阻抗,Z2是电介质膜的阻抗,tF是铁电膜的厚度,EFM是被施加到铁电膜的具有最大极化变化的电场。
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公开(公告)号:CN116469875A
公开(公告)日:2023-07-21
申请号:CN202310080671.2
申请日:2023-01-19
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本发明涉及电容器、包括电容器的半导体器件和制造电容器的方法。电容器包括下部电极、上部电极、在所述下部电极和所述上部电极之间的电介质膜、以及在所述上部电极和所述电介质膜之间的漏电流减小膜。所述漏电流减小膜包括经掺杂的AlZrO膜,其中所述经掺杂的AlZrO膜中含有的掺杂剂的离子半径大于或等于约130皮米(pm)。
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公开(公告)号:CN111323863A
公开(公告)日:2020-06-23
申请号:CN201910579002.3
申请日:2019-06-28
Abstract: 提供一种相移器件以及包括该相移器件的色差光学器件,该相移器件包括:多个金属层和多个第一电介质层,所述多个金属层中的金属层和所述多个第一电介质层中的第一电介质层在第一方向上交替地堆叠;以及第二电介质层,在第二方向上设置在堆叠结构的侧表面上,其中第一电介质层包括具有第一介电常数的第一材料,第二电介质层包括具有第二介电常数的第二材料,并且其中第二介电常数大于第一介电常数。
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公开(公告)号:CN103579043B
公开(公告)日:2017-12-05
申请号:CN201310124248.4
申请日:2013-04-11
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H01L29/66045 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/05 , C01B32/186 , C25B1/00 , C25B9/00 , C25D17/00 , C25F5/00 , C25F7/00
Abstract: 本发明提供一种石墨烯器件制造装置和使用该装置的石墨烯器件制造方法。该石墨烯器件制造装置包括:电极;石墨烯结构,包括基板、形成在基板上的金属催化剂层、形成在金属催化剂层上的石墨烯层、以及形成在石墨烯层上的保护层;电源单元,在电极和金属催化剂层之间施加电压;槽,容纳电极和石墨烯结构;以及在槽中准备的电解液。
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公开(公告)号:CN103579310A
公开(公告)日:2014-02-12
申请号:CN201310073946.6
申请日:2013-03-08
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/16 , H01L21/335
CPC classification number: H01L29/1606 , H01L29/4908 , H01L29/66045 , H01L29/66742 , H01L29/78 , H01L29/78684 , H01L29/78696
Abstract: 本发明提供了晶体管和该晶体管的制造方法。晶体管可以包括石墨烯和由石墨烯转变的材料。该晶体管可以包括沟道层和栅绝缘层,该沟道层包括石墨烯,该栅绝缘层包括由石墨烯转变的材料。由石墨烯转变的材料可以是氟化石墨烯。沟道层可以包括图案化的石墨烯区域。图案化的石墨烯区域可以通过由石墨烯转变的区域来限定。图案化的石墨烯区域可具有纳米带或纳米网结构。晶体管的栅极可以包括石墨烯。
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