用于原子层沉积的装置及方法

    公开(公告)号:CN104911564A

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201510239478.4

    申请日:2010-07-30

    Abstract: 一种用于在片状衬底的表面上的原子层沉积的装置,其包括:注入头,所述注入头包括配有前驱供给口和前驱排放口的沉积空间;所述供给口和排放口被安排成提供从前驱供给口经由沉积空间到前驱排放口的前驱气流;沉积空间在使用时由注入头和衬底表面界定;包括轴承气体注入器的气体轴承,该轴承气体注入器安排成在注入头与衬底表面之间注入轴承气体,因此该轴承气体形成气体轴承;以及传送系统,该传送系统提供衬底和注入头沿着衬底的平面的相对运动,以便形成沿其传送衬底的传送平面。将支承部分安排成与注入头相对,该支承部分被构造成提供在传送平面中平衡注入头气体轴承的气体轴承压强布局,以便衬底被所述气体轴承压强布局无支承地保持在注入头与支承部分之间。

    有源矩阵显示器的数字驱动

    公开(公告)号:CN104781870A

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN201380057649.0

    申请日:2013-10-30

    Inventor: J·吉诺

    Abstract: 描述了一种用于以预定帧速率来数字地驱动有源矩阵显示器(55)的方法所述显示器包含多个组织成多个行和多个列的像素。该方法包括通过一n位的数字图像编码来表示一帧内待显示的图像的多个像素中的每一像素;该方法还包括将图像帧划分为多个子帧,其中每个子帧可以具有基本相等的持续时间。在每个子帧内,该方法包括顺序地选择所述多个行中的至少一个行两次。在第一选择之后,第一数字编码被写入所选择的行,而在第二选择之后,第二数字编码被写入所选择的行。在第二选择和第一选择之间存在预定时间延迟。还描述了数字驱动电路。

    用于原子层沉积的装置及方法

    公开(公告)号:CN102498236B

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201080040823.7

    申请日:2010-07-30

    Abstract: 一种用于在片状衬底的表面上的原子层沉积的装置,其包括:注入头,所述注入头包括配有前驱供给口和前驱排放口的沉积空间;所述供给口和排放口被安排成提供从前驱供给口经由沉积空间到前驱排放口的前驱气流;沉积空间在使用时由注入头和衬底表面界定;包括轴承气体注入器的气体轴承,该轴承气体注入器安排成在注入头与衬底表面之间注入轴承气体,因此该轴承气体形成气体轴承;以及传送系统,该传送系统提供衬底和注入头沿着衬底的平面的相对运动,以便形成沿其传送衬底的传送平面。将支承部分安排成与注入头相对,该支承部分被构造成提供在传送平面中平衡注入头气体轴承的气体轴承压强布局,以便衬底被所述气体轴承压强布局无支承地保持在注入头与支承部分之间。

    基座、包括基座的组合件、组装方法和组装设备

    公开(公告)号:CN104303604A

    公开(公告)日:2015-01-21

    申请号:CN201380023261.9

    申请日:2013-03-14

    Abstract: 本发明涉及一种用于将电子部件(4)机械和电联接到载体(6)的基座(1)。所述基座(1)具有用于将该基座安装到所述载体的安装部分(10)并具有用于保持所述电子部件的附接部分(12a、12b、12c、12d)。所述基座还具有用于与所述载体中的相应的导电体(61a、61b)协作的主电接触部(14a、14b)和用于与所述电子部件的相应的电接触部协作的次级电接触部(16a、16b、16c)。所述次级电接触部被电连接到主电接触部。所述附接部分通过相应的延伸部分(18a、18b、18c)被联接到所述安装部分,该延伸部分在由所述安装部分限定的平面中能够横向伸展,以允许所述附接部分沿远离所述安装部分的方向移位。

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