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公开(公告)号:CN108745803A
公开(公告)日:2018-11-06
申请号:CN201810892007.7
申请日:2018-08-07
Applicant: 湖南普照信息材料有限公司
CPC classification number: B05C13/02 , B05C11/06 , B05C11/1039
Abstract: 本发明公开了一种涂胶台,包括用于放置基板的涂胶平台,马达和排风扇;所述马达与所述涂胶平台固定连接,且所述马达用于驱动所述涂胶平台沿所述涂胶平台的周向方向旋转;所述排风扇位于所述涂胶平台上方,且所述排风扇的出风口朝向所述涂胶平台。上述马达会带动涂胶平台沿周向旋转,而风扇在铺展光刻胶时会向基板吹风,从而在基板表面形成具有一定风向的气流,该气流会给予光刻胶一个额外的推力,帮助光刻胶铺展,从而减少在涂布光刻胶时由于光刻胶堆积所形成的边框的宽度。
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公开(公告)号:CN107026104A
公开(公告)日:2017-08-08
申请号:CN201611113293.X
申请日:2016-12-06
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67196 , B05C11/06 , C23C18/1691 , H01L21/67109 , H01L21/67201 , H01L21/67303 , H01L21/67098 , H01L21/6719
Abstract: 腔室包含侧壁、冷却管和外管。冷却管包含沿着腔室的侧壁延伸的第一区段并且包含多个净化喷嘴。外管延伸到腔室内部并且连接到冷却管的第一区段。半导体处理站包含中心传递腔室、负载锁定腔室和冷却台。负载锁定腔室和冷却台邻近于中心传递腔室安置。负载锁定腔室用以容纳具有多个晶片的晶片载体。中心传递腔室连通在冷却台与负载锁定腔室之间,以在冷却台与负载锁定腔室之间传递晶片。
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公开(公告)号:CN102422728B
公开(公告)日:2015-04-01
申请号:CN201080021231.0
申请日:2010-05-12
Applicant: 埃托特克德国有限公司
Inventor: 亨利·孔策
IPC: H05K3/00
CPC classification number: H05K3/0085 , B05C3/09 , B05C11/06 , C25D7/0621 , C25D7/0642 , C25D17/00 , C25D21/10 , H05K2203/0143 , H05K2203/0746 , H05K2203/1509 , H05K2203/1572
Abstract: 为了将处理液(21)从在用于对处理物(10)以电解或湿化学方式进行处理的设备中输送的平面处理物(10)去除,或者为了促进处理物(10)的表面上的物质交换,辊设置有辊表面(4,14)。辊表面(4,14)相对于处理物(10)的输送路径设置,使得在辊表面(4,14)与处理物(10)的与辊表面(4,14)对置的有用区之间留有间隙(8,18),该间隙在该有用区上延伸。辊以转动方式来驱动,使得在间隙(8,18)上产生辊表面(4,14)与处理物(10)之间的相对速度。
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公开(公告)号:CN104114284A
公开(公告)日:2014-10-22
申请号:CN201380009945.3
申请日:2013-02-13
Applicant: 考克利尔维修工程
Inventor: 米歇尔·杜波依斯
CPC classification number: B05C11/06 , B05B1/005 , C23C2/20 , F26B13/28 , F26B21/004
Abstract: 本发明涉及一种用于控制移动带(3)上由液膜制成的涂层的厚度的装置,该装置包括喷嘴(1),该喷嘴被供给有该喷嘴的室(2)中的加压流体(6),所述室(2)终止于喷嘴唇缘(11),该喷嘴唇缘形成细长排放开口(12),所述细长排放开口用于将该加压流体排放至该移动带(3)上,所述室(2)还包括在流体流动中阻塞室(2)的截面L×h的穿孔隔板(8),该穿孔隔板(8)具有多个孔(13),使得所述孔(13)的总表面大于所述截面的90%,并且该穿孔隔板的厚度Th大于任何所述孔(13)的单独直径的3倍并大于3毫米,其特征在于,该穿孔隔板(8)具有蜂窝状几何形状,即具有六边形截面的单元(13)的几何形状。
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公开(公告)号:CN103180479B
公开(公告)日:2014-07-16
申请号:CN201180052048.1
申请日:2011-10-18
Applicant: 日新制钢株式会社
IPC: C23C2/20
CPC classification number: F26B15/00 , B05C3/12 , B05C3/125 , B05C11/06 , C23C2/003 , C23C2/06 , C23C2/20
Abstract: 本发明提供一种气体擦拭装置。该气体擦拭装置具有包围钢带和气体擦拭喷嘴的箱状体,并能够抑制溅沫向钢带附着。气体擦拭装置(100)具有积存有熔融金属(11)的镀液槽(10)和载置于镀液槽(10)上部的箱状体(20)。在箱状体(20)的内部具有:管状构件(25a、25b),其沿着带状体(30)的宽度方向设置;气体擦拭喷嘴(26a、26b),其以隔着带状体(30)相对的方式设置于各个管状构件(25a、25b);延伸设置构件(28a、28b),其在气体擦拭喷嘴(26a)的两端上朝向气体擦拭喷嘴(26b)方向延伸设置;以及延伸设置构件(29a、29b),其在气体擦拭喷嘴(26b)的两端上朝向气体擦拭喷嘴(26a)方向延伸设置。
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公开(公告)号:CN103781557A
公开(公告)日:2014-05-07
申请号:CN201280041745.1
申请日:2012-03-14
Applicant: 新日铁住金株式会社
CPC classification number: B05D7/14 , B05C5/005 , B05C11/06 , B05C11/1039 , B05D1/305 , B05D3/042 , B05D3/12 , B05D2202/15
Abstract: 一种涂装钢板的制造装置,具备:吹掉部(11),该吹掉部(11)对沿着沿一个方向通过的钢板(8)的侧缘积蓄的剩余涂料(9x)喷吹气体而将其除去;和涂料回收部(12),该涂料回收部(12)将通过该吹掉部(11)除去的所述剩余涂料(9x)回收,所述吹掉部(11),具有喷吹喷嘴(11a)和气体供给部(11c);所述涂料回收部(12),具有导管(12a)和涂料收容器(12b);重叠配置以使得在俯视所述导管(12a)的情况下,其出口(12a2)收纳于所述涂料收容器(12b)的开口(12b1)内,并且,在侧视所述导管(12a)的情况下,在其所述出口(12a2)与所述涂料收容器(12b)的所述开口(12b1)之间设有间隙(12c)。
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公开(公告)号:CN101849030B
公开(公告)日:2013-01-30
申请号:CN200880108428.0
申请日:2008-09-08
Applicant: ABB研究有限公司
CPC classification number: B05C11/06 , C23C2/003 , C23C2/20 , C23C2/40 , G01B11/0683 , G01N21/8914 , G01N2021/8427 , G01N2021/8918
Abstract: 一种用于在沿着预定传送路径(X)的传送方向(22)上连续传送伸长金属条(1)期间可视监视和稳定伸长金属条(1)的设备和方法,其中已经通过已经连续传递条(1)经过熔融金属浴(2)来用金属层涂覆条(1)。将沿着预定传送路径(X)从浴(1)传送条(1)。该设备包括电磁稳定设备(7),该电磁稳定设备包括布置于预定传送路径(X)的各侧上的至少一对电磁稳定装置(8,9)。另外,该设备包括用于通过在条的传送方向(22)的横向线上并且在条的实质上整个宽度内施加空气流来从条(1)揩掉多余融融金属的揩拭设备(4)。该揩拭设备包括至少一对气刀(5,6)并且至少一个气刀布置于条(1)的各侧上。第一图像读取装置(16)被配置成拍摄条相对于预定传送路径(X)的实际位置的多个图像。第二和第三图像读取装置(19,20)被配置成拍摄条表面的一个或者多个图像。
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公开(公告)号:CN102422727A
公开(公告)日:2012-04-18
申请号:CN201080021230.6
申请日:2010-05-12
Applicant: 埃托特克德国有限公司
IPC: H05K3/00
CPC classification number: H05K3/0085 , B05C3/09 , B05C11/06 , C25D7/0621 , C25D7/0642 , C25D17/00 , C25D21/10 , H05K2203/0143 , H05K2203/0746 , H05K2203/1509 , H05K2203/1572
Abstract: 为了将处理液(21)从在用于对处理物(10)湿化学处理的设备中输送的平面处理物(10)去除,设置用于止回处理液(21)的止回面(4,14)。止回面(4,14)相对于处理物(10)的输送路径设置,使得在处理物(10)经过止回面(4,14)时在止回面(4,14)与处理物(10)的与止回面(4,14)对置的表面之间留有间隙(8,18)。止回面(4,14)例如可以设置为辊(2,3)的外壳面的偏置的区段。
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公开(公告)号:CN101272869A
公开(公告)日:2008-09-24
申请号:CN200680035367.0
申请日:2006-08-30
Applicant: 本田技研工业株式会社
CPC classification number: B05C11/06 , B05B1/20 , B05C5/027 , B05D1/26 , B05D1/305 , B05D3/002 , B05D3/042 , B05D3/10 , B05D5/00 , B05D2401/20
Abstract: 本发明提供一种将水基涂料(53)施加于喷漆工件(49)的方法。该方法包括将水(51)从施加喷嘴单元(49)喷洒到工件(49),将水基涂料(53)供给到工件(49),以及最后将压缩空气流施加于水基涂料(53),以便均匀地涂敷水基涂料(53)。
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公开(公告)号:CN101098757A
公开(公告)日:2008-01-02
申请号:CN200580046310.6
申请日:2005-11-09
Applicant: 喷洒系统公司
Inventor: S·布哈特
CPC classification number: B08B5/02 , B05B1/005 , B05C11/06 , B08B5/023 , B08B5/026 , F26B5/14 , F26B21/004
Abstract: 一种用来产生气幕的流体排放设备。该设备包括一个本体件,此本体件具有一个空气入口腔室和一个空气出口腔室。空气出口腔室与空气入口腔室处于流体连通状态。本体件形成排放口,流体通过此排放口由本体件中排出,排放口与空气出口腔室处于流体连通状态。空气出口腔室具有一对相对的侧壁,每个侧壁具有一个倾斜的侧壁部分。将此倾斜的侧壁部分布置成,随着倾斜的侧壁部分在下游方向上朝向排放口伸展,这些倾斜的侧壁部分朝向彼此会聚,从而形成一个大致V字形的导入段,此导入段引导流体,并且使流体的方向朝向排放口。由第一和第二边缘形成排放口,由一个延长的壁部形成第一边缘,此延长的壁部向下游经过第二边缘伸展,从而形成一个用于排放出的流体的偏转表面,此偏转表面经过排放口伸展。
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