公开(公告)号：CN105588742A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201510749549.5

申请日：2015-11-06

Applicant: FEI公司

Inventor： V.布罗登 ,  J.布莱克伍德 ,  M.施米德特 ,  D.特里维迪 ,  R.J.杨 ,  T.G.米勒 ,  B.R.小劳思 ,  S.斯通 ,  T.滕普莱顿

IPC: G01N1/28 ,  G01N23/04

Abstract: 描述了促进薄片的自动化提取并且将薄片附着到样本格栅以在透射式电子显微镜上进行查看的技术。本发明的一些实施例涉及使用机器视觉来确定薄片、探针和/或TEM格栅的位置，以引导探针到薄片的附着以及薄片到TEM格栅的附着。促进机器视觉的使用的技术包括对探针尖端成形，使得其位置可以易于由图像识别软件来识别。图像相减技术可以用于确定附着到探针的薄片的位置，以将薄片移动到TEM格栅以供附着。在一些实施例中，在探针上或在薄片上研磨参考结构，以促进图像识别。

公开(公告)号：CN104303257A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201380026621.0

申请日：2013-05-21

Applicant: FEI公司

Inventor： S.E.富勒 ,  B.R.小劳思 ,  M.莫里亚蒂

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/08

CPC classification number: H01J37/3026 ,  G01N1/32 ,  H01J2237/31745

Abstract: 一种用于生产用于TEM观察的薄的薄片的方法和设备。所述方法的步骤是鲁棒的，并且可以用于以自动化工艺生产薄片。在一些实施例中，在形成薄片之前，沉积保护涂层，所述保护涂层具有与工件的溅射速率匹配的溅射速率。在一些实施例中，薄片的底部远离感兴趣的特征倾斜，其在薄化期间保持所述薄片稳定并且减少移动。在一些实施例中，基准被用于定位所述射束以用于最终薄化，而不使用薄片的边缘。在一些实施例中，在高离子能量最终薄化之后完成突出部，以保持所述薄片更加稳定。在一些实施例中，散焦低离子能量和图案刷新延迟被用于最终切割以减少薄片的变形。

公开(公告)号：CN107058944A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201610963956.0

申请日：2016-11-04

Applicant: FEI 公司

Inventor： B.R.小劳思 ,  T.G.米勒 ,  C.吕 ,  N.T.弗兰科

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/22 ,  C23C16/04 ,  C23C16/40 ,  C23C16/06

Abstract: 本发明涉及材料沉积的改进方法。用于带电粒子处理的方法和装置包括形成由至少两种材料构成的保护层。这两种材料可以混合在一起或可以作为分开的层沉积。其已经根据样品的材料性质配制和布置。

公开(公告)号：CN103531427A

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN201310265180.1

申请日：2013-06-28

Applicant: FEI公司

Inventor： B.R.小劳思 ,  P.C.蒂伊梅杰 ,  B.J.詹森 ,  T.G.米勒 ,  D.福尔德 ,  I.拉滋

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  G01N23/04 ,  G01N1/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  B82Y35/00 ,  G01Q10/04 ,  H01J37/26 ,  H01J37/295 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/2067 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2442 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2447 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2614 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及在粒子光学装置中准备和成像薄片的方法。本发明涉及一种通过使用粒子光学装置（100）来准备和成像样品（101）的方法，粒子光学装置（100）装备有电子柱（120）、离子束柱（140）、拍摄系统（110）、操纵器（160）。该方法包括下列步骤：根据第一电子图像导出样品的第一折叠写入图像；然后减薄样品，并且形成样品的第二折叠写入图像。在本发明的实施例中，被用于第二图像的种子图像是第一折叠写入图像。在另一个实施例中，第二折叠写入图像是在减薄期间的移除层的图像，在还有另一个实施例中，确定样品的内电势并且确定掺杂剂浓度。

公开(公告)号：CN103531427B

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201310265180.1

申请日：2013-06-28

Applicant: FEI 公司

Inventor： B.R.小劳思 ,  P.C.蒂伊梅杰 ,  B.J.詹森 ,  T.G.米勒 ,  D.福尔德 ,  I.拉滋

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  G01N23/04 ,  G01N1/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  B82Y35/00 ,  G01Q10/04 ,  H01J37/26 ,  H01J37/295 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/2067 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2442 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2447 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2614 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及在粒子光学装置中准备和成像薄片的方法。本发明涉及一种通过使用粒子光学装置（100）来准备和成像样品（101）的方法，粒子光学装置（100）装备有电子柱（120）、离子束柱（140）、拍摄系统（110）、操纵器（160）。该方法包括下列步骤：根据第一电子图像导出样品的第一折叠写入图像；然后减薄样品，并且形成样品的第二折叠写入图像。在本发明的实施例中，被用于第二图像的种子图像是第一折叠写入图像。在另一个实施例中，第二折叠写入图像是在减薄期间的移除层的图像，在还有另一个实施例中，确定样品的内电势并且确定掺杂剂浓度。

公开(公告)号：CN104979151A

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：CN201510171305.3

申请日：2015-04-13

Applicant: FEI公司

Inventor： B.R.小劳思 ,  V.布罗登 ,  M.施米德特

IPC: H01J37/26 ,  G01N1/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N1/44 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/31745

Abstract: 本发明涉及高容量TEM栅格，特别是一种TEM栅格提供立柱，立柱具有台阶，台阶增加了能附连到栅格上的样品数量。在某些实施例中，每个立柱包括单侧楼梯台阶配置。一种用于提取多种样品的方法包括提取样品并且将样品附连到立柱的不同楼梯台阶上。