公开(公告)号：CN119943710A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202411905124.4

申请日：2024-12-23

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 李士会 ,  刘瑞强 ,  王晓刚 ,  陈辉 ,  李进

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/265 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317 ,  H01J37/02

Abstract: 本发明公开一种真空隔离的低温管路装置，包括冷板、T型管、真空腔体、Y型管和冷源；冷板和T型管设置在真空腔体内；Y型管包括间隙配合的外管和内管，Y型管上设有分界板，以实现外管与内管的间隙分隔为高真空区和低真空区，高真空区与真空腔体连通；外管两端分别连接冷源和真空腔体，内管两端分别连接冷源和T型管，T型管与冷板的输入、输出口连接，冷板内设有循环管路；冷源提供的低温工质经内管和T型管输送至冷板内的循环管路，以实现冷板降温，且换热后的工质再循环至冷源中。本发明具有结构紧凑、稳定性高且拆装便捷等特点，内管与外管之间的低真空可有效隔绝热量传递，在超低温状态下，外管无需包裹任何保温材料，且不会产生冷凝水。

公开(公告)号：CN119890019A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202411892275.0

申请日：2024-12-20

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 张冰 ,  李进 ,  李士会 ,  陈辉 ,  南晓青 ,  王建新 ,  张涛

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/67 ,  H01L21/265

Abstract: 本发明公开了一种应用于离子注入机的低温注入控制系统及低温注入控制方法，远程配电柜通过动力线缆与冷源连接；冷源通过网线和气体输送管道与阀箱连接，阀箱通过管道分别与预冷腔体和低温靶台连接；第一低温靶盘固定在预冷腔体中，并通过输出线缆与吸附电源连接；冷却环和第二低温靶盘均固定在低温靶台上；冷源通过控制线缆与第一ADIO控制器连接，阀箱通过控制线缆与第二ADIO控制器连接，吸附电源通过控制线缆与第三ADIO控制器连接，三个ADIO控制器均通过光纤连接工控机。本发明具有结构紧凑、稳定性高且操作便捷等特点，解决了特殊产品注入工艺对离子定向定位注入的需求问题，满足了市场对离子注入机工艺要求多样化的需求。

公开(公告)号：CN118824931A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202410803495.5

申请日：2024-06-20

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 尹进峰 ,  陈辉 ,  林萍 ,  高瑞松 ,  李进 ,  姜科 ,  佟昊峰 ,  刘洪志 ,  袁印

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/317 ,  H01J37/20

Abstract: 本发明公开了一种晶圆电荷量控制方法及系统，控制方法包括：当晶圆放置在靶盘上时，通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷去抵消晶圆自身净电荷，从而将晶圆净电荷控制在所需要的范围内；当需要晶圆电荷整体偏正或偏负时，通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷量在预设范围内。本发明具有控制简单且控制精准等优点。

公开(公告)号：CN118099027A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202410058437.4

申请日：2024-01-15

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 喻晓 ,  刘瑞强 ,  高瑞松 ,  李进 ,  李士会 ,  陈辉

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/04 ,  H01J37/317 ,  H01J37/244 ,  G05D23/22

Abstract: 本发明公开了一种高温离子注入晶圆温度控制方法、装置、介质及系统，方法包括步骤：预先获取晶圆温度与靶盘测温点温度之间的对应映射关系；根据晶圆温度与靶盘测温点温度之间的对应映射关系，获取与晶圆目标温度相对应的靶盘测温点温度；对靶盘进行加热以使各测量点温度达到与晶圆目标温度相对应的靶盘测温点温度，进而将晶圆加热至目标温度。本发明克服了接触式测量可能造成晶圆表面损伤和使用光学测温方法容易受到其他高温部件影响的不足，通过对于靶盘温度的检测来实现对晶圆温度的控制，并且具有操作简便，稳定性、重复性和实时性好等优点。

公开(公告)号：CN117894734A

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202311754426.1

申请日：2023-12-19

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 刘瑞强 ,  喻晓 ,  吴莹莹 ,  陈辉 ,  李雅志 ,  张鹤颖 ,  李进 ,  李士会

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明公开一种具有测温功能的高温静电吸盘，包括：加热线圈、测温单元以及依次重叠的陶瓷基板、隔热板和水冷基板，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基板处于真空环境，水冷基板处于标准大气压环境；加热线圈烧结在陶瓷基板内，且加热线圈与加热电源连接，以实现高温静电吸盘升温加热；测温单元包括测温组件和引出组件，测温组件烧结在陶瓷基板底部，引出组件的上端与测温组件连接，下端贯穿隔热板和水冷基板后与标准大气压环境内的连接器连接，以实现实时监测高温静电吸盘的温度值。本发明具有结构紧凑、测温精准、可靠性高等优点，既解决了高温静电吸盘温度反馈值的稳定性问题，又解决了线缆及接头从高真空引入到标准大气压环境的连接问题。

公开(公告)号：CN118197888A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202410146930.1

申请日：2024-02-01

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 陆鹏宇 ,  王振辉 ,  王肇龙 ,  李进 ,  李士会 ,  陈辉

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/304 ,  H01J37/147

Abstract: 本发明公开了一种用于离子注入机的电偏转透镜调控方法及系统，方法包括步骤：分析确定离子注入机的电偏转透镜的控制参数；获取不同数值控制参数下的各电极电压，并将各电极电压与预设阈值进行对比；如果各电极电压均位于预设阈值内，则判断各控制参数的数值合格，再根据各控制参数数值来设置各个电源电压；如果各电极电压不在预设阈值内，则调整各控制参数的数值直至各电极电压均位于预设阈值内，再根据调整后的控制参数数值来设置各个电源电压。本发明将各电极电压设置到尽可能低的情况下完成对束流的偏转，减少打火发生可能性。

公开(公告)号：CN117878013A

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN202311809154.0

申请日：2023-12-26

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 孙丁丁 ,  刘瑞强 ,  李进 ,  李士会 ,  陈辉

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66 ,  H01L21/687 ,  H01L21/265

Abstract: 本发明公开一种用于高温离子注入的晶圆预加热装置，包括真空腔室，真空腔室上部设有光纤传感器组件，真空腔室内部设有支撑块、石英手爪和升降组件，石英手爪与升降组件的输出端连接，真空腔室下部设有加热组件，支撑块位于加热组件上方；当光纤传感器组件检测到真空机械手带着晶圆伸入到真空腔室内部时，在升降组件的驱动下，石英手爪进行升降运动，并取走真空机械手上的晶圆，待真空机械手退出真空腔室后，石英手爪将晶圆传送到加热位置的支撑块上，加热组件通过发射光束以实现对晶圆的均匀加热。本发明具有结构紧凑、操作简单、温度均匀性高等优点，可快速均匀的将晶圆加热到高温注入工艺所要求的任意温度，且加热后的晶圆表面温度均匀性较高。

公开(公告)号：CN119208190A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202411168058.7

申请日：2024-08-23

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 陈辉 ,  刘瑞强 ,  陆盼婷 ,  李士会 ,  李进 ,  安超 ,  鲁晓乐 ,  王郑标

IPC: H01L21/67 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明公开了一种离子注入机的晶圆制冷系统，将冷环和用于承载第一晶圆的工艺靶盘设置在工艺腔室内，且工艺靶盘设置在冷环顶部，冷环底部通过冷媒穿管与分配器连接；将预冷环和用于承载第二晶圆的预冷靶盘设置在机械手腔室内，且预冷环设置在预冷靶盘底部，预冷环底部通过管路与分配连接，分配器通过管道与冷源连接，冷源提供的低温氮气输送至分配器中进行二次分配后，再分别输送至冷环和预冷环中，以实现工艺靶盘上的第一晶圆和预冷靶盘上的第二晶圆降温至预设温度；低温氮气在冷环和预冷环中进行换热后，再返回至分配器中，最终回到冷源内进行循环利用。本发明具有结构紧凑、操作便捷、制冷效率高等特点，提高了低温注入的整体工作效率。

公开(公告)号：CN118824824A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202410803496.X

申请日：2024-06-20

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 邵佳丽 ,  陈辉 ,  芦永佳 ,  林萍 ,  李进 ,  王龙 ,  贾卫泽 ,  刘永欢

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/317 ,  G01R31/40 ,  G01R31/34 ,  G01R19/165

Abstract: 本发明公开了一种大束流离子注入机用束流监测和响应系统及其应用方法，系统包括低压电源Glitch监测模块、高压电源Glitch监测模块、电机使能监测模块、剂量补充模块、束流中断模块和Glitch Test模块；低压电源Glitch监测模块用于监测低压电源是否发生Glitch；高压电源Glitch监测模块用于监测高压电源是否发生Glitch；电机使能监测模块用于监测电机是否掉使能；剂量补充模块用于补偿发生Glitch后的产品剂量缺失；束流中断模块用于发生Glitch后中断束流。本发明具有检测全面、智能化程度高、判定准确性高等优点。

公开(公告)号：CN118538589A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410470178.6

申请日：2024-04-18

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 张冰 ,  季杰 ,  林双华 ,  李士会 ,  李进 ,  陈辉 ,  王超 ,  金立宝 ,  张建东 ,  毛林杰

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/30

Abstract: 本发明的一种应用于离子注入机的固态元素注入系统及工艺，系统包括：工控机、ADIO控制器、加热电源、离子源弧室和坩埚组件，坩埚组件包括坩埚蒸发器、温度传感器、送气管和加热灯管；工控机、ADIO控制器和加热电源依次连接；加热电源分别连接加热灯管和坩埚蒸发器中的温度传感器，坩埚蒸发器内放置待注入的固态物，坩埚蒸发器通过送气管与离子源弧室连通，加热电源控制加热灯管将坩埚蒸发器内的固态物加热形成气体，气体通过送气管进入离子源弧室；温度传感器采集的实时温度信息反馈至控制器，控制器将实时温度与预设温度对比，调整加热电源输出加热功率。本发明具有结构紧凑、使用便捷、温控精度高且有利于提高离子源工作稳定性等优点。