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公开(公告)号：CN119890019A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202411892275.0
申请日：2024-12-20
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/317 , H01L21/67 , H01L21/265
Abstract: 本发明公开了一种应用于离子注入机的低温注入控制系统及低温注入控制方法，远程配电柜通过动力线缆与冷源连接；冷源通过网线和气体输送管道与阀箱连接，阀箱通过管道分别与预冷腔体和低温靶台连接；第一低温靶盘固定在预冷腔体中，并通过输出线缆与吸附电源连接；冷却环和第二低温靶盘均固定在低温靶台上；冷源通过控制线缆与第一ADIO控制器连接，阀箱通过控制线缆与第二ADIO控制器连接，吸附电源通过控制线缆与第三ADIO控制器连接，三个ADIO控制器均通过光纤连接工控机。本发明具有结构紧凑、稳定性高且操作便捷等特点，解决了特殊产品注入工艺对离子定向定位注入的需求问题，满足了市场对离子注入机工艺要求多样化的需求。
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公开(公告)号：CN114724909A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210372456.5
申请日：2022-04-11
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/248 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种由气动控制的高低能切换装置。所述切换装置包括安装座、固定座、连接杆、第一导电柱、第二导电柱、第一铜杆、第二铜杆、伸缩驱动件、公头和母头；所述连接杆与伸缩驱动件的伸缩杆相连，所述第一铜杆和第二铜杆分别设置在所述连接杆的两端；所述第一铜杆临近伸缩杆的末端设置；所述第二导电柱和第一导电柱间隔设置在所述安装座内；所述连接杆的末端上设有所述公头，所述安装座上设有与所述公头位置对应的所述母头；所述母头远离公头的一端接地线；所述第一导电柱连接第一高压线缆和第二高压线缆,所述第二导电柱连接一根高压线缆。与相关技术相比，本发明在满足电气间隙情况下，通过改变接线方式实现不同能量之间的切换。
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公开(公告)号：CN119601441A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411544207.5
申请日：2024-10-31
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/141 , H01J37/317 , H01L21/265
Abstract: 本发明公开了一种离子注入机磁铁透镜调束系统及调束方法，调束系统包括工控机、控制单元、磁铁线圈电源单元、换向单元和磁铁透镜单元；磁铁透镜单元包括多组磁铁线圈，多组磁铁线圈沿束流方向依次布置在束流腔体的外侧；磁铁线圈电源单元包括多组线圈电源，且与各组磁铁线圈一一对应连接；换向单元位于线圈电源与磁铁线圈之间；控制单元分别与工控机、磁铁线圈电源单元和换向单元相连，用于根据工控机的指令来控制磁铁线圈电源单元的开闭以及调节电源大小，同时通过换向单元调节磁铁线圈电源单元输入至磁铁透镜单元的电源方向。本发明能够实现调整束流分布位置功能，减少束流传输过程中的损耗，提高低能量束流利用率。
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公开(公告)号：CN118538589A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410470178.6
申请日：2024-04-18
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/30
Abstract: 本发明的一种应用于离子注入机的固态元素注入系统及工艺，系统包括：工控机、ADIO控制器、加热电源、离子源弧室和坩埚组件，坩埚组件包括坩埚蒸发器、温度传感器、送气管和加热灯管；工控机、ADIO控制器和加热电源依次连接；加热电源分别连接加热灯管和坩埚蒸发器中的温度传感器，坩埚蒸发器内放置待注入的固态物，坩埚蒸发器通过送气管与离子源弧室连通，加热电源控制加热灯管将坩埚蒸发器内的固态物加热形成气体，气体通过送气管进入离子源弧室；温度传感器采集的实时温度信息反馈至控制器，控制器将实时温度与预设温度对比，调整加热电源输出加热功率。本发明具有结构紧凑、使用便捷、温控精度高且有利于提高离子源工作稳定性等优点。
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公开(公告)号：CN117936343A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311838431.0
申请日：2023-12-28
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/248 , H01J37/317 , H01J37/30
Abstract: 本发明公开了一种浪涌电流泄放装置、离子注入机注入系统及其应用方法，装置包括固定座、绝缘管、绝缘板和高压电阻单元；所述绝缘管的一端固定于所述固定座上，所述绝缘管的中部设有腔体且两端开口，所述绝缘板安装于绝缘管的内部且一端紧固在固定座上；所述高压电阻单元包括高压电阻和安装组件，所述高压电阻通过安装组件安装于所述绝缘板上，所述高压电阻的一端通过第一电连接单元与高压电源相连；所述高压电阻的另一端通过第二电连接单元与离子产生单元相连。本发明结构简单可靠、使得工作回路可靠性更高，降低了机台维护成本，提高了机台Up time。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114628195A
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202210372457.X
申请日：2022-04-11
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01H35/38 , H01H35/26 , H01H1/58 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种适合现场的电位切换装置。所述适合现场的电位切换装置包括第一接线端、第二接线端、顶柱、上缸盖、缸筒、下缸盖、插线板、活塞、活塞拉杆、磁环、滑轮和钢丝绳；所述第一接线端设于所述插线板内，所述第二接线端的一端与第一接线端连接，另一端与顶柱连接；所述活塞配装于所述缸筒内，所述滑轮可转动的安装在所述下缸盖中；所述活塞的上端设有所述磁环，所述活塞拉杆穿过所述活塞和磁环，所述活塞拉杆通过所述钢丝绳与所述滑轮连接；所述活塞在所述缸筒内上下位移，使所述活塞拉杆与顶柱接触或脱离。与相关技术相比，本发明避免因高电位和低电位距离近产生打火现象，且在满足电气间隙情况下实现不同能量之间的切换。
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公开(公告)号：CN114628195B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202210372457.X
申请日：2022-04-11
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01H35/38 , H01H35/26 , H01H1/58 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种适合现场的电位切换装置。所述适合现场的电位切换装置包括第一接线端、第二接线端、顶柱、上缸盖、缸筒、下缸盖、插线板、活塞、活塞拉杆、磁环、滑轮和钢丝绳；所述第一接线端设于所述插线板内，所述第二接线端的一端与第一接线端连接，另一端与顶柱连接；所述活塞配装于所述缸筒内，所述滑轮可转动的安装在所述下缸盖中；所述活塞的上端设有所述磁环，所述活塞拉杆穿过所述活塞和磁环，所述活塞拉杆通过所述钢丝绳与所述滑轮连接；所述活塞在所述缸筒内上下位移，使所述活塞拉杆与顶柱接触或脱离。与相关技术相比，本发明避免因高电位和低电位距离近产生打火现象，且在满足电气间隙情况下实现不同能量之间的切换。
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公开(公告)号：CN221860557U
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202323571693.3
申请日：2023-12-26
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种排废管道电阻率检测装置及排废管道系统，检测装置包括采集管道、排废检测接口板和排废控制器，所述采集管道安装于排废管道上，所述排废检测接口板安装于所述采集管道上，所述排废检测接口板包括地线接线端E0、电流测试端E1、电流采集端E2和信号输出端J1；所述地线接线端E0接地，所述电流采集端E2与信号输出端J1之间设有惠斯通电桥；所述电流测试端E1和信号输出端J1均与所述排废控制器通讯相连。本实用新型整体结构简单可靠且能实时检测排废管道电阻率，保障产品的工艺要求。
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公开(公告)号：CN219979866U
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202321118678.0
申请日：2023-05-10
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01R13/405 , H01R13/40 , H01R13/502 , H01R13/52 , G01T1/29
Abstract: 本实用新型公开了一种电连接器，包括可伐合金外壳、导针和玻璃填充层，外壳的内部设有两端贯穿的通孔，导针通过玻璃填充层固定于外壳的通孔内且伸出通孔的两端；外壳的外壁上设置有第一密封组件。本实用新型还公开了一种束流检测装置，包括真空法兰、空心导杆、检测腔体、石墨收纳盒和如上的电连接器，石墨收纳盒安装于真空法兰的外侧，检测腔体位于真空法兰的内侧，电连接器密封安装在检测腔体上，空心导杆的一端从真空法兰的外侧穿入至真空法兰的内侧，并固定在检测腔体上，电连接器上导针的一端连接至各束流检测件，电连接器上导针的另一端则伸入至空心导杆的内部腔体内。本实用新型在保证束流检测通讯正常的同时，又不影响机台真空度。
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公开(公告)号：CN221727509U
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202323473321.7
申请日：2023-12-19
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01R13/405
Abstract: 本实用新型公开一种高压电连接器及包含其的静电吸附装置，高压电连接器包括外壳，所述外壳的两端分别设有真空灌胶区和常压灌胶区，所述外壳内部设有两端贯穿的通孔，导针通过绝缘填充层固定于外壳的通孔内且伸出通孔的两端，所述导针的两端分别延伸至真空灌胶区和常压灌胶区；所述导针在真空灌胶区内与弹性探针套连接，且弹性探针套延伸至外壳外部；所述导针在常压灌胶区与单芯线缆连接，单芯线缆延伸至外壳外部。本实用新型具有结构紧凑、拆装便捷、稳定可靠、绝缘性能佳等优点，在保证了静电吸附功能正常的同时，又不影响机台的真空度。
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