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公开(公告)号：CN118538589A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410470178.6
申请日：2024-04-18
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/30
Abstract: 本发明的一种应用于离子注入机的固态元素注入系统及工艺，系统包括：工控机、ADIO控制器、加热电源、离子源弧室和坩埚组件，坩埚组件包括坩埚蒸发器、温度传感器、送气管和加热灯管；工控机、ADIO控制器和加热电源依次连接；加热电源分别连接加热灯管和坩埚蒸发器中的温度传感器，坩埚蒸发器内放置待注入的固态物，坩埚蒸发器通过送气管与离子源弧室连通，加热电源控制加热灯管将坩埚蒸发器内的固态物加热形成气体，气体通过送气管进入离子源弧室；温度传感器采集的实时温度信息反馈至控制器，控制器将实时温度与预设温度对比，调整加热电源输出加热功率。本发明具有结构紧凑、使用便捷、温控精度高且有利于提高离子源工作稳定性等优点。
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公开(公告)号：CN117936343A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311838431.0
申请日：2023-12-28
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/248 , H01J37/317 , H01J37/30
Abstract: 本发明公开了一种浪涌电流泄放装置、离子注入机注入系统及其应用方法，装置包括固定座、绝缘管、绝缘板和高压电阻单元；所述绝缘管的一端固定于所述固定座上，所述绝缘管的中部设有腔体且两端开口，所述绝缘板安装于绝缘管的内部且一端紧固在固定座上；所述高压电阻单元包括高压电阻和安装组件，所述高压电阻通过安装组件安装于所述绝缘板上，所述高压电阻的一端通过第一电连接单元与高压电源相连；所述高压电阻的另一端通过第二电连接单元与离子产生单元相连。本发明结构简单可靠、使得工作回路可靠性更高，降低了机台维护成本，提高了机台Up time。
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公开(公告)号：CN114628195A
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202210372457.X
申请日：2022-04-11
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01H35/38 , H01H35/26 , H01H1/58 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种适合现场的电位切换装置。所述适合现场的电位切换装置包括第一接线端、第二接线端、顶柱、上缸盖、缸筒、下缸盖、插线板、活塞、活塞拉杆、磁环、滑轮和钢丝绳；所述第一接线端设于所述插线板内，所述第二接线端的一端与第一接线端连接，另一端与顶柱连接；所述活塞配装于所述缸筒内，所述滑轮可转动的安装在所述下缸盖中；所述活塞的上端设有所述磁环，所述活塞拉杆穿过所述活塞和磁环，所述活塞拉杆通过所述钢丝绳与所述滑轮连接；所述活塞在所述缸筒内上下位移，使所述活塞拉杆与顶柱接触或脱离。与相关技术相比，本发明避免因高电位和低电位距离近产生打火现象，且在满足电气间隙情况下实现不同能量之间的切换。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114628195B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202210372457.X
申请日：2022-04-11
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01H35/38 , H01H35/26 , H01H1/58 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种适合现场的电位切换装置。所述适合现场的电位切换装置包括第一接线端、第二接线端、顶柱、上缸盖、缸筒、下缸盖、插线板、活塞、活塞拉杆、磁环、滑轮和钢丝绳；所述第一接线端设于所述插线板内，所述第二接线端的一端与第一接线端连接，另一端与顶柱连接；所述活塞配装于所述缸筒内，所述滑轮可转动的安装在所述下缸盖中；所述活塞的上端设有所述磁环，所述活塞拉杆穿过所述活塞和磁环，所述活塞拉杆通过所述钢丝绳与所述滑轮连接；所述活塞在所述缸筒内上下位移，使所述活塞拉杆与顶柱接触或脱离。与相关技术相比，本发明避免因高电位和低电位距离近产生打火现象，且在满足电气间隙情况下实现不同能量之间的切换。
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公开(公告)号：CN118553672A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410506269.0
申请日：2024-04-25
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 本发明的一种低温静电吸盘，吸附基板上设有吸附电极层，吸附电极层上设有介电层，吸附电极层中设有六相吸附电极，以实现承载物被吸附在介电层上，介电层与承载物之间形成气密空间；吸附基板与冷却基座连接，吸附基板与冷却基座之间设有导电垫圈，吸附基板的圆周面设有导电环，导电垫圈分别与导电环和冷却基座导通，冷却基座连接地线，以导走吸附基板上无用或有害的电荷；冷却基座与外部设备连接，以实现吸盘安装固定；冷却基座中设有冷却组件和背气组件，当静电吸盘在常温或是超低温条件下使用时，冷却组件和背气组件将发挥不同的作用。本发明具有结构紧凑、拆装便捷、温度均匀性高等特点，在低温使用时，降温速率高，还可兼容常温静电吸盘使用。
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公开(公告)号：CN114724909A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210372456.5
申请日：2022-04-11
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/248 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种由气动控制的高低能切换装置。所述切换装置包括安装座、固定座、连接杆、第一导电柱、第二导电柱、第一铜杆、第二铜杆、伸缩驱动件、公头和母头；所述连接杆与伸缩驱动件的伸缩杆相连，所述第一铜杆和第二铜杆分别设置在所述连接杆的两端；所述第一铜杆临近伸缩杆的末端设置；所述第二导电柱和第一导电柱间隔设置在所述安装座内；所述连接杆的末端上设有所述公头，所述安装座上设有与所述公头位置对应的所述母头；所述母头远离公头的一端接地线；所述第一导电柱连接第一高压线缆和第二高压线缆,所述第二导电柱连接一根高压线缆。与相关技术相比，本发明在满足电气间隙情况下，通过改变接线方式实现不同能量之间的切换。
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公开(公告)号：CN221860557U
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202323571693.3
申请日：2023-12-26
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种排废管道电阻率检测装置及排废管道系统，检测装置包括采集管道、排废检测接口板和排废控制器，所述采集管道安装于排废管道上，所述排废检测接口板安装于所述采集管道上，所述排废检测接口板包括地线接线端E0、电流测试端E1、电流采集端E2和信号输出端J1；所述地线接线端E0接地，所述电流采集端E2与信号输出端J1之间设有惠斯通电桥；所述电流测试端E1和信号输出端J1均与所述排废控制器通讯相连。本实用新型整体结构简单可靠且能实时检测排废管道电阻率，保障产品的工艺要求。
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公开(公告)号：CN221727509U
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202323473321.7
申请日：2023-12-19
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01R13/405
Abstract: 本实用新型公开一种高压电连接器及包含其的静电吸附装置，高压电连接器包括外壳，所述外壳的两端分别设有真空灌胶区和常压灌胶区，所述外壳内部设有两端贯穿的通孔，导针通过绝缘填充层固定于外壳的通孔内且伸出通孔的两端，所述导针的两端分别延伸至真空灌胶区和常压灌胶区；所述导针在真空灌胶区内与弹性探针套连接，且弹性探针套延伸至外壳外部；所述导针在常压灌胶区与单芯线缆连接，单芯线缆延伸至外壳外部。本实用新型具有结构紧凑、拆装便捷、稳定可靠、绝缘性能佳等优点，在保证了静电吸附功能正常的同时，又不影响机台的真空度。
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