公开(公告)号：CN119943710A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202411905124.4

申请日：2024-12-23

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 李士会 ,  刘瑞强 ,  王晓刚 ,  陈辉 ,  李进

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/265 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317 ,  H01J37/02

Abstract: 本发明公开一种真空隔离的低温管路装置，包括冷板、T型管、真空腔体、Y型管和冷源；冷板和T型管设置在真空腔体内；Y型管包括间隙配合的外管和内管，Y型管上设有分界板，以实现外管与内管的间隙分隔为高真空区和低真空区，高真空区与真空腔体连通；外管两端分别连接冷源和真空腔体，内管两端分别连接冷源和T型管，T型管与冷板的输入、输出口连接，冷板内设有循环管路；冷源提供的低温工质经内管和T型管输送至冷板内的循环管路，以实现冷板降温，且换热后的工质再循环至冷源中。本发明具有结构紧凑、稳定性高且拆装便捷等特点，内管与外管之间的低真空可有效隔绝热量传递，在超低温状态下，外管无需包裹任何保温材料，且不会产生冷凝水。

公开(公告)号：CN119922811A

公开(公告)日：2025-05-02

申请号：CN202411892272.7

申请日：2024-12-20

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 袁卫华 ,  彭立波 ,  李进 ,  罗才旺 ,  易镓

IPC: H05H7/00 ,  H01J37/317 ,  H05H7/18

Abstract: 本发明公开了一种具有双抑制和聚焦功能的离子束流加速管及包含其的离子注入机，离子束流加速管包括沿离子束流运动方向依次排布的高压电极组件、中间电极组件、抑制电极组件和地电极组件，所述中间电极组件与高压电极组件和地电极组件之间均设有绝缘环，所述抑制电极组件连接在地电极组件的中心位置，抑制电极组件包括依次排布的抑制电极环和抑制永磁铁；所述高压电极组件、中间电极组件、抑制电极组件、地电极组件和绝缘环密封连接，使得离子束流加速管内部形成真空环境。本发明具有结构紧凑、稳定性高且有利于提升SiC器件生产效率等特点，能够很好地实现离子束聚焦和二次电子抑制。

公开(公告)号：CN119890019A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202411892275.0

申请日：2024-12-20

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 张冰 ,  李进 ,  李士会 ,  陈辉 ,  南晓青 ,  王建新 ,  张涛

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/67 ,  H01L21/265

Abstract: 本发明公开了一种应用于离子注入机的低温注入控制系统及低温注入控制方法，远程配电柜通过动力线缆与冷源连接；冷源通过网线和气体输送管道与阀箱连接，阀箱通过管道分别与预冷腔体和低温靶台连接；第一低温靶盘固定在预冷腔体中，并通过输出线缆与吸附电源连接；冷却环和第二低温靶盘均固定在低温靶台上；冷源通过控制线缆与第一ADIO控制器连接，阀箱通过控制线缆与第二ADIO控制器连接，吸附电源通过控制线缆与第三ADIO控制器连接，三个ADIO控制器均通过光纤连接工控机。本发明具有结构紧凑、稳定性高且操作便捷等特点，解决了特殊产品注入工艺对离子定向定位注入的需求问题，满足了市场对离子注入机工艺要求多样化的需求。

公开(公告)号：CN118824931A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202410803495.5

申请日：2024-06-20

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 尹进峰 ,  陈辉 ,  林萍 ,  高瑞松 ,  李进 ,  姜科 ,  佟昊峰 ,  刘洪志 ,  袁印

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/317 ,  H01J37/20

Abstract: 本发明公开了一种晶圆电荷量控制方法及系统，控制方法包括：当晶圆放置在靶盘上时，通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷去抵消晶圆自身净电荷，从而将晶圆净电荷控制在所需要的范围内；当需要晶圆电荷整体偏正或偏负时，通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷量在预设范围内。本发明具有控制简单且控制精准等优点。

公开(公告)号：CN118099027A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202410058437.4

申请日：2024-01-15

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 喻晓 ,  刘瑞强 ,  高瑞松 ,  李进 ,  李士会 ,  陈辉

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/04 ,  H01J37/317 ,  H01J37/244 ,  G05D23/22

Abstract: 本发明公开了一种高温离子注入晶圆温度控制方法、装置、介质及系统，方法包括步骤：预先获取晶圆温度与靶盘测温点温度之间的对应映射关系；根据晶圆温度与靶盘测温点温度之间的对应映射关系，获取与晶圆目标温度相对应的靶盘测温点温度；对靶盘进行加热以使各测量点温度达到与晶圆目标温度相对应的靶盘测温点温度，进而将晶圆加热至目标温度。本发明克服了接触式测量可能造成晶圆表面损伤和使用光学测温方法容易受到其他高温部件影响的不足，通过对于靶盘温度的检测来实现对晶圆温度的控制，并且具有操作简便，稳定性、重复性和实时性好等优点。

公开(公告)号：CN117894735A

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202311758486.0

申请日：2023-12-19

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 刘瑞强 ,  王晓刚 ,  喻晓 ,  赵官源 ,  吴莹莹 ,  王建新 ,  李进 ,  李士会

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明公开一种利用电极供电吸附的高温静电吸盘，包括：电极吸附单元以及依次重叠的陶瓷基板、隔热板和水冷基板，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基板处于真空环境，水冷基板处于标准大气压环境；所述电极吸附单元包括电极组件和引出组件，所述电极组件烧结在陶瓷基板底部，引出组件的上端与电极组件连接，引出组件的下端贯穿隔热板和水冷基板后与标准大气压环境内的电源连接，以实现对电极组件供电，进而实现高温静电吸盘的静电吸附功能。本发明具有结构紧凑、拆装便捷、吸附能力强、可靠性高等优点，既解决了高温静电吸盘吸附电极引出触点接触的稳定性问题，又解决了线缆及接头从高真空引入到标准大气压环境的连接问题。

公开(公告)号：CN117894734A

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202311754426.1

申请日：2023-12-19

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 刘瑞强 ,  喻晓 ,  吴莹莹 ,  陈辉 ,  李雅志 ,  张鹤颖 ,  李进 ,  李士会

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明公开一种具有测温功能的高温静电吸盘，包括：加热线圈、测温单元以及依次重叠的陶瓷基板、隔热板和水冷基板，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基板处于真空环境，水冷基板处于标准大气压环境；加热线圈烧结在陶瓷基板内，且加热线圈与加热电源连接，以实现高温静电吸盘升温加热；测温单元包括测温组件和引出组件，测温组件烧结在陶瓷基板底部，引出组件的上端与测温组件连接，下端贯穿隔热板和水冷基板后与标准大气压环境内的连接器连接，以实现实时监测高温静电吸盘的温度值。本发明具有结构紧凑、测温精准、可靠性高等优点，既解决了高温静电吸盘温度反馈值的稳定性问题，又解决了线缆及接头从高真空引入到标准大气压环境的连接问题。

公开(公告)号：CN116031198A

公开(公告)日：2023-04-28

申请号：CN202211686631.4

申请日：2022-12-27

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 刘瑞强 ,  倪玉河 ,  赵官源 ,  李进

IPC: H01L21/687

Abstract: 本发明公开了一种机械式卡盘装置，其包括承载盘、水冷基座及承载于水冷基座上的卡爪、水冷基座、曲柄‑滑块机构、加热线圈连接器、温度传感器；所述水冷基座内部有冷却管道，在所述承载盘高温时冷却管道内通入冷却介质，用于冷却承载盘之外的部件。本发明具有结构简单紧凑、制作简单、使用简便、适用范围广等优点。

公开(公告)号：CN115241033A

公开(公告)日：2022-10-25

申请号：CN202210884446.X

申请日：2022-07-25

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 袁卫华 ,  彭立波 ,  李进 ,  罗才旺 ,  舒俊斯

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明提供一种间热式固体金属离子源。所述间热式固体金属离子源包括离子源壳体、灯丝屏蔽组件、灯丝和阴极帽固定组件和弧室，所述弧室设于离子源壳体的顶部；所述灯丝和阴极帽固定组件包括灯丝夹杆、灯丝杆固定块、灯丝、卡块、阴极帽、及连接于所述卡块端侧的灯丝与阴极帽组件固定块；所述灯丝的一端弯曲收容于所述阴极帽内，另一端伸出卡块的外侧并同所述灯丝夹杆固定；所述灯丝夹杆上设有所述灯丝杆固定块；所述弧室的一端侧壁贯通设有氮化铝套，所述阴极帽远离卡块的一端伸入所述氮化铝套内；所述灯丝与阴极帽组件固定块与弧室连接，灯丝杆固定块与离子源壳体连接，所述灯丝夹杆与灯丝屏蔽组件连接。本发明能避免的灯丝与阴极帽安装误差导致的接触短路。

公开(公告)号：CN119361400A

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202410929659.9

申请日：2024-07-11

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 易镓 ,  彭立波 ,  胡旭波 ,  曾国洪 ,  李进 ,  刘胜 ,  刘贺新 ,  朱剑峰

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明公开了一种离子注入机批靶换片机构及批靶换片方法，批靶换片机构包括靶台、储片室、第一传送组件和转向传送机构，靶台可旋转地安装在批靶靶室内，靶台沿周向均匀设置有多个靶盘，靶盘的盘面垂直于靶台，储片室内水平放置有若干晶片，转向传送机构包括换片盘和第二传送组件，第一传送组件用于实现储片室和换片盘之间的晶片传送，换片盘用于装夹晶片并实现晶片水平状态与垂直状态的切换，第二传送组件用于实现换片盘与靶盘之间的晶片传送。本发明的批靶换片机构可以大大简化整个靶室内靶盘的结构，避免靶室内的复杂运动，进而降低靶室内的颗粒度，提高产品良率。本发明的批靶换片方法步骤简单、操作方便、换片平稳高效。